本发明公开了一种涂镀材料表面亚毫米级缺陷分析方法包括宏观观察、截面试样制备、抛光和综合分析,突破了传统缺陷分析中截面试样制备对缺陷尺寸的限制,在不借助FIB/SEM双束系统或是化学法去除表面涂镀层的情况下,对表面亚毫米级别的截面试样进行了制备并分析,保留试样的有效信息,有效解决了涂镀表面亚微米缺陷分析中截面试样制备的难题。
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