可调节高度的扫描电镜样品台

419 编辑：中冶有色技术网来源：江西省科学院应用物理研究所

2024-05-28 13:58:30

权利要求书： 1.一种可调节高度的扫描电镜样品台，包括大样品台和带燕尾槽的底座，其特征在于，所述电镜样品台还包括小样品台和转柄；所述大样品台上面和下面分别设置有若干个圆孔和螺孔；小样品台通过其上的螺杆安装在大样品台的螺孔中，小样品台螺杆的端部安装固定在转柄螺孔中；所述带燕尾槽的底座安装在大样品台下面，燕尾槽槽口朝下。

2.根据权利要求1所述的一种可调节高度的扫描电镜样品台，其特征在于，所述大样品台上开有九个圆孔，沿圆周方向均匀分布8个，大样品台中心一个圆孔，每个圆孔的垂直方向的上部是圆孔，下部是螺孔，所述圆孔与螺孔的中心线重合。

3.根据权利要求1所述的一种可调节高度的扫描电镜样品台，其特征在于，所述小样品台上部为T形圆台结构，下部为螺纹结构；下部螺纹与转柄螺孔相配；所述大样品台共配置9个小样品台。

4.根据权利要求1所述的一种可调节高度的扫描电镜样品台，其特征在于，所述转柄为圆柱形，长度方向的中心线开有螺孔，转柄外圆制有滚纹，每小样品台配置一个转柄。

5.根据权利要求1所述的一种可调节高度的扫描电镜样品台，其特征在于，所述大样品台下部安装有带燕尾槽的底座，底座避开螺孔位置；底座?盖中心螺孔的位置处，开有直径大于转柄的圆孔；所述带燕尾槽的底座通过螺栓与大样品台连接固定；大样品台底部的燕尾槽结构与蔡司扫描电镜的样品台连接机构相配合。

说明书：一种可调节高度的扫描电镜样品台技术领域[0001] 本实用新型涉及一种可调节高度的扫描电镜样品台，属电镜辅助设施技术领域。背景技术[0002] 扫描电子显微镜和X射线能谱仪已成为检测物质性能的重要手段。[0003] 我国目前已经拥有相当数量的扫描电镜和能谱仪，广泛用于金属、陶瓷、高分子、矿产和食品等材料的显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区成分分析等，是不可替代的设备。其工作原理是扫描电镜电子枪发射出电子束，经加速和汇聚后，形成高能电子束，轰击在样品表面，产生一系列光电信号，不同信号探测器对其进行收集，获得显微图像和能谱。要获得良好的图像质量和准确的能谱数据，需要调整合适的加速电压，电子束电流和工作距离等参数。一般情况下，工作距离在8mm?10mm左右可以获得良好的图像质量和准确的能谱数据。[0004] 目前商业化的扫描电镜样品台结构简单，多为单一圆盘型结构，例如蔡司EO18的样品台。为了确保图像质量以及获得准确的能谱数据，要求同一批次的待观测样品高度相近，然而实际工作中经常出现待测试样品高度不同的情况，不同高度样品需要分批次测试。扫描电镜每次在观测样品时,都需要抽到一定真空度,换样时,需要泄真空 ,大概共10分钟左右时间,样品台结构单一,无法调节，限制了观测效率，增加了实验成本。

[0005] 因此，设计高度可调节的样品台对于兼顾扫描电镜测试的准确性和测试效率是非常必要的。发明内容[0006] 本实用新型的目的是，为了克服现有产品存在的上述缺点，提供一种可调节高度的扫描电镜样品台。可将不同高度的样品于同一批次测试，提高了测试效率高、降低了实验成本，同时保证扫描图像质量以及能谱数据的准确性。[0007] 本实用新型实现的技术方案如下，一种可调节高度的扫描电镜样品台，包括大样品台、带燕尾槽的底座、小样品台和转柄；小样品台下部螺杆安装在大样品台的螺孔中，小样品台的下部螺杆端部安装固定在转柄螺孔中；所述大样品台上的圆孔与螺孔的中心线重合。所述带燕尾槽的底座通过螺栓安装固定在大样品台下面，燕尾槽槽口朝下。[0008] 所述大样品台上开有九个圆孔，沿圆周方向均匀分布8个，大样品台中心一个圆孔，每个圆孔的垂直方向的上部是圆孔，下部是螺孔。[0009] 所述小样品台上部为T形圆台结构，下部为螺纹结构；[0010] 所述转柄为圆柱形，长度方向的中心线开有螺孔，转柄螺孔与小样品台下部螺杆相匹配。[0011] 通过所述转柄的转动带动螺杆转动，螺杆转动带动小样品台上升；当小样品台需要下降时，只需反向转动转柄，则小样品台在螺纹作用下，随之也下降，从而实现小样品台在垂直方向上高度的调整。[0012] 所述大样品台下部安装有带燕尾槽的底座，底座避开螺孔位置；底座?盖中心螺孔的位置处，开有直径大于转柄的圆孔；所述带燕尾槽的底座通过螺栓与大样品台连接固定；大样品台底部的燕尾槽结构与蔡司扫描电镜的样品台连接机构相配合。[0013] 本实用新型的有益效果如下，本实用新型用于扫描电镜的样品台，通过带螺杆的小样品台、转柄和大样品台的配合，实现转动转柄，带动小样品台下部的螺杆在大样品台螺纹孔内上下转动，从而使小样品台在大样品台上实现上升或下降，实现对单个小样品台高度调节的目的。解决了传统样品台无法在同一批次观察不同高度样品的问题，提高实验效率和准确性，降低了实验成本。附图说明[0014] 图1为本实用新型扫描电镜样品台的结构示意图；[0015] 图2为大样品台与带燕尾槽的底座的位置结构示意图；[0016] 图3为大样品台的结构示意图；[0017] 图4为大样品台局部剖视图；[0018] 图5为小样品台的结构示意图；[0019] 图6为转柄的结构示意图；[0020] 图中，1是大样品台；2是带燕尾槽的底座；3是小样品台；4是转柄；5是螺栓；6是圆孔；7是螺孔。实施方式

[0021] 如图1和图3所示，本实施例一种可调节高度的扫描电镜样品台，包括大样品台1、带燕尾槽的底座2、小样品台3、转柄4。小样品台3通过其下部的螺杆安装在大样品台的螺孔6中；小样品台3下部螺杆的端部安装固定在转柄4的螺孔中；所述大样品台上的圆孔6与螺孔7的中心线重合。所述带燕尾槽的底座2通过螺栓5安装固定在大样品台1下面，燕尾槽槽口朝下。

[0022] 如图3和图4所示，本实施例的大样品台1上开有九个圆孔，沿圆周方向均匀分布8个，大样品台中心一个圆孔，每个圆孔的垂直方向的上部是圆孔6，下部是螺孔7，圆孔6的直径略大于螺孔7的外径。[0023] 如图5所示，本实施例的小样品台3为T形圆台结构，上部为T形圆台，下部为螺杆结构。[0024] 如图6所示，本实施例的转柄4为圆柱形，外圆制有滚纹；长度方向的一端中心线开有螺孔，螺孔与小样品台3下部的螺杆相配，螺杆一端旋入大样品台1的螺孔内；小样品台3下部的螺杆端部安装固定在转柄4的螺孔中。[0025] 本实施例一种可调节高度的扫描电镜样品台配备9个小样品台和9转柄，每个小样品3台配置一个转柄4；大样品台1上的每个螺孔配备一个小样品台3。[0026] 本实施例通过所述转柄4的转动带动小样品台的螺杆转动，螺杆转动带动小样品台上升；当小样品台3需要下降时，只需反向转动转柄4，使小样品台的螺杆反向转动，则小样品台3在螺纹的作用下，随之下降，从而实现小样品台在垂直方向上高度的调整。