权利要求书： 1.一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其特征在于，其包括：其包括：
栅网；
法拉第杯；
闪烁体；
光导柱；
光电倍增管；
高压电源；
电流放大电路板；
不锈钢外壳；
所述法拉第杯的电子信号输入端设置有外凸的筛网，所述法拉第杯的电子信号输出端朝向所述闪烁体布置，所述闪烁体的光子信号输出端朝向光导柱的输入端布置，所述光导柱的输出端连接至所述光电倍增管的信号输入端，所述光电倍增管的信号输出端连接所述电流放大电路板的信号输入端，所述光电倍增管连接有高压电源；
所述不锈钢外壳内包覆有高压电源、光电倍增管、光导柱、闪烁体，所述不锈钢外壳的前部输入端固装有所述法拉第杯。
2.如权利要求1所述的一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其特征在于：其还包括有宝石垫片，所述宝石垫片布置于所述闪烁体和光导柱的输入端之间。
3.如权利要求2所述的一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其特征在于：所述法拉第杯的输出通道的环壁上设置有石墨环。
4.如权利要求1所述的一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其特征在于：所述闪烁体具体为P47闪烁、YAG闪烁体或YAP闪烁体。
5.如权利要求1所述的一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其特征在于：所述光电倍增管的轴向前端为信号输入端，所述光电倍增管的轴向后端布置有所述高压电源，所述光电倍增管的轴向区域的旁侧设置有电流放大电路板。
6.如权利要求3所述的一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其特征在于：所述不锈钢外壳包括后端壳体、中部连接件、前端壳体，所述后端壳体内包覆有高压电源、电流放大电路板、光电倍增管，所述中部连接件用于连接后端壳体、前端壳体，所述前端壳体和中部连接件所形成的轴向内腔内包覆有光导柱、闪烁体、宝石垫片，所述前端壳体的轴向前部安装有所述法拉第杯，所述法拉第杯的电子信号输入端外露于所述前端壳体、且固装有筛网。
7.如权利要求1所述的一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其特征在于：所述筛网的网面前凸设置。
说明书： 一种高收集效率的扫描电镜电子探测器技术领域[0001] 本实用新型涉及物料转运的技术领域，具体为一种高收集效率的扫描电镜电子探测器。
背景技术[0002] 扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜
声明：
“高收集效率的扫描电镜电子探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：无锡量子感知技术有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
