第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
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高收集效率的扫描电镜电子探测器

本实用新型提供了一种高收集效率的扫描电镜电子探测器,其提高二次电子或者背散射电子的收集效率、能够进一步改善图像的信噪比和分辨力。其包括:栅网;法拉第杯;闪烁体;光导柱;光电倍增管;高压电源;电流放大电路板;不锈钢外壳;法拉第杯的电子信号输入端设置有外凸的筛网,法拉第杯的电子信号输出端朝向闪烁体布置,闪烁体的光子信号输出端朝向光导柱的输入端布置,光导柱的输出端连接至光电倍增管的信号输入端,光电倍增管的信号输出端连接电流放大电路板的信号输入端,光电倍增管连接有高压电源;不锈钢外壳内包覆有高压电源、光电倍增管、光导柱、闪烁体,不锈钢外壳的前部输入端固装有法拉第杯。

标签:
电子探测器
探测器
2024-05-31
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