转盘式芯片分选机顶针机构

1492 编辑：中冶有色技术网来源：深圳市朝阳光科技有限公司

2024-07-25 16:38:23

权利要求书：

1.一种转盘式芯片分选机顶针机构，其特征在于，包括第一驱动机构、顶针机构、第二驱动机构以及顶针运动机构，所述第一驱动机构用于带动顶晶机构运动，所述第二驱动机构用于带动所述顶针机构运动，以调节顶针机构顶晶时的吸嘴与晶圆三个中心一致，所述顶针运动机构用于将蓝膜上的晶圆顶出至摆臂吸嘴上。

2.根据权利要求1所述的一种转盘式芯片分选机顶针机构，其特征在于，所述第一驱动机构包括运动气缸或直线电机，所述第一驱动机构固定设置在气缸固定座一侧，所述气缸固定座远离所述第一驱动机构的一侧设置有顶晶底座。

3.根据权利要求2所述的一种转盘式芯片分选机顶针机构，其特征在于，所述第一驱动机构输出端连接有螺栓以及推块，所述顶针机构包括与所述推块相连的顶针前后模块，所述顶晶底座一侧设置有拖链板，所述第二驱动机构包括运动电机，所述运动电机输出端连接第一拖链和第二拖链。

4.根据权利要求3所述的一种转盘式芯片分选机顶针机构，其特征在于，所述顶晶底座一侧还固定设置有顶晶限位块以及导轨，所述运动气缸输出端还连接有无头顶丝，所述推块一侧通过滑块与所述导轨滑动配合。

5.根据权利要求2所述的一种转盘式芯片分选机顶针机构，其特征在于，所述顶晶底座一侧设置有定位销钉，所述顶晶底座一侧设置有阀板，所述阀板一侧设置有电磁阀组件。

6.根据权利要求1所述的一种转盘式芯片分选机顶针机构，其特征在于，所述顶针运动机构包括摆臂以及设置在所述摆臂一侧的顶针帽。

说明书：一种转盘式芯片分选机顶针机构技术领域[0001] 本实用新型属于芯片分选技术领域，具体是一种转盘式芯片分选机顶针机构。背景技术[0002] 目前，在芯片生产过程中，通常需要对芯片进行分选顶出，现有的芯片顶出机构工作时芯片稳定性较差，容易产生晃动，亟需改进。实用新型内容

[0003] 针对上述现有技术的不足，本实用新型实施例要解决的技术问题是提供一种转盘式芯片分选机顶针机构。[0004] 为解决上述技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：[0005] 一种转盘式芯片分选机顶针机构，包括第一驱动机构、顶针机构、第二驱动机构以及顶针运动机构，[0006] 所述第一驱动机构用于带动顶晶机构运动，[0007] 所述第二驱动机构用于带动所述顶针机构运动，以调节顶针机构顶晶时的吸嘴与晶圆三个中心一致，[0008] 所述顶针运动机构用于将蓝膜上的晶圆顶出至摆臂吸嘴上。[0009] 作为本实用新型进一步的改进方案：所述第一驱动机构包括运动气缸或直线电机，[0010] 所述第一驱动机构固定设置在气缸固定座一侧，所述气缸固定座远离所述第一驱动机构的一侧设置有顶晶底座。

[0011] 作为本实用新型进一步的改进方案：所述第一驱动机构输出端连接有螺栓以及推块，[0012] 所述顶针机构包括与所述推块相连的顶针前后模块，所述顶晶底座一侧设置有拖链板，所述第二驱动机构包括运动电机，所述运动电机输出端连接第一拖链和第二拖链。[0013] 作为本实用新型进一步的改进方案：所述顶晶底座一侧还固定设置有顶晶限位块以及导轨，[0014] 所述运动气缸输出端还连接有无头顶丝，所述推块一侧通过滑块与所述导轨滑动配合。[0015] 作为本实用新型再进一步的改进方案：所述顶晶底座一侧设置有定位销钉，[0016] 所述顶晶底座一侧设置有阀板，所述阀板一侧设置有电磁阀组件。[0017] 作为本实用新型再进一步的改进方案：所述顶针运动机构包括包括摆臂以及设置在所述摆臂一侧的顶针帽。[0018] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：[0019] 本实用新型实施例中，通过第一驱动机构带动顶晶机构运动，第二驱动机构带动顶针机构运动，以调节顶针机构顶晶时的吸嘴与晶圆三个中心一致，顶针运动机构将蓝膜上的晶圆顶出至摆臂吸嘴上，相较于现有技术，能够提高工作时晶圆芯片的稳定性。附图说明[0020] 图1为一种转盘式芯片分选机顶针机构的结构示意图。具体实施方式[0021] 下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。[0022] 下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。[0023] 请参阅图1，本实施例提供了一种转盘式芯片分选机顶针机构，包括第一驱动机构、顶针机构、第二驱动机构以及顶针运动机构，所述第一驱动机构用于带动顶晶机构运动，所述第二驱动机构用于带动所述顶针机构运动，以调节顶针机构顶晶时的吸嘴与晶圆三个中心一致，所述顶针运动机构用于将蓝膜上的晶圆顶出至摆臂吸嘴上。[0024] 请参阅图1，在一个实施例中，所述第一驱动机构包括运动气缸15或直线电机，所述第一驱动机构固定设置在气缸固定座4一侧，所述气缸固定座4远离所述第一驱动机构的一侧设置有顶晶底座1。[0025] 在设备工作生产时，运动气缸15或直线电机将顶晶机构运动到工作位，设备不工作生产时，运动气缸15或直线电机将顶晶机构归位到安全位置。[0026] 请参阅图1，在一个实施例中是，所述第一驱动机构输出端连接有螺栓18以及推块8，所述顶针机构包括与所述推块8相连的顶针前后模块11，所述顶晶底座1一侧设置有拖链板12，所述第二驱动机构包括运动电机，所述运动电机输出端连接第一拖链13和第二拖链19。

[0027] 通过第一驱动机构带动顶针前后模块11移动，从而调节顶晶时的吸嘴与晶圆三个中心一致。[0028] 请参阅图1，在一个实施例中，所述顶晶底座1一侧还固定设置有顶晶限位块9以及导轨5，所述运动气缸15输出端还连接有无头顶丝14，所述推块8一侧通过滑块3与所述导轨5滑动配合。

[0029] 推块8通过滑块3与导轨5的滑动配合，可提高推块8移动时的平稳性。[0030] 请参阅图1，在一个实施例中，所述顶晶底座1一侧设置有定位销钉10，所述顶晶底座1一侧设置有阀板16，所述阀板16一侧设置有电磁阀组件17。[0031] 在一个实施例中，所述顶针运动机构包括包括摆臂以及设置在所述摆臂一侧的顶针帽。[0032] 本实用新型实施例中，通过第一驱动机构带动顶晶机构运动，第二驱动机构带动顶针机构运动，以调节顶针机构顶晶时的吸嘴与晶圆三个中心一致，顶针运动机构将蓝膜上的晶圆顶出至摆臂吸嘴上，相较于现有技术，能够提高工作时晶圆芯片的稳定性。[0033] 上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。