权利要求书： 1.一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构，其特征在于，包括X轴模组机构和Y轴模组机构，所述X轴模组机构包括第一电机、设置在所述第一电机输出端的X轴丝杆以及与所述X轴丝杆螺纹配合的晶圆垫板，所述第一电机固定设置在固晶台支座一侧，
所述Y轴模组机构包括第二电机、设置在所述第二电机输出端的Y轴丝杆以及与所述Y轴丝杆螺纹配合的Y轴螺母座，所述Y轴螺母座与所述固晶台支座固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构，其特征在于，所述X轴丝杆远离所述第一电机的一端转动设置有第一支撑座，所述Y轴丝杆远离所述第二电机的一端转动设置有第二支撑座。
3.根据权利要求1所述的一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构，其特征在于，所述第二电机固定设置在Y轴丝杆马达座一侧，所述Y轴丝杆马达座一侧设置有导轨，所述固晶台支座与所述导轨之间通过滑块滑动配合。
4.根据权利要求1所述的一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构，其特征在于，所述第一电机一侧固定设置有马达座，所述马达座一侧设置有导轨座，所述第一电机所述X轴丝杆之间通过联轴器以及缓冲块相连，所述Y轴丝杆马达座一侧设置有拖链，
所述导轨座一侧还设置有Wafer模块。
5.根据权利要求1所述的一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构，其特征在于，所述Y轴丝杆长度为530cm，所述X轴丝杆长度为330cm。
6.根据权利要求1所述的一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构，其特征在于，所述第一电机以及所述第二电机均为伺服电机。
说明书： 一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构技术领域[0001] 本实用新型属于芯片分选机技术领域，具体是一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构。背景技术[0002] 在分选工作过程中，为了能更好的取、放芯片，配合芯片分选机CCD机构检测芯片，需要承载芯片的X、Y模组机构作不同方向的移动，从而快速完成分选。[0003] 现有的X、Y模组机构在移动时精度较差，无法保证取放晶圆芯片、三点对位、吸嘴清洁、摆臂取放芯片等动作的精确性，亟需改进。实用新型内容
[0004] 针对上述现有技术的不足，本实用新型实施例要解决的技术问题是提供一种转盘式芯片分选机X、Y模组机构。[0005] 为解决上述技术问题，本实用新型提供了如
声明：
“转盘式芯片分选机X、Y模组机构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：深圳市朝阳光科技有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
