全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置

251 编辑：中冶有色技术网来源：深圳市朝阳光科技有限公司

2024-04-01 16:02:41

权利要求书： 1.一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的一侧设置有夹紧机构，所述夹紧机构包括滑板(2)、安装架(3)、连杆组件和用于夹紧晶圆贴片的夹持板(7)，所述夹持板(7)和滑板(2)固定连接，滑板(2)和工作台(1)滑动连接，所述滑板(2)通过连杆组件和气缸(4)的活动端相连接。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，其特征在于：所述连杆组件包括连杆一(5)、连杆二(6)、转轴(13)和连杆三(18)，所述气缸(4)的活动端上固定连接有转轴(13)，所述转轴(13)上转动连接有两个连杆三(18)，每个连杆三(18)均和对应的连杆二(6)的杆体转动连接，连杆二(6)的两端分别和滑板(2)以及安装架(3)转动连接，所述连杆二(6)的一侧设置有连杆一(5)，所述连杆一(5)的两端分别和滑板(2)以及安装架(3)转动连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，其特征在于：

所述气缸(4)外壳体的下方固定连接有承载板(17)，所述承载板(17)上设置有磁性吸附机构。

4.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，其特征在于：所述磁性吸附机构包括推拉杆(12)、导电片一(14)、套筒(15)和导电片二(16)，所述套筒(15)和承载板(17)固定连接，所述套筒(15)的内侧固定连接有导电片二(16)，所述套筒(15)内滑动连接有推拉杆(12)，推拉杆(12)和转轴(13)固定连接，所述推拉杆(12)上固定连接有导电片一(14)，所述导电片一(14)和导电片二(16)均和外部电源电性连接，所述推拉杆(12)上固定连接有电磁铁(11)，所述电磁铁(11)、导电片一(14)、导电片二(16)以及外部电源组成回路，工作台(1)内开设有滑槽，所述转轴(13)在滑槽内移动。

5.根据权利要求4所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，其特征在于：所述滑板(2)上固定连接有杆件一(8)，所述杆件一(8)内弹性连接有杆件二(9)，所述杆件二(9)上固定连接有风机(10)，所述风机(10)和外部控制设备电性连接。

说明书：一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置技术领域[0001] 本实用新型涉及晶圆加工领域，更具体地说，本实用涉及一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置。背景技术[0002] 在进行晶圆加工时，往往会将晶圆粘贴在一块铁片上，让一块铁片承纳多个晶圆，便于对合格晶圆的收集，尤其是在晶圆的分选过程中，铁片在承载台上是否稳定，影响了晶圆的粘贴质量，但是现有的晶圆分选机上的夹持装置的夹持稳定性还不够高。实用新型内容

[0003] 为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，本实用新型所要解决的技术问题是：现有的晶圆分选机上的夹持装置的夹持稳定性还不够高。[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，包括工作台，所述工作台的一侧设置有夹紧机构，所述夹紧机构包括滑板、安装架、连杆组件和用于夹紧晶圆贴片的夹持板，所述夹持板和滑板固定连接，滑板和工作台滑动连接，所述滑板通过连杆组件和气缸的活动端相连接。[0005] 优选的，所述连杆组件包括连杆一、连杆二、转轴和连杆三，所述气缸的活动端上固定连接有转轴，所述转轴上转动连接有两个连杆三，每个连杆三均和对应的连杆二的杆体转动连接，连杆二的两端分别和滑板以及安装架转动连接，所述连杆二的一侧设置有连杆一，所述连杆一的两端分别和滑板以及安装架转动连接。[0006] 优选的，所述气缸外壳体的下方固定连接有承载板，所述承载板上设置有磁性吸附机构。[0007] 优选的，所述磁性吸附机构包括推拉杆、导电片一、套筒和导电片二，所述套筒和承载板固定连接，所述套筒的内侧固定连接有导电片二，所述套筒内滑动连接有推拉杆，推拉杆和转轴固定连接，所述推拉杆上固定连接有导电片一，所述导电片一和导电片二均和外部电源电性连接，所述推拉杆上固定连接有电磁铁，所述电磁铁、导电片一、导电片二以及外部电源组成回路，工作台内开设有滑槽，所述转轴在滑槽内移动。[0008] 优选的，所述滑板上固定连接有杆件一，所述杆件一内弹性连接有杆件二，所述杆件二上固定连接有风机，所述风机和外部控制设备电性连接。[0009] 本实用新型的技术效果和优点：[0010] 1、气缸控制活动端的收回时，气缸的活动端拉动转轴，转轴带动连杆三，从而带动连杆一和连杆二控制两个滑板在工作台上相向靠近滑动，使得滑板带动夹持板对工作台上的晶圆贴片进行夹紧，便于在晶圆分选机将晶圆粘贴到晶圆铁片上时，晶圆贴片的稳定性。[0011] 2、在气缸控制自由端收缩时，两侧的滑板会带动夹持板逐渐靠近晶圆铁片，之后转轴带动推拉杆在套筒内滑动，当导电片一和导电片二相贴合时，回路连通，推拉杆上端的电磁铁通电产生磁性，使得电磁铁从滑槽内，即工作台在晶圆铁片的底部对晶圆铁片有一个磁吸力，之后气缸控制气缸的自由端继续收回，直到夹持板能够从两侧夹紧晶圆铁片。附图说明[0012] 图1为本实用新型一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置的结构示意图。[0013] 图2为本实用新型推拉杆的结构示意图。[0014] 图3为本实用新型套筒内部的结构示意图。[0015] 附图标记为：[0016] 1、工作台；2、滑板；3、安装架；4、气缸；5、连杆一；6、连杆二；7、夹持板；8、杆件一；9、杆件二；10、风机；11、电磁铁；12、推拉杆；13、转轴；14、导电片一15、套筒；16、导电片二；

17、承载板；18、连杆三。

具体实施方式[0017] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0018] 实施例一[0019] 请参阅图1，一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置，包括工作台1，：所述工作台1的一侧设置有夹紧机构，所述夹紧机构包括滑板2、安装架3、连杆组件和用于夹紧晶圆贴片的夹持板7，所述夹持板7和滑板2固定连接，滑板2和工作台1滑动连接，所述滑板2通过连杆组件和气缸4的活动端相连接。[0020] 所述连杆组件包括连杆一5、连杆二6、转轴13和连杆三18，所述气缸4的活动端上固定连接有转轴13，所述转轴13上转动连接有两个连杆三18，每个连杆三18均和对应的连杆二6的杆体转动连接，连杆二6的两端分别和滑板2以及安装架3转动连接，所述连杆二6的一侧设置有连杆一5，所述连杆一5的两端分别和滑板2以及安装架3转动连接。[0021] 气缸4控制活动端的收回时，气缸4的活动端拉动转轴13，转轴13带动连杆三18，从而带动连杆一5和连杆二6控制两个滑板2在工作台1上相向靠近滑动，使得滑板2带动夹持板7对工作台1上的晶圆贴片进行夹紧，便于在晶圆分选机将晶圆粘贴到晶圆铁片上时，晶圆贴片的稳定性。[0022] 实施例二[0023] 请参阅图1?3，在上述实施例的基础上，所述气缸4外壳体的下方固定连接有承载板17，所述承载板17上设置有磁性吸附机构。[0024] 所述磁性吸附机构包括推拉杆12、导电片一14、套筒15和导电片二16，所述套筒15和承载板17固定连接，所述套筒15的内侧固定连接有导电片二16，所述套筒15内滑动连接有推拉杆12，推拉杆12和转轴13固定连接，所述推拉杆12上固定连接有导电片一14，所述导电片一14和导电片二16均和外部电源电性连接，所述推拉杆12上固定连接有电磁铁11，所述电磁铁11、导电片一14、导电片二16以及外部电源组成回路，工作台1内开设有滑槽，所述转轴13在滑槽内移动。[0025] 在气缸4控制自由端收缩时，两侧的滑板2会带动夹持板7逐渐靠近晶圆铁片，之后转轴13带动推拉杆12在套筒15内滑动，当导电片一14和导电片二16相贴合时，回路连通，推拉杆12上端的电磁铁11通电产生磁性，使得电磁铁11从滑槽内，即工作台1在晶圆铁片的底部对晶圆铁片有一个磁吸力，之后气缸4控制气缸4的自由端继续收回，直到夹持板7能够从两侧夹紧晶圆铁片，在这一过程中，导电片一14和导电片二16始终处于贴合状态，当一个晶圆铁片完成承载任务后，气缸4控制活动端伸展开来，夹持板7先从晶圆铁片的一侧离开，之后导电片一14和导电片二16相分离，最后便可以取下该晶圆铁片并换上新的晶圆铁片，重复上述行为。[0026] 实施例三[0027] 请参阅图1，在上述实施例的基础上，所述滑板2上固定连接有杆件一8，所述杆件一8内弹性连接有杆件二9，所述杆件二9上固定连接有风机10，所述风机10和外部控制设备电性连接。在两个滑板2相互靠近时，开启外部控制设备，使得外部控制设备控制风机10吸气，能够将安装在工作台1上的晶圆铁片上的浮灰吸除，以保证后续晶圆粘贴在晶圆铁片上的稳固性，当两个风机10靠近并碰上时，在弹性力的作用下，杆件二9在杆件一8内收缩，这样既不会妨碍滑板2的正常运动，也能够让风机10持续工作一端时间以保证晶圆铁片上的浮灰被清除干净，外部控制设备和风机10可以利用蓝牙通讯模块设置通讯协议。[0028] 最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；[0029] 其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；[0030] 最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。