权利要求书: 1.一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的一侧设置有夹紧机构,所述夹紧机构包括滑板(2)、安装架(3)、连杆组件和用于夹紧晶圆贴片的夹持板(7),所述夹持板(7)和滑板(2)固定连接,滑板(2)和工作台(1)滑动连接,所述滑板(2)通过连杆组件和气缸(4)的活动端相连接。
2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置,其特征在于:所述连杆组件包括连杆一(5)、连杆二(6)、转轴(13)和连杆三(18),所述气缸(4)的活动端上固定连接有转轴(13),所述转轴(13)上转动连接有两个连杆三(18),每个连杆三(18)均和对应的连杆二(6)的杆体转动连接,连杆二(6)的两端分别和滑板(2)以及安装架(3)转动连接,所述连杆二(6)的一侧设置有连杆一(5),所述连杆一(5)的两端分别和滑板(2)以及安装架(3)转动连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置,其特征在于:
所述气缸(4)外壳体的下方固定连接有承载板(17),所述承载板(17)上设置有磁性吸附机构。
4.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置,其特征在于:所述磁性吸附机构包括推拉杆(12)、导电片一(14)、套筒(15)和导电片二(16),所述套筒(15)和承载板(17)固定连接,所述套筒(15)的内侧固定连接有导电片二(16),所述套筒(15)内滑动连接有推拉杆(12),推拉杆(12)和转轴(13)固定连接,所述推拉杆(12)上固定连接有导电片一(14),所述导电片一(14)和导电片二(16)均和外部电源电性连接,所述推拉杆(12)上固定连接有电磁铁(11),所述电磁铁(11)、导电片一(14)、导电片二(16)以及外部电源组成回路,工作台(1)内开设有滑槽,所述转轴(13)在滑槽内移动。
5.根据权利要求4所述的一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置,其特征在于:所述滑板(2)上固定连接有杆件一(8),所述杆件一(8)内弹性连接有杆件二(9),所述杆件二(9)上固定连接有风机(10),所述风机(10)和外部控制设备电性连接。
说明书: 一种全自动晶圆分选机取料精密夹紧装置技术领域[000
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