权利要求书： 1.一种扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，包括：下极靴；第一安装板，所述第一安装板与所述下极靴的下表面贴合；第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述第一安装板上；探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；弹性件，所述弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合所述下极靴的下表面。2.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板的下表面和所述第二安装板的上表面共同限定出定位槽，所述探头配合在所述定位槽内。3.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板上设有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下极靴的下端面的中心处。4.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板的上表面设有卡槽，所述下极靴的下端卡合在所述卡槽内。5.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述弹性件为拉簧且为两个，两个所述拉簧的下端分别与所述第一安装板的两端相连且两个所述拉簧的上端均与所述下极靴相连，两个所述拉簧的上端与所述下极靴的连接处在所述下极靴的周向上相对。6.根据权利要求5所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述下极靴上设有两个挂钩，所述第一安装板上设有凸耳，所述拉簧的上端钩挂所述挂钩且下端钩挂所述凸耳。7.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第二安装板为用于阻挡和/或吸收电子的绝缘板。8.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述探头包括探头主体和电路板，所述第二安装板上设有避让口，所述探头主体从所述避让口露出。9.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第二安装板通过螺纹紧固件安装在所述第一安装板上。10.一种扫描电镜，其特征在于，包括根据权利要求1?9中任一项所述的扫描电镜背散射探头的安装结构。 说明书： 扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜技术领域[0001] 本实用新型涉及电子显微镜技术领域，具体而言，涉及一种扫描电镜背散射探头的安装结构和具有所述扫描电镜背散射探头的安装结构的扫描电镜。背景技术[00
声明：
“扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：国仪量子(合肥)技术有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
