扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜

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2024-03-12 17:22:57

权利要求书： 1.一种扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，包括：下极靴；

第一安装板，所述第一安装板与所述下极靴的下表面贴合；

第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述第一安装板上；

探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；

弹性件，所述弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合所述下极靴的下表面。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板的下表面和所述第二安装板的上表面共同限定出定位槽，所述探头配合在所述定位槽内。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板上设有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下极靴的下端面的中心处。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板的上表面设有卡槽，所述下极靴的下端卡合在所述卡槽内。

5.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述弹性件为拉簧且为两个，两个所述拉簧的下端分别与所述第一安装板的两端相连且两个所述拉簧的上端均与所述下极靴相连，两个所述拉簧的上端与所述下极靴的连接处在所述下极靴的周向上相对。

6.根据权利要求5所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述下极靴上设有两个挂钩，所述第一安装板上设有凸耳，所述拉簧的上端钩挂所述挂钩且下端钩挂所述凸耳。

7.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第二安装板为用于阻挡和/或吸收电子的绝缘板。

8.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述探头包括探头主体和电路板，所述第二安装板上设有避让口，所述探头主体从所述避让口露出。

9.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第二安装板通过螺纹紧固件安装在所述第一安装板上。

10.一种扫描电镜，其特征在于，包括根据权利要求1?9中任一项所述的扫描电镜背散射探头的安装结构。

说明书：扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜技术领域[0001] 本实用新型涉及电子显微镜技术领域，具体而言，涉及一种扫描电镜背散射探头的安装结构和具有所述扫描电镜背散射探头的安装结构的扫描电镜。

背景技术[0002] 扫描电镜的工作原理为，在高真空的镜筒中，由电子枪产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息(二次电子、背反

射电子、透射电子、吸收电子等)，由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输

入由显像管栅极控制的显像管，聚焦电子束对样品表面扫描时，由于样品不同部位表面的

物理、化学性质、表面电位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使电子束激发出的电子信息

各不相同，导致显像管的电子束强度也随着不断变化，最终在显像管荧光屏上可以获得一

幅与样品表面结构相对应的图像。

[0003] 相关技术中的扫描电镜的背散射探头，安装和更换非常不便，而且安装时难以保证探头安装到位。

实用新型内容

[0004] 本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种扫描电镜背散射探头的安装结构，该扫描电镜背散射探头的安装结构具有拆装方

便、可靠性强等优点。

[0005] 本实用新型还提出一种具有所述扫描电镜背散射探头的安装结构的扫描电镜。[0006] 为实现上述目的，根据本实用新型的第一方面的实施例提出一种扫描电镜背散射探头的安装结构，所述扫描电镜背散射探头的安装结构包括：下极靴；第一安装板，所述第

一安装板与所述下极靴的下表面贴合；第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述

第一安装板上；探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；弹性件，所述

弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合

所述下极靴的下表面。

[0007] 根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构，具有拆装方便、可靠性强等优点。

[0008] 另外，根据本实用新型上述实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构还可以具有如下附加的技术特征：

[0009] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一安装板的下表面和所述第二安装板的上表面共同限定出定位槽，所述探头配合在所述定位槽内。

[0010] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一安装板上设有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下极靴的下端面的中心处。

[0011] 根据本实用新型的一个实施例，所述第一安装板的上表面设有卡槽，所述下极靴的下端卡合在所述卡槽内。

[0012] 根据本实用新型的一个实施例，所述弹性件为拉簧且为两个，两个所述拉簧的下端分别与所述第一安装板的两端相连且两个所述拉簧的上端均与所述下极靴相连，两个所

述拉簧的上端与所述下极靴的连接处在所述下极靴的周向上相对。

[0013] 根据本实用新型的一个实施例，所述下极靴上设有两个挂钩，所述第一安装板上设有凸耳，所述拉簧的上端钩挂所述挂钩且下端钩挂所述凸耳。

[0014] 根据本实用新型的一个实施例，所述第二安装板为用于阻挡和/或吸收电子的绝缘板。

[0015] 根据本实用新型的一个实施例，所述探头包括探头主体和电路板，所述第二安装板上设有避让口，所述探头主体从所述避让口露出。

[0016] 根据本实用新型的一个实施例，所述第二安装板通过螺纹紧固件安装在所述第一安装板上。

[0017] 根据本实用新型的第二方面的实施例提出一种扫描电镜，所述扫描电镜包括根据本实用新型的第一方面的实施例所述的扫描电镜背散射探头的安装结构。

[0018] 根据本实用新型实施例的扫描电镜，通过利用根据本实用新型的第一方面的实施例所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，具有拆装方便、可靠性强等优点。

[0019] 本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明[0020] 本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

[0021] 图1是根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的结构示意图。[0022] 图2是根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的结构示意图。[0023] 图3是根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的剖视图。[0024] 图4是根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的爆炸图。[0025] 图5是根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的爆炸图。[0026] 附图标记：扫描电镜背散射探头的安装结构1、下极靴10、挂钩11、配合部12、挂钩螺栓13、第一安装板20、通孔21、卡槽22、弹性槽23、凸耳24、定位环台25、第二安装板30、避

让口31、探头40、探头主体41、电路板42、定位槽43、定位孔44、过孔45、弹性件50、螺纹紧固

件60。

具体实施方式[0027] 下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参

考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的

限制。

[0028] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位

或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或

元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限

制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

[0029] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地

连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，

可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上

述术语在本实用新型中的具体含义。

[0030] 下面参考附图描述根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1。[0031] 如图1?图5所示，根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1包括下极靴10、第一安装板20、第二安装板30、探头40和弹性件50。

[0032] 第一安装板20与下极靴10的下表面贴合(上下方向如图中的箭头所示且仅为了便于表述，并非对于实际设置方向的限定)。第二安装板30可拆卸地安装在第一安装板20上。

探头40设在第一安装板20和第二安装板30之间。弹性件50分别与下极靴10和第一安装板20

相连，弹性件50常驱动第一安装板20贴合下极靴10的下表面。

[0033] 根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1，通过设置第一安装板20和第二安装板30，将第二安装板30可拆卸地安装在第一安装板20上，将探头40设置在

第一安装板20和第二安装板30之间。这样在需要拆卸探头40时，只需将第二安装板30从第

一安装板20上拆卸下来即可将探头40取下，实现探头40的拆卸，在安装探头40时只需先将

探头40放置在第二安装板30上，再将探头40和第二安装板30一同安装在第一安装板20上。

相比相关技术中的扫描电镜的探头安装结构，扫描电镜背散射探头的安装结构1的探头40

的安装和更换更加方便快捷。

[0034] 并且，通过设置弹性件50，利用弹性件50常驱动第一安装板20贴合下极靴10，可以进一步保证探头40的安装位置，保证探头40与下极靴10的安装位置，保证探头40安装到位，

提高探头40安装位置的准确性和可靠性。

[0035] 因此，根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1具有拆装方便、可靠性强等优点。

[0036] 下面参考附图描述根据本实用新型具体实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1。

[0037] 在本实用新型的一些具体实施例中，如图1?图5所示，根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1包括下极靴10、第一安装板20、第二安装板30、探头40和弹

性件50。

[0038] 具体而言，下极靴10包括大体为锥形的主体部和位于下端的圆柱形的配合部12。[0039] 具体地，如图1?图5所示，第一安装板20的下表面和第二安装板30的上表面共同限定出定位槽43，探头40配合在定位槽43内。这样可以便于利用第一安装板20和第二安装板

30对探头40进行定位，便于实现探头40的安装，便于保证探头40的安装位置精度。

[0040] 更为具体地，如图1?图5所示，第一安装板20上设有通孔21，通孔21在水平方向上位于下极靴10的下端面的中心处。具体而言，探头40上具有过孔45。下极靴10的配合部12的

下端面、通孔21、过孔45的中心轴线重合。这样下极靴10的配合部12的下端面可以与第一安

装板20的通孔21以及探头40的过孔45的位置对应，保证扫描电镜背散射探头的安装结构1

的位置精度，保证扫描电镜的可靠运行。

[0041] 有利地，如图1?图5所示，第一安装板20的上表面设有卡槽22，下极靴10的下端卡合在卡槽22内。具体而言，下极靴10的配合部12卡合在卡槽22内。这样可以利用卡槽22对下

极靴10的下端进行定位，进一步保证第一安装板20和探头40的位置准确性。

[0042] 具体而言，第一安装板20还设有四个沿卡槽22周向间隔设置的弹性槽23。这样可以便于卡槽22卡合配合部12。

[0043] 图1?图5示出了根据本实用新型一些示例的扫描电镜背散射探头的安装结构1。如图1?图5所示，弹性件50为拉簧且为两个，两个所述拉簧的下端分别与第一安装板20的两端

相连且两个所述拉簧的上端均与下极靴10相连，两个所述拉簧的上端与下极靴10的连接处

在下极靴10的周向上相对。这样可以使第一安装板20的受力更加均匀，进一步提高第一安

装板20安装后的稳定性和位置准确性。

[0044] 具体地，如图1?图5所示，下极靴10上设有两个挂钩11，第一安装板20上设有凸耳24，所述拉簧的上端钩挂挂钩11且下端钩挂凸耳24。这样可以便于弹性件50的安装。

[0045] 有利地，第二安装板30为用于阻挡和/或吸收电子的绝缘板。这样可以利用绝缘板对电子进行吸收和/或阻挡，防止电子对探头40的电路板造成损坏。

[0046] 更为具体地，如图1?图5所示，探头40包括探头主体41和电路板42，第二安装板30上设有避让口31，探头主体41从避让口31露出。这样可以利用避让口31避让探头主体41，保

证探头主体41可靠运行。

[0047] 具体而言，电路板42上具有定位孔44，第一安装板20上设有定位环台25，定位孔44配合在定位环台25内。这样可以利用定位孔44和定位环台25对探头40和第一安装板20进行

定位，进一步提高探头40安装后的位置准确性。

[0048] 进一步地，定位槽43在第一安装板20和第二安装板30的一侧端面敞开以形成接口，电路板42在邻近所述接口的一侧设有接线端子。

[0049] 可选地，如图1?图5所示，第二安装板30通过螺纹紧固件60安装在第一安装板20上。这样可以实现第一安装板20和第二安装板30可拆卸地安装，而且可以便于保证第一安

装板20和第二安装板30以及探头40安装后的位置准确性。

[0050] 具体而言，螺纹紧固件60为四个，第一安装板20的四个拐角处设有四个螺钉安装孔，第二安装板30的四个拐角处设有四个螺钉过孔，每个螺纹紧固件60穿过螺钉过孔配合

在螺钉安装孔内。这样可以保证探头40安装的可靠性和稳定性。

[0051] 进一步地，挂钩11通过挂钩螺栓13安装在下极靴10上。这样可以便于挂钩11的安装，保证挂钩11安装后的稳定性和位置准确性。

[0052] 下面描述根据本实用新型实施例的扫描电镜。根据本实用新型实施例的扫描电镜包括根据本实用新型上述实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1。

[0053] 根据本实用新型实施例的扫描电镜，通过利用根据本实用新型上述实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1，具有拆装方便、可靠性强等优点。

[0054] 根据本实用新型实施例的扫描电镜的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

[0055] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结

构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术

语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或

者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

[0056] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换

和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。