上海有色金属化学分析技术理论与应用

压缩机叶片及其制备工艺 944     

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本发明公开了一种压缩机叶片及其制备工艺，叶片选用38CrMoAl作为压缩机叶片的基材，经整体调质热处理后采用短时高效的渗氮化学热处理制得压缩机叶片。其制备工艺路线为:割片→粗加工→调质处理(淬火+高温回火)→半精加工→去应力回火→精加工→渗氮化学热处理→研磨→滚抛→检验。本发明采用加工性好的38CrMoAl渗氮钢经整体调质热处理后采用短时渗氮化学热处理来制备叶片，不仅大大降低了原材料成本，进一步提高了叶片的耐磨性、抗疲劳、抗腐蚀能力，且节能、环保、低耗，从而为渗氮钢压缩机叶片应用提供了广阔前景。

气体净化系统 861     

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本实用新型公开一气体净化系统，其包括一净化装置和一监测装置，其中所述净化装置包括一净化本体和至少一化学净化件，其中所述净化本体具有一进口、一出口以及位于所述进口和出口之间的一净化室，其中所述化学净化件被设置于所述净化室，用于以化学净化的方式祛除废气中的VOCs，其中所述监测装置包括一VOCs监测器和一通信部件，其中所述VOCs监测器被设置于所述出口，用于监测被所述净化装置净化后的气体中VOCs，其中所述通信部件被通信连接于所述VOCs监测器，用于将监测的结果传输至一控制终端。

激光定位长变焦热成像扫描装置及其应用 866     

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本发明涉及一种激光定位长变焦热成像扫描装置及其应用，用于监测危险化学品集装箱的表面温度，包括支架、用于获取红外辐射能量的热成像模块以及用于定位异常温度点的激光指示模块，支架上端设有用于调整热成像模块位置的调节模块，热成像模块安装在所述调节模块的上部，激光指示模块设置在热成像模块的上部，并在激光指示模块与热成像模块之间设置用于调整激光指示模块位置的微调模块。与现有技术相比，本发明装置对危险化学品集装箱堆场进行扫描、定位，及时监控和识别有温度异常变化的集装箱，对危险化学品的安全储运及事故防范可提供技术支撑和有力保障，更加精确的监测危险化学品的异常温度变化，提高危险化学品的仓储管理水平。

基于神经网络及阻抗辩识校正的电池状态估计方法、系统 910     

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本发明提供了一种基于神经网络及阻抗辩识校正的电池状态估计方法、系统，其中方法包括：对同一批次电池电芯随机抽样获得测试样本，对测试样本进行循环寿命测试并采集不同温度、荷电状态、电池老化状态下的电化学阻抗谱；利用神经网络拟合任意3个参数相对另一个参数的函数；对将用于储能系统的电芯进行一次混合功率脉冲测试，标定各个参数，并与获得的电化学阻抗谱函数进行对照校正；组配电芯获得储能系统并投入运行，采用粒子滤波器获得电池运行时的荷电状态及老化状态；定时对电池电化学阻抗在线测量或校正，并利用函数进行参数校正并判断是否存在异常电池。本发明具有拟合容易、可解释性强、估算准确度高、能够实时监测电池状态等特点。

溶胶凝胶法制造In2O3纳米棒的方法 593     

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本发明涉及用溶胶凝胶法制造一种立方晶型 In2O3纳米棒的方法，属于化学化工技术领域。本发明方法的具 体过程和步骤为：用氯化铟溶液，加入一定量的形貌控制剂壬 基酚聚氧乙烯十醚，在50－80℃水浴中加热，用恒温磁力搅拌 器搅拌约30－50分钟后，用0.1mol·L－ 1氨水溶液滴定；控制滴定速度，滴至溶液的pH 为7时，停止滴定，在室温下静置数小时；用微孔过滤器洗涤 过滤，直至用0.1mol·L－1的 AgNO3溶液检验无氯离子为止； 将上述滤得的溶胶沉淀物，在真空干燥器中80℃温度下干燥2 小时，然后在管式炉中500℃热处理1小时，即可得棒状立方 晶体型纳米 In2O3。本发明用溶胶凝胶法制备 In2O3纳米棒，工艺简单易行，容易操作，制得的立方晶形 In2O3纳米棒纯度极高，而且产物分散均匀，可用作半导体气敏 元件材料。

大型船用涡轮增压器涡壳铸件的铸造方法 834     

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大型船用涡轮增压器涡壳铸件的铸造方法,其步骤包括混砂、造型、制芯、合型、炉料熔炼、出铁球化孕育处理、浇注、冷却、开箱、铸件清理、产品质量检验。在混砂、造型步骤中采用浇冒口合一工艺,并在铸件的厚大部位采用外冷铁。本发明生产出的涡轮增压器涡壳铸件产品的抗拉强度>500MPa、屈服强度>400MPa、伸长率>8%、硬度195～245HBS;铸件产品的金相组织为球化率>80%、铁素体>90%、钼碳化物<4%。产品化学成分符合技术条件。

负载金和碘元素的树状大分子CT靶向造影剂及其制备 899     

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本发明涉及一种负载金和碘元素的树状大分子CT靶向造影剂及其制备,该CT靶向造影剂的组分包括:树状大分子、靶向分子、纳米金颗粒和含碘的小分子;制备方法,包括:(1)通过化学键合的方式将靶向分子与PAMAM树状大分子表面氨基连接,制得靶向树状大分子载体;(2)将载体溶于水中,再滴加氯金酸水溶液,加入硼氢化钠,得到负载纳米金颗粒的靶向树状大分子材料;(3)将材料溶解于二甲亚砜溶液,将含碘的分子与树状大分子表面氨基连接,即得。本发明的造影剂具有对比度高、生物相容性好,体内循环时间长,稳定性好等优点,能够应用于X-射线计算机断层摄影术检查。

外墙装饰用人造构件的制备方法 858     

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一种外墙装饰用人造构件的制备方法,其特征在于包括如下步骤:①将多组分的填料混合均匀后送到真空浇注机内,将树脂、色浆、促进剂混合均匀后送到真空浇注机内,将固化剂送入真空浇注机内;②启动真空浇注机,将步送入真空浇注机内骤①中的各组分搅拌均匀,然后从真空浇注机的出料口注入模具;③将浇注后的模具震动、初凝、脱模;④将脱模后的产品送入烘房,控制温度70℃～90℃,时间为20～30分钟,从烘房中取出产品,降至常温即可。与现有技术相比,本发明的优点在于:利用丰富的矿产资源,采用浇注和出模工艺,不经过高能耗烧结过程,节约能源,成本较低,浇注可连续进行,工作效率高,脱模后即可,受外界因素少、成品率大大提高,另外,所得产品经过检验,强度、硬度、韧性等物理和化学性能大大提高。

使用LPCVD工艺沉积薄膜的方法 764     

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本发明公开了一种使用低压化学气相沉积工艺沉积薄膜的方法,该方法包括:在稳定阶段和沉积阶段中,维持炉管的加热器中的各个温区的温度不变,且各个温区的温度值按照各个温区的位置从上到下的顺序依次减小;在晶舟装载阶段、抽真空阶段、检漏阶段、后清除阶段、返压阶段和晶舟卸载阶段中的至少一个阶段中,调整炉管的加热器中的各个温区的温度。通过使用本发明所提供的方法,可有效地减小在薄膜的形成过程中装载在晶舟上的各个晶圆之间的热预算差值,改善半导体元器件的电学性能,提高所生产的半导体元器件的良率,降低制造成本。

后艉轴架的铸造方法 1018     

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本发明公开了一种后艉轴架的铸造方法,其采用整体铸造方法,一次浇注成型,化学成分、性能均匀一致,避免分体铸造的不均匀性,减少了分体铸造的拼焊焊缝这一薄落部位,简化了生产工序,减少了分体铸造拼焊所需的加工、焊接、消除焊接应力、检验等工序,缩短了生产周期,降低了制造成本,在质量使用要求上更能符合设计要求。

负载纳米金颗粒的树状大分子CT靶向造影剂及其制备方法 928     

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本发明涉及一种负载纳米金颗粒的树状大分子CT靶向造影剂,由靶向分子修饰的树状大分子包裹的纳米金颗粒构成,其中金原子与树状大分子的物质的量之比为25∶1～200∶1,靶向分子与树状大分子的物质的量之比为3∶1～10∶1,该CT靶向造影剂的直径为1～20nm;其制备包括:在树状大分子的水溶液中滴加氯金酸水溶液并搅拌均匀,然后加入硼氢化钠进行还原反应,经透析除去杂质并冷冻干燥处理得到CT造影剂固体粉末,最后在树状大分子外围化学键合靶向试剂分子,制得CT靶向造影剂。该造影剂具有生物相容性好,体内循环时间长,稳定性好等优点,且经靶向分子修饰后有望实现肿瘤部位的主动富集,在X-射线计算机断层摄影术检查等领域具有良好的应用前景。

全封闭式无菌细胞培养方法 1044     

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本发明提供了一种全封闭式无菌细胞培养方法,即对进入细胞培养区域的人员、物体、空气分别进行无菌化处理,所述的细胞培养区域为全封闭式。所述的人员无菌化步骤为:操作人员进入细胞培养区域之前依次进行体检、沐浴、泡手灭菌,然后穿戴无菌工作服;所述的物体无菌化步骤为对物体进行高温湿热消毒、化学灭菌或辐照灭菌;所述的空气无菌化步骤为:空气新风补充量控制在30%±5%;对于新风口防尘无纺布、中效空气过滤器和高效空气过滤器定期更换。本发明优点在于通过各种手段和标准流程保证细胞培养区域无菌,不需添加抗生素,使培养的细胞更加安全可靠。

用于琼脂糖凝胶微珠交联的反应釜 633     

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一种用于琼脂糖凝胶微珠交联的反应釜，属于化学反应设备领域，用以解决通用化学反应设备不能很好的满足琼脂糖凝胶微珠活化及交联过程中对物料混合效果及物理化学参数监测的需求。该反应釜由顶帽、釜体、滤网、底盖组成，内壁具有一定尺寸的圆滑的弧形凹槽，内部空间的短径与长径也成一定比例，此外还有纳米不粘涂层、控温或恒温夹层、传感器探测头、观测窗等结构或部件。该反应釜能够加快琼脂糖凝胶微珠活化及交联过程中固液混合的速度，有助于提高温度控制的效率和效果，并且更加方便、精确的监测反应过程中的物理化学参数。

高性能热电材料及其制备方法 592     

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本发明涉及一种高性能热电材料及其制备方法，材料的化学式为Eu1‑yCayZn2‑xAgxSb2，其中，x＝0，y≤0.5；或y＝0，x≤0.05；所述材料通过以下方法制成：以高纯单质(>99.99％)为原料，按上述化学式中化学计量比配料，混合均匀后，放置到涂炭的石英管中进行真空封装，再放入井式炉中经高温熔融、冷水淬火及退火热处理后，研磨成粉末并进行真空热压烧结，缓慢降温后即得到目的产物。与现有技术相比，本发明通过使用低价态Ag原子对Zn原子位置进行掺杂调控载流子浓度，使本征p型EuZn2Sb2热电半导体材料的载流子浓度在3.5～14×1019cm‑3范围内可调，并通过Ca取代Eu原子位置形成固溶体，在不影响载流子浓度的前提下，引入点缺陷在整个测试温度范围内大幅度降低材料的晶格热导，从而提高了其热电性能。

纳米药物自导向自组装量子化电导结及其制备方法 963     

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本发明涉及纳米科学与纳米技术先进材料、纳米药物量子点和单分子膜与量子信息处理器研究领域。具体涉及纳米药物自导向自组装量子化电导结及其制备方法。本发明以BEC-BCS量子物理、量子化学、量子生物学、协同相互作用量子场和非弹性电子隧穿相互作用,用七种协同模式实现自导向自组装具有光电活性、价电子跃迁或质子转移π轨道或单光子传递捐赠体和受体的生物化学药物分子聚合物构成纳米结构量子点和单分子膜及其量子化电导结。使其具备纳米结构矩阵构型、分子导线和逻辑开关功能,其核心组份为抗氧化酶类氧自由基拮抗剂,β-受体激动剂,P2受体激动剂,苯烷胺类钙拮抗剂单体及其二元,三元,四元复合物。本发明有益于等级有序纳米结构自导向自组装功能偶合先进材料、分子电子学或量子器件、量子生物学标准测量技术、光电信息功能材料和靶标识别功能量子点新型诊断工具与生物化学传感,和靶向疾病机制的药物传输体系与纳米结构创新药物的研究。

铝酸锶基上转换发光材料及其制备方法 973     

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本发明涉及红外光激发的铝酸锶基上转换发光功能材料及其制备。该上转换发光材料是在单斜结构的铝酸锶基质中掺杂稀土元素和/或碱金属元素而得,为单斜铝酸锶结构,其化学成分符合化学通式Sr1-x-y-zAxMyRzAl2O4,其中A为碱金属元素Li+、Na+和K+中的一种或多种,且0≤x≤0.40;M选自稀土元素Ho3+和Tm3+,且0.0005≤y≤0.10;R选自稀土元素La3+、Yb3+等元素,且0.001≤z≤0.30。该铝酸锶基上转换发光材料的物理和化学稳定性好,无放射性污染,易于合成,发光强度高,颜色可调,可广泛用于生物分子荧光标记、激光器、三维立体显示、红外探测、防伪、太阳能电池等领域。

晶圆表面平坦化的方法 738     

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本发明公开了一种晶圆表面平坦化的方法,包括,提供表面具有介质层的晶圆,包括中心区域以及环绕中心区域的边缘区域;去除边缘区域部分厚度的介质层;对于整个晶圆表面的介质层进行化学机械研磨,其中所述边缘区域为试片研磨后介质层厚度大于蚀刻通孔深度的介质层区域,边缘区域介质层去除厚度大于或等于通过试片测得的化学机械研磨后晶圆中心区域的介质层和晶圆边缘区域的介质层的平均厚度差距。本发明晶圆表面平坦化的方法使得晶圆表面的介质层在经过化学机械研磨之后,晶圆边缘区域的介质层厚度与晶圆中心区域的介质层厚度差距缩小,从而提高了晶圆表面平坦化的程度。

在液相中原位制备脂双分子层膜的方法与装置 728     

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本发明属于膜制备技术领域,具体涉及一种在液相中原位制备脂双分子层膜的方法与装置。本发明采用原位高温囊泡融合法,与普通的囊泡融合法的不同点:一是结合原子力显微镜(AFM)液池针架设计进样装置,实现在样品台上原位制备双层膜;二是融合过程都在高于室温的温度下实现,加速了融合过程。形成的双分子层膜可供原子力显微镜(AFM)观测研究。该方法不仅使得膜的形成过程及膜的表面形貌处于原子力显微镜的实时监测之下,还可通过控制进样器,原位改变膜所处的液相环境,从而实现控制膜表面的化学及物理吸附、膜表面的化学反应及膜表面的晶体生长等等。本方法还可用于制备及改性其它两亲性分子膜。

加工半导体结构的装置 751     

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本发明揭示了一种加工半导体结构的装置，包括第一机械手、晶圆缓存台、第二机械手、膜厚测量装置、电化学抛光腔、清洗腔、预加热腔、第三机械手、干法气相刻蚀腔及后冷却腔。第一机械手在晶圆缓存台、预加热腔及后冷却腔之间传送晶圆；晶圆缓存台放置晶圆；第二机械手在晶圆缓存台、膜厚测量装置、电化学抛光腔及清洗腔之间传送晶圆；膜厚测量装置寻找晶圆上的缺口并测量晶圆上金属层的厚度；电化学抛光腔电化学抛光晶圆；清洗腔清洗和干燥晶圆；预加热腔加热晶圆；第三机械手在预加热腔、干法气相刻蚀腔及后冷却腔之间传送晶圆；干法气相刻蚀腔干法气相刻蚀晶圆；后冷却腔冷却晶圆。本发明的装置结构紧凑，占地面积小，工艺效率高，降低了加工半导体结构的成本。

船舶压载水管系涂层的海水腐蚀等效评价方法 579     

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本发明的一种船舶压载水管系涂层的海水腐蚀等效评价方法，包括以下步骤：（1）取待测试样放入模拟海洋或含盐潮湿地区气候的环境下进行的盐雾试验，观测其耐盐雾腐蚀性；（2）盐雾试验结束后，将试样从盐雾试验箱中取出，分别采用三电极体系测定其电化学腐蚀性；每个试样即为待测工作电极，参比电极采用Ag/AgCl电极，辅助电极为石墨棒，测试电解液为3.5wt%的NaCl溶液；（3）对每个试样进行涂层附着力的测试；（4）结合耐盐雾腐蚀性测定、附着性测定和电化学腐蚀性测定的结果，评定腐蚀等级。本发明通过耐盐雾腐蚀性测定、附着性测定和电化学腐蚀性测定对船舶压载水管系涂层海水腐蚀进行等效评价，建立完善的涂层评价指标。

结垢趋势和阻垢效果评价装置及其评价方法 1009     

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本发明公开了一种结垢趋势和阻垢性能评价装置及其评价方法,其原理为使试样以恒定压差流过毛细管,通过监测毛细管中试样流量的衰减所反映的毛细管堵塞情况表征试样的结垢趋势,以相同瞬时流出速率衰减幅度下化学或物理改性试样累计流出量与空白试样累积流出量的比值表征物理措施和药剂的阻垢性能。本发明中的结垢趋势和阻垢性能评价装置及其评价方法适用于水处理、石油开采、海水淡化、石油加工和化工生产中多种液体介质的结垢预测,以及各种物理和化学阻垢措施的阻垢性能评价和筛选。

高温下稳定使用的铋层状结构压电陶瓷材料及其制备方法 731     

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一种在高温下稳定使用的铋层状结构压电陶瓷材料及其制备方法，属压电陶瓷领域。铋层状结构型压电陶瓷材料的化学通式为：Bi2O22+(Am－1BmO3m+1)2；其中CaBi4Ti4O15相应的化学式为：(Bi2O2)2+(CaBi2Ti4O13)2+，A位为Ca2+、Bi3+离子，B位为Ti4+离子，m＝4。本发明的压电陶瓷材料采用传统固相反应法进行制备，可获得各种形状的压电陶瓷元件；材料的主要性能为：ε33T/ε0＝130，tanδ＝0.10％，Tc＝782℃，d33＝19pC/N，ρv(480℃)＝1×109Ω·cm，且能在室温至480℃范围内反复使用。利用这类陶瓷元件组装成的各种压电传感器，可在高温条件下的测量、探测与自动控制等方面获得广泛应用。

高体电阻率铋层状结构压电陶瓷材料及其制备方法 560     

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一种高体电阻率铋层状结构压电陶瓷材料及其制备方法，属于陶瓷组成与制备领域。铋层状型压电陶瓷材料的化学通式为：(Bi2O2)2+(Am－1BmO3m+1)2－；其中，SrBi4Ti4O15相对应的化学式为：(Bi2O2)2+(SrBi2Ti4O13)2－，A位是Sr2+、Bi3+离子，B位是Ti4+离子，m＝4。本发明采用行星球磨、敞开粉末合成、敞开烧结的压电陶瓷工艺进行制备，材料的主要性能为：ε33T/ε0＝160±20，tanδ＝0.28％，Tc＝530℃，d33＝21pC/N，ρv(400℃)＝1.2×1010Ω·cm，可以制成各种形状的压电陶瓷元件，且能在室温至400℃范围内反复使用。利用这种材料制得的陶瓷元件，组装成各种压电传感器，可以在高温条件下的测量、探测与自动控制方面获得广泛应用。

扁平塑封球栅阵列封装所用的载板的制造方法及其载板 691     

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本发明提供一种扁平塑封球栅阵列封装所用的载板的制造方法。传统的载板存在着载板在进行封装之前无法进行电性测试的问题。本发明的制造方法包含下列步骤:准备一双面覆铜板;利用化学蚀刻工艺在该双面覆铜板上形成基片表面线路、焊盘和电镀总线;在所述基片表面线路和所述电镀总线上形成第一保护膜,曝露出需要电镀金的所述焊盘区域;然后放入到电镀液中进行电镀,在所述焊盘上形成电镀层;去除所述第一保护膜;在所述载板表面上形成第二保护膜,曝露出所述电镀总线;利用化学蚀刻工艺除去所述电镀总线。利用本方法制造的载板在封装之前可以进行电性方面的测试,从而确认所有用于封装的载板在电性方面都是合格的。

铜互连电镀填充方法 1033     

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本发明涉及一种铜互连电镀填充方法，包括以下步骤：将用于孔填充的镀铜液作为电解液，放入三电极体系中，测量其电化学曲线；根据电化学曲线确定电流峰和电流谷分别对应的电压值；将具有孔结构的样品作为工作电极放入三电极体系中，使孔表面的电压对应于电化学曲线上电流谷对应的电压，通电后取出；测量孔截面各处填充铜的厚度，其最厚处对应于电化学曲线上电流峰的位置；调整镀铜液的浓度，改变其电化学曲线上电流峰和电流谷的位置，使在电镀铜过程中孔表面的电压对应于电化学曲线上电流谷对应的电压，孔底的电压对应于电化学曲线上电流峰对应的电压，即可。本发明能够实现镀铜无缺陷的完美填充，而且操作简便，可广泛用于各种高端电子制造领域。

超疏水纳米银结构拉曼增强基底材料及其制备方法 1039     

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本发明公开了一种超疏水纳米银结构拉曼增强基底材料及其制备方法；制备时，将基材依次进行表面除油和酸洗处理；置于化学镀银沉积液中进行化学沉积，所述化学沉积的时间为2～30min，温度为20～80℃；将沉积得到的纳米银基底放置1～2月，即得所述超疏水纳米银结构拉曼增强基底材料。本发明的方法系一步法化学沉积，简单易行，且无需任何表面修饰即可获得高接触角滞后的超疏水表面；制备得到的基底有超灵敏的拉曼增强效果，以罗丹明6G(R6G)作为探针分子，探测极限低至10-12mol/L；同时，该基底有很好的表面结构稳定性，包括耐酸、耐碱、耐有机溶剂及耐低温、高温等优良性能，可满足实际应用需要。

用于泵的辅助密封装置及长轴泵 981     

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本实用新型公开了用于泵的辅助密封装置及长轴泵，辅助密封装置中紧急密封盘固设在泵转子组件上，紧急密封环安置在密封法兰上，并与紧急密封盘配合隔断密封泵体，定位滑块可移动的安置在密封法兰内，并与紧急密封盘相配合，推动紧急密封盘移动与紧急密封环密封配合，定位杆安置在密封法兰上，并与定位滑块配合，推动定位滑块移动。安置有该装置的长轴泵在泵机械密封需要检修更换时，利用辅助密封装置将罐或类似容器内的化学品与外界作隔断密封，然后进行后续的检修操作。本实用新型能够保证泵设备在停泵或检修时均不会出现化学品介质的向外泄漏的问题。

DNA生物传感器电极的制作方法及其应用 998     

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本发明涉及一种DNA生物传感器电极的制作方法及其应用，利用丝网印刷技术印刷薄片型电极，其步骤如下：a.底板选择和处理；b.印刷导电银层；c.印刷碳层；d.印刷绝缘层。采用电化学沉积的方法，实现了在ZrOCl2的KCl溶液中氧化锆薄膜对丝网印刷碳电极的表面修饰。传感器上的ssDNA与杂交液中能互补配对的ssDNA杂交反应，形成dsDNA。杂交前后的单/双链DNA与亚甲基蓝作用的不同，利用微分脉冲伏安法记录该传感器在亚甲基蓝溶液中的电化学信号，测量峰电流的变化即可对待测DNA进行定性和定量。该法可测定低至10－10M的DNA，是一种灵敏度高，选择性专一的技术。该法制备简单、特异性强、可批量生产，在医疗诊断、食品工业和环境保护领域均具有十分重要的意义。

小型地球静止轨道卫星轨道转移方法及系统 1052     

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本发明提供了一种小型地球静止轨道卫星轨道转移方法及系统，包括：通过三个阶段将小型地球静止轨道卫星从地球转移轨道转移至地球静止轨道，具体包括：在第一阶段，变轨化学推力器点火，以快速提升轨道近地点高度至第一高度以上，且国内测控弧段不小于阈值测控弧段为控制目标执行变轨；在第二阶段，电推力器以所述轨道近地点高度调整至第二高度的同时，轨道倾角调整至阈值倾角、轨道偏心率调整至阈值偏心率为控制目标执行变轨；在第三阶段，姿控化学推力器点火，以进入目标轨位精度范围内为目标执行定点捕获。

透射电子显微镜样品结染色的方法 926     

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本发明提供了一种透射电子显微镜样品结染色的方法，包括：切割样品的第一侧面至距离待测结侧向地距离第一预定厚度的SiO2的位置处；使用第一化学试剂去除第一侧面上剩余的全部SiO2；使用第二化学试剂去除待测结中的掺杂硅；完成透射电子显微镜样品的第二侧面的切割制备，形成透射电子显微镜样品薄片，其中离子束不直接切到Si，而侧向地保留距离待测结的第二预定厚度的SiO2。