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化学机械抛光装置及其控制方法

在化学机械抛光装置及其控制方法中,根据待抛光层的抛光工艺制程制备有关终点检测部件的检测光量的待抛光层的初始厚度表。输入层的抛光工艺制程,并通过将光投射到半导体晶片上,使用终点检测部件检测由层反射的光量。抛光工艺之前参考有关检测光量的层的初始厚度表计算层的厚度作为检测到的光量。抛光到需要的厚度之前,由计算的厚度计算抛光时间。抛光待抛光的层的同时,通过减小计算的抛光时间来检测终点。然后,当检测到终点时,终止抛光工艺。通过仅将程序添加到常规的CMP装置的控制器,可以精确地控制抛光终点,并且可以提高操作条件和效率。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
微量化学芯片和反应装置

本发明提供一种简便而紧凑的微量化学芯片,该微量化学芯片中切实地形成有微细流路,该微细流路使来源于生物体的珍贵样本或痕量的稀释试剂流过;即使通过加压使流体试样流过也不发生破裂;使流体试样能够精确、切实地依照要求流过;使样本的有用物质如生物组分能够被精确、简便快速分析,并使有用物质能够发生反应;且可以进行高成品率、大规模且均匀的制造。微量化学芯片(1)中,流路(26)贯通橡胶片(20),所述流路供选自样本和试剂的流体试样在加压下流入并发生化学反应;橡胶片(20)夹在选自金属、陶瓷、玻璃或树脂的基材片(10、30)之间,其正反两面与基材片(10、30)通过直接结合或由硅烷偶联剂而介在的化学键来结合;并且,用于将流体试样注入流路(26)的孔(11a、11b)、和用于将流体样本排出的孔(12a、12b、12c)在基材片(10)中开孔。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
智能个性化化学合成规划

用于由处理器智能发现合成目标化合物的优选化学反应路径的实施例。可接收用户想要合成的目标化合物的目标化合物数据。可基于一个或多个化学反应,针对目标化合物的一个或多个化学反应路径计算偏好得分。根据针对一个或多个化学反应的偏好得分,使用修改的逆合成分析来确定目标化合物的一个或多个优选化学反应路径。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于化学传感器应用的薄膜晶体管

公开了化学传感器。所述化学传感器在一些具体实施方案中是包括第一晶体管和第二晶体管的电子器件。所述第一晶体管包括由第一半导体和碳纳米管制成的半导体层。所述第二晶体管包括由第二半导体制成并且不含有碳纳米管的半导体层。两个晶体管对于化学物质的响应不同,并且不同的响应可用于确定某些化学物质的特征。所述化学传感器可用作爆炸性化合物如三硝基甲苯(TNT)的一次性传感器。所述电子器件与加工由电子器件产生的信息的分析仪结合使用。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于确定化学元素浓度并控制半导体工艺的热磷酸的自动采样

描述了用于确定化学元素浓度和控制半导体工艺的样品的自动采样系统和方法。一个系统的实施例包括被配置为在第一位置收集磷酸样品的远程采样系统,所述远程采样系统包括远程阀,所述远程阀具有与其耦合的保持环;以及被配置为用于定位在远离所述第一位置的第二位置的分析系统,所述分析系统经由输送管线耦合到远程阀,所述分析系统包括被配置为确定磷酸样品的一个或多个成分浓度的分析设备,并且包括被配置为将样品从保持环引入输送管线以利用分析设备进行分析的第二位置处的样品泵。

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化学分析
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能够减小化学强化时的翘曲的玻璃板

本发明的目的在于提供能够有效地抑制化学强化后的翘曲、并且能够省略或简化化学强化前的研磨处理等的玻璃板。本发明涉及一个表面的F浓度高于另一个表面的F浓度的化学强化后的玻璃板、以及一个表面的F浓度高于另一个表面的F浓度的用于化学强化的玻璃板。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于电化学鉴定靶核苷酸序列的方法

本发明涉及用于靶核酸序列电化学检测的方法和集合。根据所述方法,提供可能包含核酸的生物样品,所述核酸能包含靶序列,所述生物样品与氧化剂混合,所述靶序列包括至少一个能由所述氧化剂氧化的核苷酸碱基;提供能与所述靶序列结合的互补装置;根据本发明,所述互补装置包括适于复制所述靶序列的可激活的扩增装置,所述扩增装置包括至少包括所述核苷酸碱基的核苷酸,其中所述核苷酸能在复制过程中消耗以构成复制核酸;并且通过对所述样品施加电场并记录电流的降低而确定所述靶序列的存在。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
金属错合物色素组成物、光电转换元件及光电化学电池以及金属错合物色素的制造方法

本发明提供对溶剂的溶解性高的金属错合物色素组成物,以及光电转换效率高的光电转换元件及光电化学电池。此金属错合物色素组成物按HPLC(高效液相层析法)的254nm检测的面积计,以0.5~5%的含有率包含通式(1)所示的金属错合物色素以及特定结构的金属错合物色素。M1(LL1)m1(LL2)m2(Z1)2·(CI1)m3???通式(1)[通式(1)中,M1表示金属原子,LL1为2牙配位基,LL2为2牙配位基;Z1表示配位基,为选自异硫氰基、异氰酸基及异硒氰基的至少1种;CI1表示需要对离子来中和电荷时的对离子;m1及m2均为1,m3为0以上的整数]。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学电离方法和离子分子反应器

本发明涉及一种化学电离方法,用于电离含有待电离分析物的样品。其中,反应体积(2)中存在由反应物离子和掺杂物形成的配基化合物离子。其中,将含有分析物的样品引入反应体积(2)中,并与配基化合物离子发生反应,以形成加合离子和中性的副产物,其中,加合离子包括经电离的分析物,也即反应物离子和相应分析物的加合物。其中,反应物离子和掺杂物与配基化合物离子结合时提供的结合能高于反应物离子与配基形成物结合时提供的结合能,其中,当含有分析物的样品与配基化合物离子发生反应并形成加合离子和中性的副产物时,配基形成物至少以痕量形式存在于反应体积(2)中。

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化学分析
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电化学氯乙烯传感器及其使用方法

本发明涉及电化学氯乙烯传感器及其使用方法。各种实施方案涉及电化学氯乙烯传感器,其被配置成检测存在于一定体积的环境气体中的一定体积的氯乙烯。所述电化学氯乙烯传感器包括:壳体,其包括被配置为接收一定体积的环境气体的开口和流体连接到所述开口的内部贮器;和多个电极,所述多个电极固定地设置在所述壳体的所述内部贮器内。所述多个电极包括感测电极、对电极和参比电极,其中至少一个包含具有无定形结构的催化材料。在感测电极与参比电极之间施加至少约小于300 mV(例如,200 mV)的偏置电压。所述多个电极包括三电极堆叠体,其被配置成使得对电极被设置在感测电极和参比电极之间。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多层化学机械抛光垫
多层化学机械抛光垫 773     
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本发明提供了一种多层化学机械抛光垫,其包括:抛光层,所述抛光层具有抛光表面、扩孔开口、与抛光表面平行的抛光层界面区域;多孔子垫层,该子垫层具有底表面以及平行于底表面的多孔子垫层界面区域;以及广谱终点检测窗口块体;其中所述抛光层界面区域和多孔子垫层界面区域形成共延伸区域;其中,所述多层化学机械抛光垫具有从所述抛光表面延伸至所述多孔子垫层的底表面的贯穿开口;其中,所述扩孔开口开在所述抛光表面上,使所述贯穿开口扩大并形成阶状部分;并且所述广谱终点检测窗口块体设置在所述扩孔开口内。

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化学分析
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气体检测系统及气体检测方法

一种气体检测系统,其包括(1)输出装置,被配置为输出通过对包括气体检测层的气体传感元件进行监测而获得的数据,所述气体检测层含有颜料;以及(2)信息处理设备,被配置为对由所述输出装置输出的数据进行处理,其中,所述信息处理设备包括确定单元,被配置为基于所述数据来确定所述气体传感元件是否检测到气体;以及显示控制单元,被配置为当所述确定单元确定出所述气体传感元件检测到所述气体时,所述显示控制单元在指示元件上显示用于指示检测到所述气体的所述气体传感元件的位置的信息、或用于指示基于所述数据所确定的气体泄漏状态的信息。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
评估产出流体中的化学品的方法

本发明涉及一种对在不可与水混溶的并且可以含有或可以不含有一些水性流体的流体中的水溶性处理化学品进行监测的方法,所述方法使用至少一种产生可光学检测的产物的试剂,检测步骤可以在不将含有处理化学品的水相从不可与水混溶的流体中分离的情况下进行。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
细胞电位检测装置、细胞电位检测装置的制造方法及信息处理系统

本发明涉及能够防止细胞培养液泄漏的细胞电位检测装置、细胞电位检测装置的制造方法及信息处理系统。根据本发明的细胞电位检测装置包括:细胞电位检测芯片,其包括用于检测细胞的电位的电极单元;基板,所述细胞电位检测芯片被安装在所述基板上;第一构件,其密封将所述细胞电位检测芯片和所述基板电气连接的连接部;以及第二构件,其被层压在所述第一构件上,所述第二构件和所述第一构件一起形成用于储存所述细胞的培养液的储液部。本技术能够应用于例如封装有用于检测因细胞中的化学变化而在动作电位源点处产生的电位的芯片的半导体模块。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学强化玻璃的制造方法

本发明涉及一种化学强化玻璃的制造方法,其包括进行抽样检查,该抽样检查包含玻璃的折射率分布的测定。根据本发明的制造方法,能够稳定且准确地测定化学强化玻璃的表面压缩应力及压缩应力层的深度。

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其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学传感器芯片
电化学传感器芯片 772     
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电化学传感器设置在适于被倒装芯片安装到另一基底的传感器基底上。可以通过在具有过孔的共同基底上图案化电极组来批量制造电化学传感器,这些过孔将各电极电联接到在基底的相对侧上的导电焊盘。然后可以切割其上具有电极的基底,并且单个的电化学传感器可以被倒装芯片安装在身体可安装设备中,在身体可安装设备中所述传感器可以用以获得分析物的浓度。因此,电化学传感器电极的制造可以与设备中的其它电子器件的制造隔离,这可以促进传感器的有效率的制造,并允许制造其它电子器件而没有与电极制造相关联的限制。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学校准方法、系统和装置

本发明涉及一种校准检测设备的方法,特别是离子迁移谱仪,该方法采用异氟烷(CAS Reg.No.26675‑46‑7)作为化学标准品从而基于对收集的异氟烷单体负离子的实验数据相对收集的异氟烷的二聚体负离子的实验数据的评价来校准用于已知目标化学品的检测设备。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
有机器人存取卡匣的化学机械研磨工具

一种半导体制造系统,包括:化学机械研磨系统;卡匣保持区域,卡匣保持区域由壁包围并具有门,门可由操作员打开以将一或多个卡匣放置入卡匣保持区域;机器人,机器人经配置以在卡匣保持区域中的卡匣和化学机械研磨系统之间传送基板;计算机控制器,计算机控制器经配置以使机器人移动到起始位置(home position);断路器,断路器在通向机器人的电源线路中;门传感器,门传感器用于检测门是否打开;机器人存在传感器,用于检测机器人是否处于起始位置;和控制电路,控制电路经配置以从门传感器和机器人存在传感器接收信号,并且若门是打开的且机器人不处于起始位置,则使断路器切断对机器人的供电。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于输药及检测的人体皮肤微穿孔方法

本发明描述利用微穿孔和任选地利用声能和化学促进剂来促进皮肤(120、274)对被分析物的渗透以供诊断的方法或促进皮肤对药物的渗透以供治疗的方法。如果选择的话,可用调频、调幅、调相和/或其组合等方式来调制声能。微穿孔是这样完成的:(a)通过水的局部快速加热使水汽化从而侵蚀细胞以烧蚀角质层(274);(b)用一经校准的微型刺血针穿刺角质层(274),以形成直径不大于约1000μm的微孔;(c)将紧密聚焦的声能束聚焦到角质层(274)上对角质层(274)进行烧蚀;(d)用高压液流将角质层(274)进行液压穿刺以形成直径不大于约1000μm的微孔;或(e)用短的电脉冲穿刺角质层(274)以形成直径不大于约1000μm的微孔。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
在结构的电化学制造期间保持层的平行度和/或实现所期望层厚度的方法和装置

本发明的一些实施例提供了用于电化学制造多层结构(98)(例如中尺寸或微尺寸结构)的工艺和装置,对于在电化学制造工艺期间平坦化的材料(如层)具有改进的终点检测和平行度保持。一些方法包括在平坦化期间使用固定设备,其确保了材料的平坦化平面在给定的容差之内平行于其它层。一些方法包括使用终点检测固定设备(292、294、296、298),其确保了沉积材料相对于衬底(82)的初始表面、相对于第一沉积的层或相对于在制造工艺期间形成的其它层的精确高度。在一些实施例中,可通过精研进行平坦化,而其它实施例可使用金刚石飞刀切削机器(408)。

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其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
制造半导体元件的方法及其化学机械抛光系统

制造半导体元件的方法,包括在半导体衬底上形成第一层,提供由第一组份和第二组份组成的混合物,光学检测混合物中第一组份的浓度,并将混合物涂在第一层上。本方法使用的化学机械抛光(CMP)系统(100)包括导管(110),它具有第一输入端(111)、CMP研磨剂输出端(113)和CMP研磨剂感应端(114)。CMP系统还包括位于CMP研磨剂感应端附近的折射计(150)。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
缩聚化学计量控制
缩聚化学计量控制 720     
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本发明涉及一种缩聚化学计量控制。一种制备聚醚酰亚胺的方法,包括:在反应混合物中设定酸酐‑胺化学计量的目标范围;将溶剂、二胺、双(醚酐)和任选的封端剂结合以形成反应混合物,其中反应混合物具有聚酰胺酸含量;用近红外振动光谱法分析反应混合物的胺和酸酐端基含量;计算酸酐‑胺化学计量;将计算的酸酐‑胺化学计量与目标化学计量比较,并且在必要时,基于计算的酸酐‑胺化学计量与目标化学计量的比较,调节双(醚酐)或二胺的浓度。

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其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械抛光系统和抛光衬底的方法

本发明的实施例涉及化学机械抛光系统和抛光衬底的方法。公开了一种化学机械抛光的方法,包括:将浆料供应到抛光垫上;将晶圆压向所述抛光垫上,其中,第一压电层设置在压力单元和所述晶圆之间;检测所述第一压电层产生的第一电压;根据检测到的所述第一压电层产生的所述第一电压,使用所述压力单元,将所述晶圆压在所述抛光垫上;以及使用所述抛光垫抛光所述晶圆。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
微流控电化学生物传感器

本实用新型明公开了微流控电化学生物传感器,包括电极组和绝缘体,电极组包括工作电极和对电极,绝缘体设有至少一个检测槽,电极组位于检测槽内。本实用新型提供了一种可同时对多个样本或一种样本的多种参数进行检测的微流控电化学生物传感器。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
鉴别靶存在情况的电化学方法和装置

本发明提供了一种鉴别样品中靶存在情况的电化学方法。所述方法包括,提供被修饰以包含适合结合所述靶蛋白的检测器的氧化还原探针,以及将所述样品暴露于所述检测器修饰的氧化还原探针。与对照信号相比,所述氧化还原探针产生的电化学信号变化指示所述靶蛋白的存在情况。

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其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测传感器和使用侧装式测量计接触件的方法

本发明公开了一种包括盖子和基部的电化学检测传感器。该基部具有长度和宽度。该基部的长度大于该基部的宽度。该基部包括至少工作电极、反电极和用于与测量计电连接的至少三个检测传感器接触件。该至少三个检测传感器接触件沿着该基部的长度彼此隔开。该基部和该盖子用于形成接收该流体样本的流体腔。该电化学检测传感器还包括用于测定该流体样本中分析物浓度的试剂。

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具有可替换样品收集芯片的化学品传感器

本发明涉及具有可替换样品收集芯片的化学品传感器。一种化学品传感器被提供在第一半导体裸片上。稳压器被提供在第二半导体裸片上。模数转换器和微控制器被提供在第三半导体裸片上。第一裸片被配置为连接至第二裸片。第二裸片被配置为连接至第三裸片。化学品传感器检测周围环境中的化学品并且输出信号至模数转换器。模数转换器将该信号转换为数字信号并且输出该数字信号至微控制器。微控制器提供周围环境中的化学品浓度的测量。

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其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于纳米颗粒组件的选择性化学传感器

本发明涉及一种纳米颗粒膜,包含由纳米颗粒通过连结分子互连形成的纳米颗粒网。连结分子含有至少两个连结单元可结合到纳米颗粒表面上。通过将选择性增强单元引入连结分子,可增强纳米颗粒膜对靶标分析物的选择性。通过在选择性增强单元附近加入微调单元可微调选择性。该纳米颗粒膜可用于制造有选择性并且性能稳定的化学传感器。

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化学分析
其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
三相交流直流转换装置、使用该装置的光化学反应装置、方法及内酰胺的制造方法

提供三相交流直流转换装置、使用该三相交流直流转换装置的光化学反应装置、方法及使用该光化学反应方法的内酰胺的制造方法,该三相交流直流转换装置设在三相交流电源和发光二极管群之间,具有:三相全桥电路,其在直流母线之间并联连接有与三相交流电源的三个相对应的各一对开关元件;电抗器,其连接开关元件之间的连接部和三相交流电源的对应的相;三相全桥电路的输出侧的平滑用电容器;直流电压检测单元;电源电压相位检测单元;输出各开关元件的脉宽调制信号的脉宽调制单元,脉宽调制单元根据电源电压相位和直流母线之间的输出电压,输出脉宽调制信号。针对大容量的发光二极管群,能够抑制压降现象的发生,并且,抑制对交流电源侧的影响,并且使发光二极管群稳定地连续点亮,有助于光化学反应的稳定化。

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具有扩散曲径的电化学传感器

本发明涉及一种电化学传感器(1),其包含具有室的外壳(11),所述室含有电解质(9);至少一个用于氧检测的测量电极(2a);至少一个对电极(2b)和至少一个参比电极;其特征在于所述传感器(1)具有一个两部分扩散阻挡物,其中该阻挡物的第一部分(12)与设置在测量电极和对电极(2a、2b)之间的该阻挡物的第二部分(6)形成曲径。

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