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吉林有色金属化学分析技术理论与应用

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基于刀具磨损状态的切削参数优化方法

发明名称一种基于刀具磨损状态的切削参数优化方法摘要由于镍基高温合金具有良好的的热强性能、热稳定性能和热疲劳性能,被广泛应用于航空航天领域,用做航空发动机和燃气轮机耐热零部件。但是,在切削过程中切削力大且波动大、切削温度高,刀‑屑界面间发生强烈的摩擦,刀具磨损严重,属极其难加工材料之一。根据镍基高温合金在稳态切削过程中氧化磨损的演化特点,结合对刀具磨损形貌观测与分析,并采用刀具磨损表面吉布斯自由能理论,揭示刀具磨损表面材料的物理化学状态,找出最佳磨损状态的最佳切削温度。并根据最佳切削温度对切削参数进行了进一步优化,降低刀具磨损,提高刀具寿命。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
压电驱动微混合器及其制作方法和控制方法

本发明公开了属于微混合器技术领域的一种压电驱动微混合器及其制作方法和控制方法。所述微混合器,由一整体PDMS基板将微流体驱动单元(即:压电泵)和微混合单元(即:混合流道)集成于一体,单晶片压电振子及单向阀片同PDMS基板封装构成压电泵,玻璃底板同PDMS基板封装构成混合流道;压电振子采用不同电压、频率、不同波形及相位交错式驱动电信号予以激励,实现微流体在微混合流道内高频脉动错位式混合。有效克服了微尺度下微流体依靠层流扩散进行混合,混合效率低,时间长等缺点,实现高效湍流混合。本发明优势在于:制作方法简单、成本低、混合效率高、时间短、体积小、易于集成,可广泛应用于分析化学、微化工系统、环境监测、生命科学等领域。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
锂离子电池机理建模方法

本发明属于电动汽车锂离子动力电池技术领域,涉及一种锂离子电池机理建模方法;克服了锂离子电池电化学模型结构复杂、参数难以辨识,经验模型精度低的缺点;包括以下步骤:1)建立锂离子电池单粒子模型;2)采用三参数抛物线方法简化锂离子电池单粒子模型中的固相扩散方程;3)采用菌群觅食优化算法辨识锂离子电池单粒子模型中的未知参数;4)拟合锂离子单粒子模型的正极开路电压表达式;本发明采用三参数抛物线方法,简化了锂离子电池单粒子模型的结构;采用菌群觅食优化算法辨识锂离子电池单粒子模型中的未知参数,辨识速度快,得到了全局最优解;本发明为锂离子电池状态估计,寿命预测,特性分析提供理论支持。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
钯纳米颗粒/碳纳米纤维复合物、制法及其在电催化的应用

本发明涉及钯纳米颗粒/碳纳米纤维复合物、制法及其在电催化的应用。该复合物采用一步电纺的方法直接制备。将该复合物修饰的电极用于对过氧化氢、Β-烟酰腺嘌呤二核苷酸、多巴胺、抗坏血酸和尿酸的直接电化学检测。该复合物修饰的电极对过氧化氢检测的线性范围为0.2ΜM-20MM,检测限为0.2ΜM;对Β-烟酰腺嘌呤二核苷酸检测的线性范围为0.2ΜM-716.6ΜM,检测限为0.2ΜM;抗坏血酸-多巴胺、多巴胺-尿酸、抗坏血酸-尿酸的峰-峰电位差分别为244MV、148MV和392MV,表明该修饰电极可用于三种物质的同时电化学检测。该复合材料可用于催化、燃料电池和传感领域。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
磷光金属铱配合物及其制备方法和应用

本发明提供一种磷光金属铱配合物及其制备方法和应用,属于化学传感器技术领域。解决现有的磷光化学传感器不能同时检测铬离子和氟离子的问题。该磷光金属铱配合物的结构式如式Ⅰ所示,该磷光金属铱配合物是在反应容器中加入邻羟基苯基苯并咪唑、苯基?吡啶二氯桥联铱配合物、碳酸钠和溶剂,在氮气条件下回流4?6小时得到的;所述的磷光金属铱配合物能作为磷光传感器同时检测铬离子和氟离子,与铬离子,氟离子作用迅速,几秒钟即可反应,反应后磷光变化效果明显,可以作为检测铬离子和氟离子的双重磷光化学传感器。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
元素发射光谱激发装置

本发明涉及一种元素发射光谱激发装置,属于化学元素分析仪器。双层腔式不锈钢圆壳体的一端与基座一固定连接,另一端与基座二固定连接,双层石英玻璃圆盘用端盖与基座一固定连接,该相联腔体分别有进水口一和出水口一,在壳体的底部通过绝缘密封环分别与两个加热电极固定连接,钨舟片与该加热电极固定连接,石英玻璃圆盘压盖与壳体的基座二用密封圈通过螺钉固定连接,石英玻璃圆盘压盖内形成腔体三,该腔体三有进水口二和出水口二。优点是结构新颖,可以用于发射光谱,也可用于吸收光谱。熔点在2500℃以下的化学物质都能精确分析,还能够精确分析同位素物质。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
震荡混样装置
震荡混样装置 1066     
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本实用新型公开了一种震荡混样装置,属于化学分析震荡混样装置技术领域,由底座、支架、电机、轴承、连杆、称样槽和称样模具组成;电机放置在底座上,称样槽通过支架、轴承、连杆与底座连接,称样模具放置在称样槽中,连杆与电机连接,连杆在电机的带动下,通过轴承的转动,带动称样槽的震动。本实用新型通过合理的设计,提高了金的吸收率:并且同时可震荡大批待测样品,且样品不会溢出,提高了批量样品的测试速度,有效的提高了工作效率。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
组合式试剂盒
组合式试剂盒 824     
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一种组合式试剂盒,属于医疗及生化器械技术领域,其特征是:在圆盘形试剂盘外边固定有筒形边沿,筒形边沿内设有定位槽,在试剂盘中心的中心盘外设有辐射形定位槽;扇形试剂盒与筒形边沿内的定位槽和中心盘外的定位槽插入配合,试剂盒是单体和∕或双联体和∕或多联体。有益效果是:可便捷的实现全自动生化和化学分析仪器使用中试剂量的增减。用户可根据测试项目的需要,使用多联试剂盒或者单联试剂盒来增减试剂容量,增加了仪器设备的适用性。同时,使用户在测试过程中不必频繁添加试剂或者更换试剂盒,将提高仪器的整体可操作性和可靠性。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
矿粉中硫的吸收装置
矿粉中硫的吸收装置 1074     
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本实用新型涉及一种矿粉中硫的吸收装置,属于化学分析领域中的气体吸收装置。L型导气管的水平段与无色吸收瓶瓶体的侧壁穿接,该L型导气管垂直段下端与无色吸收瓶瓶体的底部穿接,在L型导气管位于无色吸收瓶瓶体底部上方有出气段,该出气段四周均匀分布小孔,L型导气管的垂直段位于无色吸收瓶瓶体底部下方处连接有放液阀。优点是结构新颖,L型导气管的出气段分布均匀小孔,其增加了气液接触时间,提高了气体的吸收率,提高了测量的准确性。节省了测量时间:导气管下部的放液阀能方便废弃吸收液的导出,节省了测量时间;透过无色的吸收瓶,可以方便观察导吸收瓶内吸收液的颜色变化,方便反应终点的判断。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于振动型气液分离装置

本实用新型基于振动型气液分离装置,属于分析化学技术领域,包括气液分离器和振动装置,所述气液分离器上设置有进液口、出气口、废液口;所述振动装置套在气液分离器的外部,并与气液分离器活动连接,振动装置为机械振动装置或超声波振动装置。本实用新型结构简单、便于操作,不需要改变现有气液分离器的形状,采用振动型的气液分离器来加速气体的逸出,并且能够使通过出气口的气体混合物混合均匀,可以有效解决传统气液分离装置存在的问题,从而提高仪器的灵敏度,降低检出限,改善精密度。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
消除时间弥散的光栅单色仪

本实用新型涉及应用于瞬态光学和超快速光谱学中,是消除时间弥散的单色仪包括:入射狭缝3-3、出射狭缝3-5、光栅A、入射凹面镜B、阶梯凹面镜C。采用本实用新型的阶梯凹面镜解决了背景技术严重改变被测光脉冲时间特性的问题,消除了单色仪的时间弥散,或把其时间弥散降低到能接受的程度,从而使单色仪既适于光谱能量分辨,又适于光谱时间分辨。本实用新型在物理学、化学、生物学、材料和信息科学、医学和药学中均有广泛的应用,如原子分子,团簇,低维结构,化学反应动力学,光功能材料和器件,电荷转移动力学,光合作用吸能、传能和转能,药物鉴别,免疫分析等技术领域。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于智能网联信息的整车经济性速度规划方法

本发明属于智能网技术领域,具体的说是一种基于智能网联信息的整车经济性速度规划方法。包括以下步骤:步骤一、通过智能网联环境获得路段上的动态交通信息,通过传感器获得本车的状态,确定车辆的安全边界即最大的行驶速度和最大的加速度;步骤二、建立车辆运动学模型,并且分析车辆行驶过程中的能量消耗;步骤三、根据动态交通信息设定系统的性能指标和约束条件;步骤四、基于滚动时域强化学习,在线求解优化速度即对速度进行规划。本发明充分利用强化学习的求解力,并且融合了预测控制解决约束及扰动的优势,在线求解非线性时变最优化问题,具有明显节能优势和工程应用能力,解决了长预测时域控制求解时间问题。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于NMR代谢组学对玛咖不同品种的鉴别方法

一种基于NMR代谢组学对玛咖不同品种的鉴别方法,属于中药材鉴定技术领域,包括对不同品种的玛咖样品进行粉碎处理、提取处理、核磁测定前处理、1H‑NMR测定以及数据整理,对整理好的数据进行多元统计分析,得出不同品种玛咖差异性代谢产物,将得分投影图与载荷图结合,得到不同品种玛咖差异性代谢产物组成及其相对含量,并对玛咖样品进行综合性分析,得出结论。本发明直接、系统、精准,从整体化学组成差异上找出了各部位相应的差异性成分,以期从整体物质组成角度阐明符合中医药学整体观的玛咖品种鉴别的科学内涵,为市售各个品种玛咖的真伪优劣提供依据。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于语义技术和游戏化的智能课堂知识管理平台及方法

本发明涉及基于语义技术和游戏化的智能课堂知识管理平台及方法,所述平台包括面向结果的知识管理平台;面向结果的知识管理平台为针对个性化数据收集平台中收集到的个性化数据进行整合分析,创建每一个学生和教师的知识库,针对知识库实体数据形成关联,构建知识图谱,运用数据分析技术来搭建具有智能数据检索和分析服务的管理平台。本发明通过在课上和课下的游戏化智能设备的运用为学生提供多样化的学习模式,最大化学生的学习热情;对学生行为数据分析以及分析后的个性化推荐加反馈,实现个性化教育。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
温度可控溶剂蒸气压梯度仪

本发明提供的温度可控溶剂蒸气压梯度仪由溶剂扩散管(1),控温筒(2),溶剂扩散管控温腔(3),溶剂扩散管控温腔入口管(4),溶剂扩散管控温腔出口管(5),罩(6),内筒(7),外筒(8),罩控温腔(9),罩控温腔入口管(10),罩控温腔出口管(11),支架(12),软管(13),样品放置孔(14)和磨口塞(15)构成。溶剂蒸气压梯度是通过溶剂蒸气沿溶剂扩散管扩散获得,平衡时溶剂扩散管内不同的位置对应于不同的溶剂蒸气压。溶剂扩散管和罩的温度分别由控温液控制。该溶剂蒸气压梯度仪可用作材料相变分析及参数测定,材料加工条件优化实验,凝聚态-气态的可控反应和表面化学反应和表面吸附等。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多酸基钴金属有机框架复合光催化剂及其制备方法和应用

本发明涉及一种多酸基钴金属有机框架复合光催化剂及制备方法和应用,化学式为[Co2(btp)3(GeMo12O40)],式中btp为1,3‑双‑(1,2,4‑三氮唑基)丙烷。采用X‑射线单晶衍射仪、X‑射线粉末衍射仪、红外光谱仪、热重分析仪等测试手段对所制备的[Co2(btp)3(GeMo12O40)]单晶进行表征。本发明方法简单、环保、低成本;反应迅速、可重复性高;可按比例扩大批量生产。优点:1)此方法在金属有机框架合成技术方面具有很大的意义;2)该产品在作为光催化降解亚甲基蓝方面具有良好的潜在应用价值。

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化学分析
吉林 - 四平 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
碱性试剂加注液路系统及其加注液路控制方法

本发明公开了碱性试剂加注液路系统及其加注液路控制方法;所述碱性试剂加注液路系统包括:缓冲器;通过第一管路与所述缓冲器连接的第一控制阀;通过第二管路与所述第一控制阀连接的第一储藏罐;通过第三管路与所述第一控制阀连接的第二控制阀;通过第四管路与所述第二控制阀连接的注射泵;通过第五管路与所述注射泵连接的第三控制阀;与所述第三控制阀连接的齿轮泵;分别与所述第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀连接的液路系统控制单元。本发明提供了一种用于增强全自动化学发光免疫分析仪测值稳定性的碱性试剂加注液路系统及其加注控制方法。本发明能够增强全自动化学发光免疫分析仪测值稳定性,提高了安全性。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于特异性交联酪氨酸构建蛋白质三维结构的方法

本发明的基于特异性交联酪氨酸构建蛋白质三维结构的方法,属于交联质谱技术领域。具体包括化学交联反应、酶解、电化学还原、质谱分析、重建蛋白质三维信息等步骤。本发明将近期兴起的电点击化学技术与电化学、高分辨质谱等多种先进分析测量手段综合运用,进行蛋白质空间结构的研究,并通过首次设计合成新型特异性靶向酪氨酸的交联剂和EC‑EC/LC‑MSn实验方法补充交联‑质谱现有的技术,为蛋白质参与的高度复杂和动态的相互作用网络等研究提供理论依据和实验基础。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
发根农杆菌介导真空渗透辅助的大豆遗传转化方法

一种发根农杆菌介导真空渗透辅助的大豆遗传转化方法属分子生物学与基因工程技术领域,本发明包括的步骤:大豆种子基因型选用、消毒和萌发;含有抗线虫Bt基因的发根农杆菌K599菌液制备;发根农杆菌介导的大豆转化;转基因根的组织化学染色分析;转基因根的PCR检测。本发明首次将发根农杆菌介导的真空渗透辅助转化方法应用到大豆,并成功进行了大豆根部毛状根转化;本发明先将大豆种子消毒后种植在无菌蛭石萌发,在下胚轴上端造成表皮分生细胞损伤,再进行真空条件下发根农杆菌侵染,进行遗传转化,获得含有抗线虫BT基因的大豆转基因毛状根,实施本发明能充分提高农杆菌入侵的机会,可明显提高农杆菌的感染效率,有效提高大豆的转化率。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
β-环糊精臂凝集素磁性材料及其制备方法和应用

本发明提供一种β‑环糊精臂凝集素磁性材料及其制备方法和应用,属于凝集素磁性材料制备方法技术领域。该方法通过乙二胺和氯乙酸分别对β‑环糊精进行6位和2位取代修饰,得到单6‑氨基‑2‑羧基环糊精;通过溶剂热方法,以柠檬酸钠为稳定剂制备羧基化四氧化三铁;利用酰胺化反应将单6‑氨基‑2‑羧基环糊精和羧基化四氧化三铁整合,得环糊精臂磁性四氧化三铁;将反应产物与ConA(伴刀豆球蛋白A)凝集素化学偶联,制得β‑环糊精臂凝集素磁性材料;本发明利用凝集素的特异性以及β‑环糊精的亲水性,富集具有独特聚糖结构的N‑糖蛋白,通过外磁场将N‑糖蛋白从混合蛋白质样品中分离出来,有利于N‑糖蛋白的检测分析。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
声光光谱成像显微系统

本发明涉及一种声光光谱显微成像系统,可实现在可见光以及近红外波段摄取生物样本、化学样品、金属结构等微小样品的高分辨率光谱图像,为样品的形貌和性质的分析奠定基础。本发明其特征在于,将光学显微成像技术与声光调制分光技术有机结合起来,声光可调滤波器(AOTF)是实现光谱检测的核心分光元件,利用超声波在声光晶体中传播时形成体光栅结构,对入射光进行布拉格衍射,从而达到分光效果。并且其超声波频率与衍射光波长一一对应,改变超声波频率即可连续扫描光谱。声光光谱成像显微系统具有体积小、重量轻、全固态、无移动部件、抗震性能好、环境适应能力强等特点,从而可以在生命科学、纳米材料、法医学等领域获得广泛的应用。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
微波等离子体炬
微波等离子体炬 829     
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微波等离子体炬属于化学和测量技术领域,是一种微波等离子体获得装置,可用来作为原子发射和荧光光谱的光源和原子光谱的离子源,主要结构由3个同心金属管构成,微波能以电容耦合方式进入炬管。本实用新型用于原子发射光谱分析时,具有样品承受能力强,激发能力高,检测范围广,线性范围宽,加工简单,操作方便,维持费用低等特点。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
钕掺杂氟化钡纳米粉体发光材料

本发明提供一种钕掺杂氟化钡纳米发光材料。所得到的纳米粉体的化学式为Ba(1-x)F2 : xNd3+,其中x=0~0.07;利用微乳液法实现纳米水平上离子间反应,所制得的产物呈粉末状、易研磨、粒径均一、形貌规则且色纯度高。微乳液法在室温下即可完成,实验条件温和、可控,反应时间短,是一种高效节能简便的合成方法。这种掺钕氟化钡纳米粒子的发光集中在近红外区域的895nm, 1056nm和1324nm处,其中1056nm发光最强。钕的1064nm处最强跃迁在光学传感器、时间分辨荧光测量、DNA分析、污染检测等领域有广泛应用。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
钕掺杂氟化钡纳米材料的制备方法

本发明提供钕掺杂氟化钡纳米发光材料的制备方法。得到的纳米粉体的化学式为Ba(1-x)F2 : xNd3+,其中x=0~0.07;利用微乳液法实现纳米水平上离子间反应,所制得的产物呈粉末状、易研磨、粒径均一、形貌规则且色纯度高。微乳液法在室温下即可完成,实验条件温和、可控,反应时间短,是一种高效节能简便的合成方法。这种掺钕氟化钡纳米粒子的发光集中在近红外区域的895nm,1056nm和1324nm处,其中1056nm发光最强。钕的1064nm处最强跃迁在光学传感器、时间分辨荧光测量、DNA分析、污染检测等领域有广泛应用。

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吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
对小直径圆柱形试样金相试验的现场操作平台

本实用新型公开了微观分析技术领域的一种对小直径圆柱形试样金相试验的现场操作平台,包括平台面,平台面的中间位置设有固定弧形槽,位于固定弧形槽的中部空腔上设有检测窗口,平台面的顶部位于固定弧形槽的两侧设有药品放置孔,位于药品放置孔的底部固定有金属网兜,平台面的底部固定有三角固定支架,三角固定支架上固定有支撑架,固定弧形槽的下方两端处均设有固定带,采用铁磁性钢板材料的平台面便于金相显微镜吸附,受检圆棒夹持于固定弧形槽和固定带之间,稳定性高,便于对其进行打磨、腐蚀等操作,可放置废物杯、腐蚀剂、酒精等化学试剂,支撑稳定,使用方便,大大提高了对小直径圆柱形试样金相试验的效率。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
筛选α-葡萄糖苷酶抑制剂的方法

本发明涉及分析化学领域,提供了一种筛选α-葡萄糖苷酶抑制剂的方法。该方法将α-葡萄糖苷酶与备检样品孵育,通过超滤薄膜,收集滤渣,加入甲醇-水的混合溶液,超速离心后收集滤液,液相色谱-质谱联用技术分离鉴定得到α-葡萄糖苷酶抑制剂。基于超滤质谱技术,本发明提供的方法灵敏度高、检测迅速、目标受体α-葡萄糖苷酶可以重复利用,适于高通量筛选α-葡萄糖苷酶抑制剂。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
固相白色不透明反射式样品池

本实用新型属于固相时间分辨荧光免疫分析技术领域,具体涉及固相白色不透明反射式样品池。它是一个有底的圆台型或圆柱型的杯状体,由基体(1)、中层(2)、内表面层(3)构成;所述的基体(1)是聚苯乙烯(PS),中层(2)是固定于基体(1)聚苯乙烯(PS)的内表面的nylon-6膜层,内表面层(3)是与中层(2)的nylon-6膜层以共价结合的多胺基层。以共价化学结合代替物理吸附,增大抗原或抗体的结合量,显著提高结合免疫配基的活性,使免疫检测灵敏度增强。本实用新型既可用于免疫分析,还可以用做亲和层析固相结合剂,且可以反复使用,其功能及成本均比常用的聚丙烯酰胺凝胶为优,具有广泛的应用价值。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
标准溶液配制过程的不确定度评定方法

标准溶液配制过程的不确定度评定方法,属于化学检测技术领域,包括以下步骤,步骤一、配制标准溶液,步骤二、建立数学模型,根据步骤一中的配制标准溶液过程,获得一级稀释浓度的数学模型,步骤三、不确定度来源分析,步骤四、不确定度分量的量化。通过建立不确定度计算数学模型、分析相关不确定度来源、对各分量合理的量化计算,实现标准溶液配制过程不确定度的准确推理、系统化、模块化、公式化表达,从而实现了简化评定和广泛适用。

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化学分析
吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
寒热痹胶囊HPLC指纹图谱的构建方法

一种寒热痹胶囊HPLC指纹图谱的构建方法,包括如下步骤:取对照品和寒热痹胶囊样品,分别制备对照品溶液和供试品溶液;采用高效液相色谱法对对照品溶液和供试品溶液进行检测,获得相应检测图谱和对照图谱;将检测图谱导入中药色谱指纹图谱相似度评价系统进行分析,获得具有标识性的热痹胶囊的指纹图谱。本发明的指纹图谱,色谱峰丰富,且包含归属于桂枝、白芍、防风、知母、白术、麻黄、干姜、炙附子、甘草、地龙多味药材的有效成分,能够更全面地反应寒热痹胶囊的整体化学成分,为寒热痹胶囊的整体质量控制及评价提供了有效手段,克服了原质量控制方法的单一性和片面性,更好的监控和评价本品质量,指导规范化生产,具有较高的应用价值。

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吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
MOCVD反应室压力控制系统及压力控制方法

本发明适用于金属有机物化学气相沉积领域,公开了MOCVD反应室压力控制系统即压力控制方法,其中MOCVD反应室压力控制系统,包括压力检测单元、分析单元和执行模组,执行模组包括均与反应室连通的进气单元和尾气单元,尾气单元包括至少两组排气组件,每组排气组件均包括与反应室连通的排气管路、与排气管路连接的泵体、以及设置在排气管路与泵体之间的调节阀,压力检测单元用于检测反应室的实时压力,MOCVD反应室压力控制系统通过控制进气单元是否参与工艺运行过程以及通过控制尾气单元哪组排气组件参与工艺运行过程来使反应室的实时压力与设定压力基本保持一致,从而为反应室提供稳定的气场流,进而提高外延材料的厚度和组分均匀性。

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吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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