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浙江杭州有色金属分析检测技术理论与应用

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血液β-羟丁酸电化学传感器

本发明涉及一种对血样中β-羟丁酸进行定量检测的传感器,用于定量快速测量β-羟丁酸水平。传统的β-羟丁酸浓度的检测方法主要是通过大型血液生化分析仪,所需血量较多、时间较长,价格昂贵。本发明包括绝缘性基板,基板上覆有工作电极和参比电极;基板上设定一血样测量工作区,该工作区范围内包括了工作电极和参比电极;血样测量工作区范围外部覆有化学惰性的绝缘覆盖膜;血样测量工作区范围内部覆有能够与β-羟丁酸反应并产生电子传递的酶试剂反应膜,酶试剂反应膜含有β-羟丁酸脱氢酶、NAD、电子传递体、黄递酶、用于酶活性保持的稳定剂和亲水高分子物质。本发明使用简便,并且只需微量血液便可在短时间内测出β-羟丁酸的含量。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
样本分析仪
样本分析仪 904     
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本发明公开了一种样本分析仪,包括底板、固定于底板的工作台、试管架运转机、预处理装置、滴液结构、化学分析装置及镜检分析装置,试管架运转机及预处理装置固定安装于底板,滴液结构滑动安装于工作台,化学分析装置及镜检分析装置固定于工作台,试管架运转机带动试管在底板移动,预处理装置将拭子上的样本溶解至试管的溶液中,滴液结构将溶液分别滴至计数池及试纸上,化学分析装置对试纸上的溶液进行化学分析,镜检分析装置对计数池上的溶液进行分析。本发明样本分析仪的试管架运转机使试管自动移动,预处理装置将拭子上的样本溶解至试剂中,滴液结构、化学分析装置及镜检分析装置自动分析样本,使样本的分析工作自动完成。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
肽指纹图谱的快速质谱分析与谱图判别方法

本发明公开了一种肽指纹图谱的快速质谱分析与谱图判别方法,包括以下步骤:1)制备多孔硅微粒,并进行表面化学修饰;2)利用多孔硅微粒富集生物样本中的多肽类物质;3)将捕获有生物样本的多肽类物质的多孔硅颗粒与质谱基质混合后直接点靶,进行颗粒原位质谱检测;4)通过统计学算法及人工神经网络构建基于血清肽指纹谱的判别预测模型。本发明通过多孔硅微粒材料达到一步分离、富集和检测血清样品中低丰度小分子蛋白的作用。3.本发明基于肽指纹谱通过统计学算法和人工神经网络建立疾病预测模型,能够很好地从大量样本中识别患者,具有较高的特异性和敏感性。本发明基于肽指纹图谱的疾病判别及监测的质谱试剂盒简单易储存,检测方法准确快捷。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
苹果酸在5-甲基及5-羟甲基胞嘧啶核苷分析中的应用

本发明公开了苹果酸在5‑甲基及5‑羟甲基胞嘧啶核苷分析中的应用,所述应用是指在用于5‑甲基及5‑羟甲基胞嘧啶核苷液相色谱串联质谱分析的流动相中添加苹果酸,苹果酸的添加浓度为0.06mM。本发明能够显著提高5‑甲基及5‑羟甲基胞嘧啶核苷的检测灵敏度,且应用方便,只需在流动相中加入适当量的苹果酸,无需改变其他分析条件;运用该方法可以对尿液等复杂生物样本中的5‑甲基及5‑羟甲基胞嘧啶核苷进行高效定量分析,在代谢组学、生物化学、临床医学及预防医学领域具有很好的应用推广价值。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
分析柞蚕茧中蛋白质组的方法

本发明公开的是一种分析柞蚕茧中蛋白质组的方法,属于蛋白质组学领域,取样、分层、溶解、胶内酶解等步骤后,分析不同蚕茧层中的蛋白质分布情况,有助于分析柞蚕茧结构与性能的关系;本发明的有益效果是:本发明从蚕茧出发,蚕茧中保留有最完整的蛋白质成分,可实现对蛋白质组的全面综合分析;对柞蚕茧进行分层研究;本发明采用低钠盐体系溶解茧层,对比传统的高浓度中性盐溶液,可降低化学药品的用量,减少杂质离子的引入,缩短纯化处理时间,降低成本,无毒无害;本发明基于蛋白质组学技术,能够快速、高效、准确的对蛋白质进行检测和定量分析。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
血清中低丰度低分子量蛋白的分析方法

本发明公开了血清中低丰度低分子量蛋白的分析方法,包括步骤是:用电化学刻蚀法刻蚀多孔硅,超声破碎;离心干燥得到多孔硅颗粒;将多孔硅颗粒制备成可以选择性捕获蛋白质的筛分材料;将筛分材料加入待检血清中,低温振荡吸附静置,将多孔硅颗粒分离;用PB缓冲液和去离子水清洗后,直接滴到MALDI靶上,室温干燥;然后将有机基质溶液点覆在多孔硅颗粒上,室温自然干燥后将制备好的样品送入MALDI-TOF质谱仪检测;根据质谱结果经数据统计处理后进行分层聚类分析,通过分析结果判断患者的病情。本发明提供了一种操作简单,灵敏度高,重现性好的血清中低丰度低分子量蛋白的分析方法。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于阻抗分析的气味结合蛋白传感器的制备方法及应用

本发明公开了一种基于阻抗分析的气味结合蛋白传感器的制备方法及应用,本发明利用标准的MEMS工艺加工而成的平面叉指金电极阵列,使用硝酸纤维素膜处理叉指金电极表面,直接固定气味结合蛋白,获得所述阻抗传感器。利用阻抗和分子对接结合的分析方法,本发明将中华蜜蜂气味结合蛋白Acer-ASP2固定在叉指金电极上,用于花香物质和蜜蜂信息素的检测。本发明构建的电化学传感器可将气味结合蛋白稳定、简便地固定在叉指金电极表面,传感器检测灵敏度高,检测下限低,特异性强。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
离子色谱-阀切换分析系统

本发明涉及一种化学仪器分析的使用系统,特别是涉及同时高效检测强保留离子(六氟磷酸根)和弱保留离子(常规阴离子)等的离子色谱-阀切换分析系统。本发明利用离子在离子交换柱中保留时间长短与离子交换柱的长短相结合,通过阀切换,让六氟磷酸根(强保留离子)只通过保护柱,让常规阴离子(弱保留离子)既通过保护柱又通过分离柱,这样既达到同时分离,又缩短了六氟磷酸根(强保留离子)的分析时间,可以高效快速地同时分析六氟磷酸根(强保留离子)及常规阴离子(弱保留离子),不需要复杂的淋洗液和有机改进剂,提高了分析效率。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于立体视觉的ATM机行为分析方法

本发明涉及一种基于立体视觉的ATM机行为分析方法。现有技术由于采用的是二维图像分析,对于光影,视频质量所引起的误检没有很好的处理办法。本发明首先采用双目相机作为深度信息的获取设备,对深度图进行背景建模,并随着场景的变化,学习更新每个像素的混合高斯模型,确定背景分布。然后对每帧新深度图中的每个像素,求其概率值,对所有前景点进行联通域检测,同一个联通区域的像素认为是属于同一个不明物体。最后在二维彩色图上,对联通域的大小,颜色进行判断,过滤过小的区域或颜色和背景类似的区域,剩下的区域即为可能的不明物。本发明采用了立体视觉的三维图像信息,所以能对ATM操作台上的异常行为产生的不明物体有较好的检测。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于全自动分析仪的样本存放架

本实用新型提供了一种用于全自动分析仪的样本存放架,包括存放架本体,在存放架本体内设置有存放槽孔,在存放槽孔的内壁上设置有弹性件和加强筋。所述样本存放架中的弹性件不容易在连接部处被折断,大大降低了材料报废率。检验人员也能非常方便地将样本存放架移动到全自动分析仪中,降低了劳动强度。所述样本存放架可以在全自动化学发光免疫分析仪、酶联免疫分析仪、分子诊断核酸提取仪等医学检测设备中使用。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化合物中季碳纵向驰豫时间(T1)的分析方法

本发明涉及化学分析领域,尤其是指一种基于核磁共振测定化合物中季碳纵向驰豫时间(T1)的分析方法。本发明通过脉冲序列的设计以碳为观测核来测定季碳的T1。目前仪器使用的测量T1的脉冲序列是以氢为观测核,因此无法用于季碳的T1测量。在此基础上,本发明改变了观测核,由氢核变为碳核,并且优化了相关参数。本发明能够克服以氢为观测核的检测方式的不足,因季碳上无氢无法用现成的检测方法来测定T1。为样品中季碳的T1测定提供了一种简便有效的手段。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
海水重金属污染物现场分析仪

本实用新型涉及一种重金属污染物现场分析仪。现有的设备价格昂贵、功耗大、体积大,不适合现场检测。本实用新型包括顺序互连的PC机、检测电路和三电极电化学反应装置。检测电路中D/A转换模块、恒电位仪模块、电流电压转换模块和A/D转换模块顺序连接,D/A转换模块、A/D转换模块和LCD液晶显示模块与微处理器模块连接,串口通讯模块与微处理器模块互连。串口通讯模块与PC机连接,恒电位仪模块与三电极电化学反应装置的参比电极和对电极连接,电流电压转换模块与三电极电化学反应装置的工作电极连接。本实用新型不仅体积小、价格低、灵敏度高,而且可以同时检测多种重金属元素,适合于海水现场实时检测。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具备在线分析功能的小型一体化液相色谱仪

一种具备在线分析功能的小型一体化液相色谱仪,包括发光二极管光纤光源模块,反射式紫外可见吸收,荧光一体化流通池,光电倍增管检测模块,在线预处理电子六通阀进样模块,温控柱箱模块和控制器面板及电路模块,远程控制中央系统,在线预处理电子六通阀进样模块负责抽取样品与流动相,经由温控柱箱模块连至反射式紫外可见吸收,荧光一体化流通池,流通池由分束光纤连接发光二极管光纤光源模块和光电二极管检测模块,整体电路与流程控制由控制器面板及电路模块执行,必要时远程控制中央系统可执行远程操作。该仪器可应用于常规的生物化学实验与现场测试分析领域。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于智慧台灯的护脑增效视觉分析方法

本发明提供一种基于智慧台灯的护脑增效视觉分析方法,其包括如下三个步骤:(1)检测台灯使用者的眨眼和抬头低头频率,然后根据识别结果来分析台灯使用者的疲劳度;(2)分别提取台灯使用者的手部运动和头部左右摆动信息,并进行融合分析来量化台灯使用者的学习专注度;(3)综合台灯使用者的疲劳度和学习专注度,提供建议的学习时间段和时长,以达到护脑增效的功能。本发明提供的基于智慧台灯的护脑增效视觉分析方法通过对使用者的眼动情况、头部和肢体动作等进行实时检测与分析,评估使用者的疲劳度和专注度,从而推荐针对当前用户的个性化学习时间段和时间,以达到对使用者的护脑保护和提高学习效率的目的。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
全自动尿沉渣分析系统

本发明一种化验分析设备,尤其涉及一种全自动尿沉渣分析系统。包括进样装置、检测装置和控制系统,所述进样装置包括吸样部分、转盘转动部分和试管盘;所述检测装置,包括一台显微镜摄像仪和一个定量流动计数室;所述控制系统,包括一个微型计算机装置,通过信号线与显微镜摄像仪连接,用于控制分析仪的操作;一个控制模块,包括信息录入模块、干化学接收分析模块、图像功能模块、染色系统控制模块、采样系统控制模块、标本位置确认模块和结果输出模块。本发明的尿沉渣检测系统结构简单、运转灵活可靠性高,工作流程便捷可靠,可操作性强,可以大大提高工作效率。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
甲烷非甲烷总烃快速分析装置

本实用新型公开了一种甲烷非甲烷总烃快速分析装置,包括上盖和底板,上盖的顶部固定连接有调节盖,调节盖的顶部从左到右依次连通有检测气进气接头和空气进气接头,调节盖的顶部贯穿有转轴,转轴的顶端固定连接有转动帽,本实用新型涉及气体检测装置技术领域。该甲烷非甲烷总烃快速分析装置,通过调节盖与分流盒、进气管的配合,可将被检测气体同时排到不同的试剂管内的不同药剂中,可同时检测被检测气体内的不同物质,并可通过透明放置盒与透明塑料板直接在外界观察气泡、沉淀或颜色变化等现象,可快速得出结论,并可在检测后通过转轴控制转动密封块转动,使空气进气接头通气,将装置内的化学气体置换掉,避免污染空气。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
低浓度烟气紫外分析仪
低浓度烟气紫外分析仪 1056     
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本实用新型公开了一种低浓度烟气紫外分析仪,包括检测箱和净化盒,所述检测箱设置在净化盒的右侧,净化盒的内部开设有多个空腔,所述净化盒内腔的底部固定连接有散气块,净化盒内表面的顶部卡接有密封塞,本实用新型涉及紫外分析仪技术领域。该低浓度烟气紫外分析仪,多个空腔内设置有不同的化学药剂,利用进气管、进气套管、散气块与过渡管的配合,使烟气可依次通过多种药剂,进而吸收掉烟气中除了二氧化硫以外的其他气体,降低后期检测时受到的干扰,有利于提高检测精度,且利用顶部开设有细密气孔的散气块使烟气均匀分散开融入药剂中,可更彻底的反应,且利用橡胶套的设置,使净化盒直接套在插管上便可使用,安装方便。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
茶叶或茶叶制品中抗氧化能力的分析方法

本发明涉及茶叶中抗氧化能力分析,旨在提供一种茶叶或茶叶制品中抗氧化能力的分析方法。该种茶叶或茶叶制品中抗氧化能力的分析方法包括步骤:配制次氯酸钠标准溶液、配制载流溶液、配制茶多酚标准品溶液、配制鲁米诺发光试剂溶液、配制待测试样溶液,然后利用顺序注射化学发光分析系统装置进行分析测定,可得试样折算成标准还原性物质抗氧化性能力的定量指标,实现对茶叶或茶叶制品总抗氧化能力的分析测定。本发明是基于茶叶试样提取物与氧化剂次氯酸钠的反应,来测定样品的总抗氧化能力,且将顺序注射分析与化学发光检测技术联用,兼具两者的优势。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
不解析化合物分析药香型白酒储存时间的方法

本发明涉及一种不解析化合物分析药香型白酒储存时间的方法,包括:S1、取不同年份的药香型白酒样品,分别放置预定时长后稀释,得到稀释液;S2、分别在稀释液中插入三电极系统,采集不同年份的药香型白酒样品的电化学指纹图谱;S3、根据不同年份的电化学指纹图谱确定白酒年份与特征氧化峰峰值之间的函数关系;S4、将待测年份的药香型白酒依次经过步骤S1及S2处理,得到待测年份白酒的电化学指纹图谱;S5、根据待测年份白酒的电化学指纹图谱的特征氧化峰峰值与函数关系拟合,得到待测年份的药香型白酒的储存年份。本发明通过分析白酒中具有电化学活性物质的含量与时间之间的关系,检测特征氧化峰峰值,从而检测判断出白酒的年份。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
深海热液气体的取样分析装置

本实用新型的深海热液气体的取样分析装置包括热液保真采样器、气体分级降压管道、抽真空装置、气体分析检测装置及气体收集装置,气体分级降压管道由均布其上的若干截止阀形成若干段,在每段管道上安装有压力表,气体分级降压管道的一端经截止阀与热液保真采样器相连接,另一端分三路分别经截止阀与抽真空装置、气体分析检测装置及气体收集装置连接。该装置根据气体的Boyle定律,通过气体分级降压管道的多级管道,实现气体的分级递阶降压至常压,既可对深海热液逸出的标志性气体进行检测,分析其化学组分及含量,又可同时进行气体的收集,该装置为进一步了解深海热液的化学成分及组成奠定了基础。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
尿液分析仪
尿液分析仪 786     
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本实用新型涉及一种尿液分析仪,全自动尿液有形成分分析仪底部设置有第一滑轨;全自动尿液干化学分析仪底部设置有第二滑轨;第二滑轨右侧设有采样器装置,采样器装置通过第二滑轨、固定滑轨和第一滑轨滑动连接;采样器装置包括采样固定架和设置于采样固定架内的采样管;全自动尿液有形成分分析仪包括有检测主机,检测主机下侧设有光学检测仪,光学检测仪内设有照射光源,照射光源所照射的位置与采样管的高度相匹配;与现有技术相比,通过取样头、照射光源与采样管的高度相匹配,使得全自动尿液有形成分分析仪和全自动尿液干化学分析仪可以相互有效的配合,不用核对标本号与仪器号是否一致,也不用核对起始号一致,方便快捷,提高了工作效率。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
深海热液气体分级递阶取样分析装置

本发明的深海热液气体分级递阶取样分析装置包括热液保真采样器、气体分级降压管道、抽真空装置、气体分析检测装置及气体收集装置,气体分级降压管道由均布其上的若干截止阀形成若干段,在每段管道上安装有压力表,气体分级降压管道的一端经截止阀与热液保真采样器相连接,另一端分三路分别经截止阀与抽真空装置、气体分析检测装置及气体收集装置连接。该装置根据气体的Boyle定律,通过气体分级降压管道的多级管道,实现气体的分级递阶降压至常压,既可对深海热液逸出的标志性气体进行检测,分析其化学组分及含量,又可同时进行气体的收集,该装置为进一步了解深海热液的化学成分及组成奠定了基础。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
通过强化学习模型对业务预测模型进行压缩的方法和装置

本说明书实施例提供一种通过强化学习模型对业务模型进行压缩的方法和装置。方法包括,首先获取通过神经网络实现的业务模型,其包含N个网络层。依次将各个网络层作为当前层进行剪枝操作,该操作包括,基于当前层的层特征确定环境状态,将环境状态输入强化学习模型,得到针对当前层的剪枝决策,据此进行剪枝;并在样本队列中添加当前层的剪枝记录,该记录包括环境状态和剪枝决策。然后,将验证数据集输入N个网络层均进行剪枝后的压缩模型,得到性能评估结果。根据该性能评估结果确定奖励分数,将奖励分数分别添加到N条剪枝记录中,形成N条训练样本。然后,根据样本队列中的训练样本,更新强化学习模型。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
摇蚊集约化饲养及化学品生物活性测量装置及方法

本发明公开了一种摇蚊饲养及化学品生物活性测量装置,包括水槽和顶盖;所述水槽的上方设置顶盖,所述顶盖上设置有透气带和产卵板插拔槽;在产卵板插拔槽内安置相应的形状的产卵板;所述产卵板的顶端通过卡口块卡在产卵板插拔槽上方。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于强化学习和模型预测的智能车规划控制方法

本发明公开了一种基于强化学习和模型预测的智能车规划控制方法。包括:通过车载激光雷达传感器采集并计算后获得车身坐标系下的道路边界信息和障碍物信息;利用车载GPS传感器采集并计算后获得车身坐标系下的全局参考路点;搭建智能车所在的虚拟场景;在智能车的虚拟场景下,基于车身坐标系下的道路边界信息、障碍物信息和全局参考路点,利用路径生成模块对智能车进行路径规划,获得智能车的规划路径;利用跟踪控制模块对智能车的规划路径进行跟踪,从而实现智能车的规划控制。本发明提升了规划部分的网络训练,确保了智能车在定位不准时的路径规划效果,提升了车身运动的稳定性和舒适性。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
光化学POCT测试卡
光化学POCT测试卡 982     
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本实用新型公开了一种光化学POCT测试卡,包括:上壳体,设有贯穿其内外的样本通道;下壳体,与上壳体活动连接,设有反应层;扩散层,至少部分设置于样本通道,至少部分与反应层正对设置,且与反应层之间具有隔离区;弹性组件,设于上壳体和下壳体之间,用于形成所述隔离区;于样本在扩散层充分扩散后,所述扩散层和反应层越过隔离区相接触均匀反应。本实用新型样本充分扩散后再与反应层接触反应,反应结果更准确;测试操作简单易行,测试成本降低;结构简单稳固。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
输水管道腐蚀监测电化学传感器

本实用新型公开了一种输水管道腐蚀监测电化学传感器,包括工作电极、Ag/AgCl参比电极、铂丝电极、外壳、吸水海绵和不锈钢辅助电极;所述铂丝电极上串联有电容后和Ag/AgCl参比电极并联形成双参比电极;所述Ag/AgCl参比电极和铂丝电极上端固定焊接设置有用于连接Ag/AgCl参比电极和铂丝电极传输电信号的参比电极屏蔽引线;所述工作电极设置于外壳内最底部,所述不锈钢辅助电极平行于工作电极,上端固定焊接连接辅助电极屏蔽引线。本实用新型的有益效果是:以铂丝电极与Ag/AgCl参比电极并联制成双参比电极,有效避免数据采集时的高频漂移;结构简单,成本低廉,测量精度高。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
输水管道腐蚀监测电位型电化学传感器

本实用新型公开了一种输水管道腐蚀监测电化学传感器,包括工作电极、Ag/AgCl参比电极、铂丝电极、外壳和吸水海绵;所述Ag/AgCl参比电极和铂丝电极浸泡于电解液中;所述电解液通过吸水海绵接通工作电极和Ag/AgCl参比电极和铂丝电极;所述铂丝电极上串联有电容和Ag/AgCl参比电极并联形成双参比电极;所述Ag/AgCl参比电极和铂丝电极上端固定焊接设置有用于连接Ag/AgCl参比电极和铂丝电极传输电信号的参比电极屏蔽引线;所述工作电极设置于外壳内最底部。本实用新型的有益效果是:以铂丝电极与Ag/AgCl参比电极并联制成双参比电极,有效避免数据采集时的高频漂移;结构简单,成本低廉,测量精度高。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学实验材料用耐腐蚀性聚丙烯测试塑料体

本实用新型公开了一种化学实验材料用耐腐蚀性聚丙烯测试塑料体,包括一块基板,该基板的中间设置有一个测试腔,测试腔内等距分布有一根以上的隔板,隔板与隔板之间均形成一个活动腔,所述基板的下端面正对每个活动腔均设置有一个凹腔,该凹腔的底面为一个半圆形面,凹腔内均装入一滚动体,滚动体由一种或一种以上的不同材料拼接而成,滚动体装入于凹腔中,其上端面露出于活动腔的顶面上。本实用新型能够有效实现耐腐蚀性塑料体的测试,快速获得聚丙烯塑料体的最合适的耐腐蚀性能参数,操作方便。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械抛光的在线监测装置

本发明公开了一种化学机械抛光的在线监测装置,设于抛光盘内,可随抛光盘转动;其包括光源;光学镜组,用于接收光源发出的光束,产生准直光束;光路转折单元,用于接收准直光束,将其形成入射光路,入射光路透过抛光盘的通光窗口,照射至抛光盘上的晶圆表面,晶圆表面将入射光路反射后经过光路转折单元形成出射光路;探测器,用于接收出射光路,以获取对应的光谱信息,确定晶圆抛光的终点。本发明采用光学镜组缩束准直的方式耦合光源,解决了传统光纤耦合导致的光源光强利用率低的问题;采用信号控制方式调节光源并实时监测光强,保证测量信号的稳定性,提升探测精度,延长光源的使用寿命。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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