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高灵敏度扫描电镜

高灵敏度扫描电镜

浏览量 539
规格/型号:FlexSEM 1000
品牌:日立
应用领域:分析检测
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:青岛大森环保设备有限公司
咨询电话::13061746621(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-08-12
级别:待认证

高灵敏度扫描电镜说明介绍

日立


工作原理

FlexSEM 1000采用钨灯丝电子枪发射电子束,经加速电压(0.3-20kV)聚焦后,通过低球差物镜与聚光镜系统形成高亮度、小束斑的电子束。电子束在样品表面扫描时,激发二次电子、背散射电子等信号,由高灵敏度五分割背散射探测器与二次电子探头同步采集。其专利的低真空成像技术(6-100Pa)可消除非导电样品表面电荷积累,无需喷镀导电层即可直接观察绝缘材料。



应用范围

覆盖金属材料断口分析、半导体芯片缺陷定位、电池电极微观结构表征及陶瓷复合材料界面研究。在航空航天领域,支持涡轮叶片热障涂层裂纹检测;在电子制造中,可分析印刷电路板微米级焊点虚焊问题;新能源行业则利用其低加速电压(1kV)成像能力,精准观测固态电解质离子传导通道。



产品技术参数


分辨率:4.0nm(20kV高真空二次电子像),15.0nm(1kV高真空二次电子像)

放大倍率:底片倍率6-300,000x,显示器倍率16-800,000x

样品台:三轴自动马达台(X:0-40mm,Y:0-50mm,R:360°,T:-15°-90°)

真空系统:涡轮分子泵(61L/S)+机械泵(100L/min),带断电保护功能

探测器:标配高灵敏度背散射探测器,可选配低真空二次电子探测器(UVD)


产品特点


超紧凑设计:主机尺寸仅450×640×670mm,重量减轻45%,功耗下降50%,可放置于标准实验台。

智能导航系统:SEM MAP功能支持光学照片与电镜图像关联导航,一键定位至微米级感兴趣区域。

全自动化操作:动态聚焦、电子束旋转及画质优化功能,新手5分钟即可掌握高质量成像技巧。

节能环保架构:采用预对中钨灯丝与低功耗电子光学系统,待机功耗降低60%,符合绿色实验室标准。

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企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
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13061746621
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