江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 力学检测设备

> 晶圆翘曲应力测量仪

晶圆翘曲应力测量仪

晶圆翘曲应力测量仪

浏览量 830
规格/型号:暂无
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::021-6428 3335(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-07
级别:待认证

晶圆翘曲应力测量仪说明介绍

晶圆翘曲应力测量仪

晶圆翘曲应力测量仪


具备三维翘曲(平整度)及薄膜应力的检测功能,适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆生产

优势

√ 全口径均匀采样测量,采样间隔较少可至0.1mm

√ 同时具备翘曲测量及应力测量功能

√ 直观展现薄膜导致的晶圆形变,可计算任意角度的曲率及应力

√ 强大的附加模块:薄膜应力变温测量模块(室温到500℃)

√丰富的软件分析功能,包括:三维翘曲图、晶圆翘曲参数统计(BOW,WARP等)、ROI分 析、薄膜应力及分布、应力随时间变化、薄膜应力变温测量、曲率计算、多项式拟合、空间滤波等多种后处理算法。

适用对象

2 - 8 英寸/12 英寸抛光晶圆(硅、砷化镓、碳化硅等)、图形化晶圆、键合晶圆、封装晶圆等;液晶基板玻璃;各类薄膜工艺处理的表面

适用领域

√ 半导体及玻璃晶圆的生产和质量检查

√ 半导体薄膜工艺的研究与开发

√ 半导体制程和封装减薄工艺的过程控制和故障分析

检测原理

√ 晶圆制程中会在晶圆表面反复沉积薄膜,基板与薄膜材料特性的差异导致晶圆翘曲,翘曲和薄膜应力会对工艺良率产生重要影响

√ 采用结构光反射成像方法测量晶圆的三维翘曲分布,通过翘曲曲率半径测量来推算薄膜应力分布,具有非接触、免机械扫描和高采样率特点,晶圆全口径测量时间低于30s

√ 通过Stoney公式及相关模型计算晶圆薄膜应力分布

晶圆翘曲应力测量仪
点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价

与“晶圆翘曲应力测量仪”相关的最新需求

有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 金属材料在芯片工艺上的作用 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 2025年锂电池行业十大变革性技术 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 金属百科 | 锑的历史与发展 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会
上海纳腾仪器有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
检测设备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
021-6428 3335
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.220794s