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倾斜旋转式管式炉设备

倾斜旋转式管式炉设备

226
规格/型号:PE-1600-60
品牌:科恩泰科
应用领域:冶金
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:郑州科恩泰科仪器有限公司
咨询电话::13676946968(请说明信息源自“中冶有色技术网”)
更新时间:2025-02-02
级别:待认证

倾斜旋转式管式炉设备说明介绍

倾斜旋转式管式炉设备

倾斜旋转式管式炉设备


倾斜旋转式等离子体增强化学沉积(PECVD)管式炉设备

货号 : KT-PE16

最高温度

1600 ℃

恒定工作温度

1550 ℃

炉管直径

60 毫米

加热区长度

2x300 毫米

加热速率

0-10 ℃/min

应用

KT-PE16 倾斜旋转式 PECVD 炉 PECVD 炉由一个 500W 射频等离子源、一个双区 TF-1200 管式炉、4 个 MFC 气体精确控制单元和一个标准真空站组成。炉子的最高工作温度可达 1600℃。工作温度高达 1600℃,炉管为直径 60mm 的 Al2O2 陶瓷管;4 通道 MFC 质量流量计,气源为 CH4、H2、O2 和 N2;真空站为 1 台 4L/S 旋片真空泵,最大真空压力为 10Pa。真空压力可达 10Pa。

优点

射频等离子体自动匹配源,5-500W 宽输出功率范围,输出稳定

高速加热和短时间冷却的炉腔滑动系统,可辅助快速冷却和自动滑动运动

PID 可编程温度控制,控制精度高,支持远程控制和集中控制

高精度 MFC 质量流量计控制,源气预混,供气速度稳定

不锈钢真空法兰,多种适配接口,满足不同真空泵站设置,密封性好,真空度高

CTF Pro 采用一个 7 英寸 TFT 触摸屏控制器,程序设置和历史数据分析更友好

安全优势

Kindle Tech 管式炉具有过流保护和过温报警功能,炉子会自动关闭电源

炉子内置热耦合检测功能,一旦检测到破损或故障,炉子将停止加热并报警

PE Pro 支持断电重启功能,故障后接通电源时,炉子将恢复加热程序

技术规格

KT-PE16 倾斜旋转式 PECVD 炉
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郑州科恩泰科仪器有限公司
企业认证:
  
所属领域:
冶金
企业性质:
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联系电话:
13676946968
详细地址:
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