倾斜旋转式管式炉设备
倾斜旋转式等离子体增强化学沉积(PECVD)管式炉设备
货号 : KT-PE16
最高温度
1600 ℃
恒定工作温度
1550 ℃
炉管直径
60 毫米
加热区长度
2x300 毫米
加热速率
0-10 ℃/min
应用
KT-PE16 倾斜旋转式 PECVD 炉 PECVD 炉由一个 500W 射频等离子源、一个双区 TF-1200 管式炉、4 个 MFC 气体精确控制单元和一个标准真空站组成。炉子的最高工作温度可达 1600℃。工作温度高达 1600℃,炉管为直径 60mm 的 Al2O2 陶瓷管;4 通道 MFC 质量流量计,气源为 CH4、H2、O2 和 N2;真空站为 1 台 4L/S 旋片
真空泵,最大真空压力为 10Pa。真空压力可达 10Pa。
优点
射频等离子体自动匹配源,5-500W 宽输出功率范围,输出稳定
高速加热和短时间冷却的炉腔滑动系统,可辅助快速冷却和自动滑动运动
PID 可编程温度控制,控制精度高,支持远程控制和集中控制
高精度 MFC 质量流量计控制,源气预混,供气速度稳定
不锈钢真空法兰,多种适配接口,满足不同真空泵站设置,密封性好,真空度高
CTF Pro 采用一个 7 英寸 TFT 触摸屏控制器,程序设置和历史数据分析更友好
安全优势
Kindle Tech 管式炉具有过流保护和过温报警功能,炉子会自动关闭电源
炉子内置热耦合检测功能,一旦检测到破损或故障,炉子将停止加热并报警
PE Pro 支持断电重启功能,故障后接通电源时,炉子将恢复加热程序
技术规格