真空退火炉
真空退火炉是一种卧式结构的高效热处理设备,具备不锈钢双层水冷真空炉体和前门观察窗。其系统空载极限真空度可达≤8x10⁻⁶Pa,工作真空度在800℃时保持≤1x10⁻³Pa,泄漏率不大于1x10⁻⁴Pa/L·s。分子泵能在30分钟内将真空度降至1x10⁻³Pa,压升率控制在0.67Pa/h以内。最高加热温度可达1300℃,工作炉温范围为600℃至1250℃,温度均匀性为±4℃,测温精度±1℃,升温速度和降温速率可控。该设备采用导电智能控温表,确保精确的温度控制。
一、技术指标:
1、设备结构形式:卧式、前开门(铰链结构)、不锈钢材料,双层水冷真空炉体、前门带有观察窗;
2、系统空载极限真空度:≤8x10-6Pa;
工作真空度:正常工作2小时,保温300℃-400℃后,开始加热至800℃,工作真空度:≤1x10-Pa(800℃);真空泄漏率不大于1x10-Pa/L"S.
3、分子泵启动正常工作30分钟后,真空度进入1x10-3Pa;
4真空热处理炉压升率,应小于0.67PPa/h,使用中的真空热处理炉压升率不应高于1.33Pa/h
5、最高加热温度:1300℃,工作炉温:600℃C-1250℃;温度均匀性:+4℃;有效区测温精度:±1℃;最大升温速度:25C/min,可控降温速率:30C/;采用导电智能控温表