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高真空管式氮化炉

高真空管式氮化炉

252
规格/型号：暂无
品牌：沈阳腾鳌
应用领域：冶金
产地：辽宁 - 沈阳
厂家/供应商：沈阳腾鳌真空技术有限公司
咨询电话:：13804984297（请说明信息源自“中冶有色技术网”）
更新时间：2025-01-30
级别：待认证

高真空管式氮化炉说明介绍

高真空管式氮化炉

高真空管式氮化炉


系统主要技术指标:

1、总体结构:采用卧式管式外加热炉结构，管式炉左端为抽气系统，右端为手套箱系统;整机安装在可移动台架上。

2、系统极限真空度:7x10-pa;工作真空度:5x10-pa，抽真空时间<2h(分子泵满转开始计时);系统漏率:1x107PaL/s。

3、抽气系统:

采用国产分子泵与机械泵组成抽气系统，配有国产阀门、管道、真空计等。

4、卧式管式真空室以及加热控温:采用管式外加热方式，管式真空室内经中250m，加热部分长约550m，加热温度范围:室温~450℃，样品表面温度250;均匀区:轴向长度250mm，控温精度为:10℃℃。

5、工件系统:

5.1、样品台通过文架安装在真空室门上，工作时样品台位于均温区中心，样品为圆形薄片，厚度3m，直径<100mm;

5.2、样品与真空室绝缘，耐压能力高于3000V
5.3、移动:真空室门手动开关，通过支架带动样品台进出真空室;

5.4、偏压通过电缆引入样品台底部，经过不锈钢电极接触样品下表面

5.5、样品与样品台良好接触避免打火;5.6、样品台及实验样品的加热通过炉壁传热来实现。样品台及样品的加热温度(加热炉加热时)范围在室温~250℃。

6、偏压电源:5KW，电压最大2kv，占空比10%-80%可调脉冲频率40~60KHZ可调。具有过流、过热、缺水、打火保护及自动灭弧功能。

7、手套箱:

7.1、手套箱采用无额头二工位双面操作薄壁手套箱，左侧面设计真空室对接连接口，右侧带有样品进出接口法兰，上部带有排气口。(按照最终设计为准);

7.2、手套箱总长1274mm，高729mm，宽700mm;

7.3、手套箱底部安装轨道与真空室门支架连接，实现真空室门的开关和样品台进出操作

8、气路系统:工艺气体为N、Ar;通过两路国产质量流量计控制进气。

9、系统配有冷却循环水装置。

10、系统具有断水断电联锁保护功能。
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