高真空加热装置
高真空加热装置是一种先进的材料处理设备,具备优异的真空性能,极限真空度可达<6.7x10⁻⁵Pa,漏率优于1.0x10⁻⁷Pa·L/s,采用分子泵+干泵的抽气机组,提供快抽和慢抽两种方式。装置配备316L不锈钢制成的真空罐体,内部尺寸至少为直径中50mmx100mm,加热炉内最高加热温度达800℃,控温精度为±1℃,且外壳温度低于200℃。此外,装置还具备氙气循环降温系统,保护罐体密封口,以及包含真空机组控制、真空度和温度显示及系统联锁保护功能的电控系统。
1、真空度及漏率:
1.1、系统极限真空度<6.7x10-5Pa,系统漏率优于1.0x10-7Pa.L/s;
1.2、真空抽气机组采用分子泵+干泵的抽气机组;
1.3、真空获得系统分为快抽和慢抽两种抽气方式。
2、真空罐体:
真空罐体材料选择316L不锈钢,罐体内部尺寸不小于直径中50mmx100mm。
3、加热炉:
3.1、加热炉外壳温度要低于200℃℃;
3.2、加热炉内最高加热温度800℃℃,控温精度+1℃℃;
3.3、加热均温区:φ50x50mm(真空罐体底部);
3.4、程序控温,PID调节
4、气体降温循环系统:
采用氙气循环的方式对真空罐体的外壳管道进行降温,以避免高温对罐体上盖密封口的氣橡胶圈造成损坏
5、电控系统:
电控系统主要有以下功能:
5.1 真空机组控制;
5.2 真空度的显示和温度控制;
5.3 系统的联锁保护功能。