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根据工业生产的实际需要,在散装物料必须反向输送和投加的地方,采用VRV双向给料机。可根据需求提供电磁振动/电机振动。两种驱动器。
该PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统,有多路质量流量计系统(进口流量计),真空机组(进口真空泵),PE射频电源(进口射频源),温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化,有利于降低工艺温度,同时扩大工艺的使用条件,满足更多的工艺实验要求,如石墨烯、碳纳米管等,控制操作系统集成于触摸屏操作面板上,便于操作与观察。
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