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用于远程感测等离子体的系统和方法

783   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:14
本发明提供一种用于远程监测等离子体(3)的方法和系统，该系统包括位于耦合等离子体源的近电磁场中的磁场天线(2)，其中，该磁场天线是置于该近电磁场中的磁环天线并测量从该等离子体源发射的近场信号。一种无线电系统(1)用于分析宽频带上的低功率信号电平。通过对驱动频率的高次谐波上所存在的谐振特征进行拟合来评估诸如串联或几何谐振等离子体频率、和电子中性碰撞频率之类的等离子体参数，以标识制造等离子体系统中常见的电弧、泵、或匹配失效事件。
声明：
“用于远程感测等离子体的系统和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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