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检测金属线短路的测试结构

954   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:01
本实用新型提供一种检测金属线短路的测试结构，包括第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构，所述第一梳齿结构和第二梳齿结构相对交错设置，所述蛇形结构位于第一梳齿结构和第二梳齿结构之间的间隙之中，测试结构还包括：测试金属线段，测试金属线段位于所述第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构的上方；金属插塞，所述金属插塞连接测试金属线段和第一梳齿结构、连接测试金属线段和第二梳齿结构以及连接测试金属线段和蛇形结构。本实用新型的检测金属线短路的测试结构能发现头对头金属线层连接缺陷，且在不破坏失效点的情况下能迅速定位，提高了测试效率和晶圆良率，节约人力成本。
声明：
“检测金属线短路的测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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