本发明公开了一种连续太赫兹波多物面叠层相衬成像方法,该方法包括采集携带多层被测样品信息的衍射图案,利用多物面叠层重建算法重建照明光束的复振幅分布及被测多层样品的复振幅透过率函数,从而得到多层样品的幅值及相位分布,获得样品的吸收系数及折射率分布。同时,利用连续太赫兹波多物面叠层相衬成像对多层被测样品进行大视场、无损、快速成像;该方法无需成像透镜,系统搭设简单,数据采集操作方便,并且待测多层样品尺寸不受照明光束尺寸及探测器靶面尺寸限制。
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