一种基于数字散斑干涉的曲面物体离面形变测量方法及装置,其特征是通过对曲面物体进行40~50度入射照明并采集光束偏转前、后以及相移前后的散斑图获取曲面的三维形貌,根据三维形貌计算得到曲面上任意点的法线矢量,然后通过对待测曲面进行加载,进一步得到待测曲面变形前后的不同散斑图,结合形貌测量获得曲面物体表面任意一点的法线矢量,测得沿法线方向的离面形变。本发明能够对三维形貌和离面形变实现综合测量,是一种无损,全场,高效的数字散斑干涉测量方法。
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