一种精确测量波片相位延迟量的方法,属波片参数测量技术领域,该装置包括光源,光阑、起偏器、待测波片、检偏器、光谱仪和计算机,通过测量出第一光谱强度I1(λ)的分布曲线和第二光谱强度I2(λ)的分布曲线,得到归一化光谱透过率T(λ)曲线。再根据透过率为定值的直线与所述归一化光谱透过率T(λ)曲线的交点波长,利用计算机计算出待测波片相位延迟量和其他多个物理参数。本发明是一种非接触无损测量技术,通过测量可一次性获得宽光谱范围内待测波片的绝对相位延迟量、有效相位延迟量、厚度、级次等多个物理参数,本方法测量精度高,测量装置易于调节,对于起偏器、待测波片和检偏器的方位无严格要求,适用于非复合型晶体波片的测量。
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