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用于半导体缺陷检测的系统

774   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:10
为克服现有半导体样品缺陷检测系统检测效率低、精确度差以及有损的问题，本发明提供了一种用于半导体缺陷检测的系统，包括第一光源，用于使半导体样品产生散射光，第二光源，用于使半导体样品产生第一反射光，第三光源，用于使半导体样品产生第二反射光和光致发光；光致发光检测组件，用于检测半导体样品上单个发光单元的荧光光谱以及荧光图像；散射光检测组件，用于检测散射光的图像；反射光检测组件，用于检测第一反射光和第二反射光的图像。本发明提供的检测系统能够同时、快速、无损的进行半导体外表面缺陷、次表面缺陷以及器件缺陷检测，检测准确度高，适用Mini LED、Micro LED的缺陷检测和质量分析。
声明：
“用于半导体缺陷检测的系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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