本发明公开了一种材料缺陷检测设备以及材料缺陷检测方法,包括:平面阵列传感器、控制电路和结果输出模块,其中:平面阵列传感器,包括:多个检测电极、端部屏蔽电极、极间屏蔽电极、传感器基板、信号线和基板背面屏蔽层,其中:控制电路与多个检测电极相连,用于控制对多个检测电极的电压激励;多个检测电极以阵列方式排列在传感器基板的上方,传感器基板的背面覆盖有基板背面屏蔽层,以及分布有信号线;信号线与多个检测电极相连,且与结果输出模块相连,用于将检测信号传输给结果输出模块;结果输出模块用于根据检测信号输出对应的检测结果。采用本发明方案,实现了对材料内部的无损检测。
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