一种无损平面
芯片电感测试组件及其制作方法,属于电子元器件测试领域。所述测试组件包括底座、嵌入件和校准件。底座包括底座基片、定位腔、底座电极;嵌入件包括嵌入件基片、通孔、通孔金属化填充、嵌入件底电极、嵌入件表电极、嵌入件端电极;校准件包括校准件基片、校准件通孔、校准件通孔金属化填充、校准件底电极、校准件表电极、校准件端电极、校准件电极连线;校准件与嵌入件的形状、结构及尺寸一致,区别仅在于校准件的两个表电极间设置了校准件电极连线。所述制作方法为印刷、溅射方法或生瓷片印刷烧结法。解决了现有技术不能用于测试平面结构芯片电感的问题。广泛应用于小尺寸平面芯片电感测试,或其他平面型两端口电子器件电性能测试。
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