一种平面
芯片电感无损测试装置,属于电子元器件测试领域。所述测试装置包括测试仪、高频测试夹具、测试定位模块、校准件、微带线。测试定位模块通过微带线与高频测试夹具连接,高频测试夹具通过另一微带线与所述测试仪连接,校准件与测试定位模块连接。测试定位模块包括模块基片、定位腔、底面电极、通孔、通孔金属化填充、定位腔表电极;校准件包括校准件基片、校准件表电极;校准件与定位腔的形状、结构及尺寸一致。解决了现有技术不能用于测试平面结构芯片电感的问题。广泛应用于小尺寸平面芯片电感测试,或其他平面型两端口电子器件电性能测试。
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