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无损测量薄膜的探针和测量仪器

1036   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:56
本发明提供一种无损测量薄膜的探针及测量仪器，包含导电针体、导电弹性针头、固定环、感应收缩簧。感应收缩簧的感应端超出导电弹性针头一定距离，能够监测到与纳米级厚度薄膜的接触和接触后的应力大小，能够精准地控制再次推进时间，使探针恰好接触薄膜而不损坏薄膜。该探针及测量仪适合对半导体薄膜进行接触式无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电学检测。
声明：
“无损测量薄膜的探针和测量仪器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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