本发明提供一种无损工件检验方法,其中将一电磁调制强度的激励光束导向工件表面的一个检验点,并对检验点发射的热辐射探测和求算。激励光束被周期性地导向不同方向,每一方向都指向工件表面不同的检验点。另外,提供一种用于无损工件检验的装置,包括一个发射电磁激励光束的激励源,一个调制激励光束强度的并将其导向工件表面一个检验点的光学装置,还包括一个探测由检验点发射的热辐射的探测装置。该光学装置包括调制装置,用于将激励光束周期性地偏转至不同方向,和一个定向装置,用于将每一方向上的激励光束导向工件表面的一个不同检验点。
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