本发明涉及基于剪切散斑干涉的激光超声无损检测设备,包括:分束器件,其布置在激光器的出射端,具有两个出射端;振镜,其布置在分束器件的其中一个出射端;扩束镜,其布置在分束器件的另一个出射端;剪切装置,其用于获取工件表面所产生的漫射光;CCD相机,其布置在剪切装置的出射端;信号处理器,其分别与CCD相机、激光器和振镜电连接。利用剪切散斑术进行位移测量,测量的位移导数即应变,以实现缺陷检测,对应力集中处较敏感,灵敏度高;激光激励和激光干涉用同一个光源,体积重量大幅度减小;采用CCD相机,视场大;剪切装置形成的两个干涉场基本上是共光路的,因此不易受到外界环境振动、空气扰动等因素的干扰,克服了隔振的要求。
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