本实用新型涉及一种光学无损检测物品表面的装置,其特征在于:在激光器的光轴上设置扩束准直透镜组;在被测物品反射光束的中心轴线上依次设置分光棱镜、可前后移动的平面反射镜;在与被测物品反射光束的中心轴线垂直的方向上在分光棱镜的两侧分别设置可转动的平面反射镜和带镜头的线阵CCD,且可前后移动的平面反射镜到分光棱镜的距离与可转动的平面反射镜到分光棱镜的距离相等;带镜头的线阵CCD固定在微位移平台上,线阵CCD采集的图像信号输出至计算机,计算机的控制信号输出至微位移平台控制微位移平台的移动。利用线阵CCD推扫,沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象,从而有效提高了缺陷检测的灵敏度。
声明:
“光学无损检测物品表面的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)