本发明公开一种无损检测用同步扫描装置、系统和方法,包括:第一运动机构、第二运动机构、检测模块和图像处理模块,所述检测模块与所述第一运动机构、所述第二运动机构中一个连接,检测样品则与所述第一运动机构、所述第二运动机构中另一个连接,所述第一运动机构、所述第二运动机构带动所述检测样品、所述检测部件运动;所述第一运动机构与所述第二运动机构同步扫描,分别实现第一方向、第二方向的扫描轨迹;所述图像处理模块将上述第一方向、第二方向的扫描轨迹合成预定的扫描轨迹。本发明能有效实现快速同步扫描,既能保证良好的扫描效果,又能大大提高扫描速度。
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