合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 电场传感器探头的制作工艺

电场传感器探头的制作工艺

809   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:35
本发明公开了一种电场传感器探头的制作工艺,其技术方案要点是,具体包括以下步骤:S1、切片:切片时选择电场方向平行于铌酸锂晶体z轴方向的X切Z传铌酸锂晶体制备为衬底切片;S2、蒸发:在所述S1中的衬底切片上采用化学气相沉积技术制备缓冲层钛作为掩模;S3、光导波刻;S4、PECVD:进行钛扩散,将铌酸锂晶体放在湿氧的环境中进行钛扩散以抑制LiO2外扩发生,抑制LiNb3O8晶相生成,降低晶体光折变的敏感性;S5、光刻电极;S6、电镀;S7、磨切;本电场传感器探头的制作工艺具有生产流程短,生产出的电场传感器探头具有可测动态范围大、响应速度快、频率范围宽、对电场畸变小、测量精度高、与一次设备无电气连接、全绝缘等特点。
声明:
“电场传感器探头的制作工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记