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研磨垫整理器

1024   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:13:35
本实用新型公开了一种研磨垫整理器，属于半导体制造技术领域，适用于修整化学机械研磨机台的研磨垫，所述研磨垫整理器包括：研磨盘，所述研磨盘的一面接触所述研磨垫；基座，设置于所述研磨盘未接触所述研磨垫的一面上；压力发生装置，设置于所述基座的上方并与所述基座之间柔性连接；压力传感器，设置于所述压力发生装置与所述基座的接触面上。上述技术方案的有益效果是：在研磨垫整理器内设置压力传感器，检测工作时研磨垫整理器对研磨垫施加的压力，方便使用者及时发现压力异常后排查故障，保障研磨垫得到有效整理，避免出现因研磨垫的整理效果不够，造成晶圆的质量不达标而报废。
声明：
“研磨垫整理器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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