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晶圆金属污染的评估方法

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:13
本发明提供了一种晶圆金属污染的评估方法，包括步骤：对晶圆进行多次化学处理；对所述晶圆依次进行表面检查、扫描电镜‑X射线能谱分析以及缺陷分类；通过对晶圆进行多次化学处理，与现有评估方法相比，能够在后续对晶圆的处理中检测到晶圆内部更深位置处的缺陷，以增加金属污染检测的精度，提高晶圆金属污染的评估的准确性；并且本发明进行两次表面检查、两次扫描电镜‑X射线能谱分析以及两次缺陷分类，并将两次的结果进行综合分析，从而能够更加精确得获得金属污染的信息，准确的对晶圆金属污染进行评估。
声明：
“晶圆金属污染的评估方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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