提供一种用来测量液体样品中粒子的方法和设备。该方法包括将一种液体样品输入到一个热交换器中,从而冷却样品至某一预定温度。将经冷却的样品输送到一个粒子计数器中,对该冷却样品进行粒子测量。根据本发明的方法和设备,可有效地抑制存在于待测液体化学制品样品中的泡沫,因而可用于粒子的精确测量。本发明特别适用于半导体和药品制造工业。
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