本公开涉及一种变形测量方法及装置,该方法包括:在待测试件的温度保持不变的情况下,分别获取待测试件表面的待测区域相对于标记物在第一时刻的第一高度场和第二时刻的第二高度场,根据第一高度场及第二高度场,分别获得待测区域在第一时刻的第一图像和第二时刻的第二图像。并根据第一高度场、第二高度场、第一图像和第二图像确定力‑化学耦合机理。本公开根据待测试件表面高度场特征进行分析,操作简便易行。此外,本公开能够获取待测试件在高温氧化过程中的实时数据,进而得到待测试件在不同区域的氧化膜生长厚度。有利于考察材料在不同应力状态下的氧化动力学过程。能够更客观全面的揭示力‑化学耦合机理。
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