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低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统

1091   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:20
一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，包括储液罐、补液罐和用于测量补液罐重量的称重装置，补液罐上设有分别向沉积炉腔体输送正硅酸乙酯的进液管Ⅰ和向补液罐内补充正硅酸乙酯的补液管，储液罐上的进液管Ⅱ通过连接管与补液管以可拆卸方式连通。本实用新型使用称重替代使用液位计的方法来确定不锈钢瓶内的正硅酸乙酯量，该方法使用市面上容易购买且价格相对低很多的称重装置替代价格高昂且需要进口的专用液位计，降低了采购周期、采购成本及后期的校准等维护成本，同时在不锈钢瓶上不需要增加液位计口，也降低了不锈钢瓶的成本，称重装置不和正硅酸乙酯液体接触，避免了引入沾污的可能。
声明：
“低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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