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用于光学元器件检测的高精度测厚仪

1200   编辑:中冶有色网   来源:许昌学院  
2024-05-29 15:18:47
权利要求书: 1.一种用于光学元器件检测的高精度测厚仪,其包括:机台(1)、居中固定组件(2)以及位移测定组件(3),其中,所述居中固定组件(2)固定安装在机台(1)上端面的右侧,用于对待检测光学元器件进行居中夹持固定,所述位移测定组件(3)设置在居中固定组件(2)的正上方,以便对待测量光学元器件进行厚度检测,所述机台(1)上还设置有辅助照明灯(5),其特征在于:所述位移测定组件(3)滑动设置在气动滑轨(4)上,以实现位移测定组件(3)的上下精确位移;所述位移测定组件(3)与居中固定组件(2)的竖直方向上的中心轴线相互共线,以便实现对待检测光学元器件的中心厚度进行精确的测量。2.根据权利要求1所述的一种用于光学元器件检测的高精度测厚仪,其特征在于:所述位移测定组件(3)包括顶板(31)、调节杆(32)、限位板(33)以及承接座(34),所述顶板(31)的下端面上对称安装有两个调节杆(32),两个所述调节杆(32)的伸缩端固定在承接座(34)的上端面;所述承接座(34)的横截面为T形结构,且,所述承接座(34)竖直部分外部滑动套设有限位板(33),所述限位板(33)的最大直径大于支撑壳体(21)顶端开口的直径;所述调节杆(32)的伸缩轴外部套设有弹簧一(321);所述承接座的下端设置有顶部压感触头(35),且,所述顶部压感触头(35)为弧面锥形结构。3.根据权利要求2所述的一种用于光学元器件检测的高精度测厚仪,其特征在于:所述顶板(31)的下端面内均匀圆周嵌入有多个激光接收器(331)。4.根据权利要求2所述的一种用于光学元器件检测的高精度测厚仪,其特征在于:所述承接座(34)的上端面内圆周均匀嵌入有若干激光发射器(341),且,若干所述激光发射器(341)的位置与数量均与顶板(31)内的多个激光接收器(331)相匹配,以便测得承接座(34)各方位的位移变化量。5.根据权利要求1所述的一种用于光学元器件检测的高精度测厚仪,其特征在于:所述居中固定组件(2)包括支撑壳体(21)、夹紧组件(22)以及调节装置(23),所支撑壳体(21)的内壁上圆周滑动设置有多个调节装置(23),且,每个所述调节装置(23)远离支撑壳体(21)内壁的一端固定安装有夹紧组件(22);每个所述调节装置(23)的下端均通过电动伸缩杆一(25)
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