权利要求书： 1.一种硅片侧边检测装置，其特征在于，所述硅片侧边检测装置包括第一检测单元和第二检测单元，所述第一检测单元和所述第二检测单元结构相同，分别用于检测硅片的相互平行的两个侧边；所述第一检测单元和所述第二检测单元均包括侧边检测组件，所述侧边检测组件包括第一点光源、第一光路限定元件和相机，所述第一光路限定元件包括反光面和狭缝，所述反光面用于反射由所述第一点光源发出的光，并将所述第一点光源发出的光反射到待检测硅片的侧边，所述光被所述待检测硅片的侧边反射并穿过所述狭缝进入所述相机。2.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述相机与所述第一光路限定元件共线设置，且所述相机的光轴与所述狭缝对应；所述第一点光源设置在所述反光面的正上方。3.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一光路限定元件还包括第一安装座，所述第一安装座呈直角三棱柱状，所述反光面固定在所述第一安装座的斜面上。4.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述反光面包括第一反光面和第二反光面，所述第一反光面和所述第二反光面对称固定在所述狭缝的两侧。5.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一光路限定元件的内腔为经过黑化处理的内腔，所述内腔包括所述狭缝的内壁和/或反光面的背面。6.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一检测单元和所述第二检测单元还均包括第一倒角检测组件和第二倒角检测组件，所述第一倒角检测组件和第二倒角检测组件结构相同，且相对所述侧边检测组件对称设置；所述第一倒角检测组件和所述第二倒角检测组件均包括第二光路限定元件，所述第二光路限定元件包括第二安装座、第三反光面、第四反光面和通道，所述通道设置在所述第二安装座上，用于为所述待检测硅片提供输送通道，所述第三反光面和所述第四反光面分别固定设置在所述通道两侧。7.根据权利要求6所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一倒角检测组件和所述第二倒角检测组件还均包括第二点光源，所述第三反光面和所述第四反光面用于反射由所述第二点光源发出的光，并将所述光反射至所述待检测硅片的倒角，所述光被所述待检测硅片的倒角反射并穿过所述狭缝进入所述相机。8.根据权利要求6所述的硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第二安装座呈直角三棱柱状，所述
声明：
“硅片侧边检测装置及硅片分选机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1013
编辑：中冶有色网
来源：无锡奥特维科技股份有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年06月06日 ~ 08日 
