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传送杆及扫描电镜

1167   编辑:中冶有色网   来源:业成科技(成都)有限公司  
2024-06-12 15:12:32
权利要求书: 1.一种传送杆,其特征在于,包括:载体;夹取装置,设置在所述载体上,所述夹取装置包括固定部、活动部以及推杆,所述固定部固定设置在所述载体上,所述活动部可转动地设置在所述载体上,所述推杆与所述活动部转动连接,所述推杆相对所述活动部转动的轴线与所述活动部相对所述载体转动的轴线之间不同轴;第一驱动装置,设置在所述载体上,所述推杆用于接收所述第一驱动装置的施力,以便推动所述活动部相对于所述载体转动,用于驱动所述夹取装置动作,以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台;第二驱动装置,与所述载体相接,用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动,以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动,使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓,其中所述第一方向和所述第二方向相反。2.根据权利要求1所述的传送杆,其特征在于,所述载体包括第一管体,所述夹取装置设置在所述第一管体的第一端,所述第一驱动装置设置在所述第一管体内,所述第二驱动装置与所述第一管体的第二端相接。3.根据权利要求2所述的传送杆,其特征在于,所述夹取装置包括:固定部,与所述第一管体的第一端固定连接;活动部,与所述第一管体的第一端转动连接,所述第一驱动装置用于驱动所述活动部相对所述第一管体转动,从而使所述活动部靠近所述固定部或远离所述固定部,进而实现对样品台的夹紧或松开。4.根据权利要求3所述的传送杆,其特征在于,所述推杆穿设在所述第一管体内,并与所述活动部转动连接,其中,所述推杆相对所述活动部转动的轴线与所述活动部相对所述第一管体转动的轴线之间不同轴;所述推杆用于接收所述第一驱动装置的施力,以便推动所述活动部相对于所述第一管体转动。5.根据权利要求4所述的传送杆,其特征在于,所述第一驱动装置包括电磁铁,所述电磁铁设置在所述第一管体内,所述电磁铁通电后能够驱动所述推杆在所述第一方向上运动,进而使所述活动部相对于所述第一管体转动;及/或所述载体还包括第一支撑环,所述第一支撑环的外壁与所述第一管体的内壁紧配合,所述推杆穿设在所述第一支撑环内,并可在所述第一方向和所述第二方向上相对所在第一支撑环运动。6.根据权利要求5所述的传送杆,其特征在于,所述第一驱动装置还包括弹性件,所述推杆在所述第一方向上运动时会对所述弹性件施力,使所述弹性件产生形变,以便在所述电磁铁
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