权利要求书： 1.扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：包括样品基座(1)及插设于所述样品基座(1)上的样品台(2)，沿着所述样品台(2)边沿插设有多个样品支座(3)；所述样品支座(3)的内端插入所述样品台(2)，所述样品支座(3)的上表面开设有竖向凹槽(31)，所述竖向凹槽(31)的一端穿出所述样品支座(3)的外端，所述样品支座(3)的外壁设有第一斜面(32)和第二斜面(33)，第一斜面(32)和第二斜面(33)分别位于所述竖向凹槽(31)的两侧，所述第一斜面(32)和第二斜面(33)的上沿分别延伸至所述竖向凹槽(31)的槽口。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述样品台(2)为矩形，所述样品台(2)的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座(3)为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：还包括锁紧螺栓(4)和定位板(5)，所述锁紧螺栓(4)活动穿过所述定位板(5)的中心后，与所述样品台(2)的中心螺纹连接。4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述第一斜面(32)与第二斜面(33)的倾角不相同。5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述样品台(2)底部设有支柱(6)，所述样品基座(1)上开设有固定孔(7)，所述固定孔(7)与所述支柱(6)一一对应。 说明书： 扫描电子显微镜多样品装载组合装置技术领域[0001] 本实用新型涉及检测设备领域，特别涉及扫描电子显微镜多样品装载组合装置。背景技术[0002] 扫描电子显微镜因为其观测尺度跨幅大，能够分析的微区面积大可到达平方毫米的量级，小可至平方微米的量级，图像的几何分辨率可达到或优于纳米级。其样品制备相对简单，附件以及其他功能丰富。目前，扫描电镜已广泛应用于物理、化学、材料、冶金、矿物、地质、生物等领域，是科研、生产等领域中应用最广泛的显微分析仪器之一，是当前必不可少的分析手段。样品台是SEM的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征。然而，目前SEM常用的样品台对装载样品的断面斜面观察有一定的限制，只适用于平面或
声明：
“扫描电子显微镜多样品装载组合装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
546
编辑：中冶有色网
来源：方达医药技术(苏州)有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年06月06日 ~ 08日 
