权利要求书： 1.一种密封装置，适于连接扫描电镜和换样仓，其特征在于，所述密封装置包括：阀壳，设有容纳腔和与所述容纳腔连通的第一开孔和第二开孔，所述第一开孔适于和所述换样仓连通，所述第二开孔适于和所述扫描电镜的内腔连通；以及阀芯，可活动设于所述容纳腔，包括压板和密封板；所述压板适于被驱动以沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向相反，且所述第一方向和所述第二方向与所述第二开孔的轴向相交；所述密封板与所述压板活动连接；在所述压板沿所述第一方向移动时，所述密封板跟随所述压板移动且朝向所述第二开孔移动，以和所述容纳腔的腔壁压接而密封所述第二开孔；在所述压板沿所述第二方向移动时，所述密封板跟随所述压板移动且背向所述第二开孔移动，以和所述容纳腔的腔壁分离而开启所述第二开孔；所述密封板设有贯穿其相对两侧的插孔，所述密封板的其中一侧面向所述第二开孔，所述密封板的另一侧面向所述容纳腔；所述密封装置包括密封罩，所述密封罩覆盖所述插孔且其边缘和所述密封板的所述另一侧密封连接；所述密封罩具备柔性。2.如权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述容纳腔设有止挡部，在所述压板沿所述第一方向移动时，所述密封板适于被所述止挡部阻挡而朝向所述第二开孔移动。3.如权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述阀芯包括有第一部件，在所述压板沿所述第二方向移动时，所述第一部件适于作用于所述密封板以使所述密封板背向所述第二开孔移动。4.如权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述第一部件为设于所述密封板的第一滚轮，所述阀壳设有朝向所述容纳腔敞开的避让槽；在所述密封板与所述容纳腔的腔壁压接而密封所述第二开孔时，所述第一滚轮移入所述避让槽；在所述压板沿所述第二方向移动时，所述第一滚轮适于移出所述避让槽而与所述容纳腔的腔壁滚动连接，带动所述密封板背向所述第二开孔移动，以使所述密封板和所述容纳腔的腔壁分离。5.如权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述第一部件为弹性件，所述弹性件连接于所述压板和所述密封板；在所述密封板与所述容纳腔的腔壁压接而密封所述第二开孔时，所述弹性件弹性形变；在所述压板沿所述第二方向移动时，所述弹性件复位以带动所述密封板背向所述第二开孔移动，以使所述密封板和所述容纳腔的腔壁分离。6.如权利要求1所述的密封装置，其特征在于，在所述
声明：
“密封装置和扫描电镜系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
781
编辑：管理员
来源：国仪量子(合肥)技术有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年06月13日 ~ 15日 
