权利要求书: 1.一种用于磨削加工的柔性夹持机构,其特征在于,包括卡盘,卡盘通过多个连接件与夹具板连接,夹具板设置有用于工件穿过的开孔,开孔的孔面固定有柔性垫圈,连接件设置有位于夹具板一侧的第一压电堆栈和位于夹具板另一侧的第二压电堆栈,第一压电堆栈通过第一压紧件压在夹具板的一侧端面,第二压电堆栈通过第二压紧件压在夹具板的另一侧端面,夹具板安装有振动传感器;
所述第一压电堆栈与第一压紧件之间设置有第一压力传感器,第二压电堆栈与第二压紧件之间设置有第二压力传感器;
所述夹具板上安装有多个直线运动驱动件,多个直线运动驱动件沿与夹具板中心为圆心的圆周等间隔设施,直线驱动件的运动部连接有推板,推板设置有与工件形状相匹配的柔性支撑块,推板能够通过柔性支撑块对工件施加压力。
2.如权利要求1所述的一种用于磨削加工的柔性夹持机构,其特征在于,所述夹具板与卡盘同轴设置,所述连接件采用连接杆,多个连接杆沿以夹具板中心为圆心的圆周均匀分布。
3.如权利要求1所述的一种用于磨削加工的柔性夹持机构,其特征在于,第一压紧件采用与连接件螺纹连接的第一压紧螺母,第二压紧件采用与连接件螺纹连接的第二压紧螺母。
4.如权利要求1所述的一种用于磨削加工的柔性夹持机构,其特征在于,所述夹具板上还安装有多个配重块,配重块与振动传感器沿同一个以夹具板中心为圆心的圆周等间隔设置,且配重块的重量与振动传感器的重量相等。
5.如权利要求1所述的一种用于磨削加工的柔性夹持机构,其特征在于,柔性支撑块设置有卡槽,推板位于卡槽内部,推板通过卡槽与柔性支撑块可拆卸连接。
6.如权利要求1所述的一种用于磨削加工的柔性夹持机构,其特征在于,所述直线运动驱动件与调节杆的一端转动连接,调节杆的另一端与固定在夹具板的定位块螺纹连接。
7.一种磨削加工装置,其特征在于,设置有权利要求1?6任一项所述的用于磨削加工的柔性夹持机构。
8.如权利要求7所述的一种磨削加工装置,其特征在于,所述磨削加工装置的刀杆安装有振动传感器及刀杆抑振元件。
说明书: 一种用于磨削加工的柔性夹持机构及磨削加工装置技术领域[0001] 本发明涉及超精密加工技术领域,具体涉及一种面向磨削加工的柔性夹持机构及加工装置。背景技术[0002] 这里的陈述仅提供与本
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