槽式全自动清洗机用循环清洗装置

权利要求书： 1.一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，包括清洗槽（1）、三通管（2）和缸体（3），所述清洗槽（1）内设有喷淋机构和承载机构；

所述承载机构包括可相对于清洗槽（1）上下移动的承载台（4）和复位组件，所述承载台（4）上设有推拉杆（5），所述推拉杆（5）的一端贯穿清洗槽（1）底部后设有活塞（6），所述活塞（6）滑动连接于所述缸体（3）内；

所述清洗槽（1）底部设有排水口（7），所述排水口（7）与三通管（2）的进水口相连通，所述三通管（2）的第一出水口通过循环输送机构与所述喷淋机构相连通，所述三通管（2）的第二出水口与缸体（3）远离推拉杆（5）的一端相连通，所述循环输送机构包括用于过滤碎屑并通过快速换装组件安装的滤芯（8）和驱动水循环的水泵（9）；

所述缸体（3）远离推拉杆（5）的一端还设有排污管（10），所述排污管（10）上设有第一阀（11），所述第二出水口上设有第二阀（12），所述清洗槽（1）上设有用于开关所述排水口（7）的封闭机构；

承载台（4）承重时，第一阀（11）导通，第二阀（12）不导通，封闭机构将排水口（7）打开；

承载台（4）复位时，第一阀（11）不导通，第二阀（12）导通，封闭机构将排水口（7）关闭。

2.根据权利要求1所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述封闭机构包括支撑弹簧（16）、连接杆（17）、设于清洗槽（1）底部的盒体（13）、活动套设于推拉杆（5）外侧的套环（14）和固设于推拉杆（5）外侧的推动环（15）；

所述盒体（13）上设有通孔（18），所述排水口（7）通过通孔（18）与所述三通管（2）的进水口相连通，所述盒体（13）内活动连接有用于将所述通孔（18）隔断的封闭滑板（19），所述支撑弹簧（16）设于封闭滑板（19）与盒体（13）内壁之间，所述连接杆（17）的一端与套环（14）铰接，另一端与封闭滑板（19）铰接，所述推动环（15）设于清洗槽（1）与套环（14）之间。

3.根据权利要求2所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述盒体（13）内设有与所述通孔（18）连通的腔体（20），所述封闭滑板（19）滑动连接于腔体（20）内，所述腔体（20）远离通孔（18）的一侧设有限位通槽（21），所述封闭滑板（19）的一端通过限位通槽（21）伸出至盒体（13）外侧与所述连接杆（17）铰接。

4.根据权利要求1所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述清洗槽（1）底部设有与承载台（4）相匹配的容置槽（22），所述复位组件包括设于容置槽（22）内的导向杆（23）和套设于导向杆（23）上的复位弹簧（24），所述承载台（4）上设有与导向杆（23）相匹配的导向孔（25），所述复位弹簧（24）支撑于承载台（4）和容置槽（22）之间。

5.根据权利要求1?4任一项所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述喷淋机构包括设于清洗槽（1）内侧的空心板（26），所述空心板（26）上设有若干个喷嘴（27），所述三通管（2）的第一出水口通过循环输送机构与所述空心板（26）相连通。

6.根据权利要求1所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述快速换装组件包括箱体（28）和贯穿箱体（28）的换装板（29），所述换装板（29）上设有两个过滤通槽（30），所述过滤通槽（30）内安装有过滤管（31）和限位过滤管（31）的凸环（32），所述滤芯（8）设于过滤管（31）内。

7.根据权利要求6所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述换装板（29）的两端设有定位弧板（33），所述箱体（28）的外壁两侧设有与定位弧板（33）相对应的弧形凹槽（34）。

8.根据权利要求6或7所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述箱体（28）内于换装板（29）上下两侧设有定位组件，所述定位组件包括定位环（35）、压紧弹簧（36）和用于驱动定位环（35）运动的驱动件；

所述定位环（35）靠近换装板（29）的一侧设有限位凸台（37），所述换装板（29）上设有与限位凸台（37）相匹配的限位凹槽（38），所述压紧弹簧（36）支撑于定位环（35）与箱体（28）之间。

9.根据权利要求8所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述定位环（35）远离换装板（29）的一侧设有定位凹槽（39），所述箱体（28）内设有与定位凹槽（39）相对应的导向管（40），所述压紧弹簧（36）活动套设于导向管（40）外侧。

10.根据权利要求9所述的槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其特征在于，所述驱动件包括拉环（42）和若干个驱动杆（41），若干个所述驱动杆（41）的一端分别与定位环（35）远离换装板（29）的一侧固定连接，另一端分别与位于所述箱体（28）外侧的拉环（42）固定连接；若干个所述驱动杆（41）分别贯穿所述箱体（28）并与所述箱体（28）滑动连接。

说明书： 一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置技术领域[0001] 本发明涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置。

背景技术[0002] 在半导体的制程工艺中，晶圆清洗是其重要的一个组成部分，现有的常规清洗手段是通过采用湿法清洗工艺的全自动槽式清洗机进行清洗。目前的全自动槽式清洗机大都

存在有循环喷淋系统，其可对清洗液进行过滤回收，实现清洗液的循环喷淋，提高晶圆的清

洗效果，并利用滤芯将清洗液中的碎屑过滤而出，从而降低了水资源的消耗。

[0003] 但是现有的槽式全自动清洗机用循环清洗装置在长期使用后，会在滤芯处积攒着大量的碎屑，其需要工作人员停机定期进行拆装清理，其操作较为麻烦，降低了工作效率，

不利于生产使用。针对上述问题，急需在原有的基础上进行创新设计。

发明内容[0004] 本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，可以在每次循环清洗过后，都可对滤芯进行反向冲洗，使得积攒的碎屑清除，并将

携带有碎屑的少量清洗液分离排出，从而达到了无需操作人员频繁拆装更换滤芯的效果。

[0005] 为解决上述技术问题，本发明是采用下述技术方案实现的：[0006] 本发明提供了一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，包括清洗槽、三通管和缸体，所述清洗槽内设有喷淋机构和承载机构；

[0007] 所述承载机构包括可相对于清洗槽上下移动的承载台和复位组件，所述承载台上设有推拉杆，所述推拉杆的一端贯穿清洗槽底部后设有活塞，所述活塞滑动连接于所述缸

体内；

[0008] 所述清洗槽底部设有排水口，所述排水口与三通管的进水口相连通，所述三通管的第一出水口通过循环输送机构与所述喷淋机构相连通，所述三通管的第二出水口与缸体

远离推拉杆的一端相连通，所述循环输送机构包括用于过滤碎屑并通过快速换装组件安装

的滤芯和驱动水循环的水泵；

[0009] 所述缸体远离推拉杆的一端还设有排污管，所述排污管上设有第一阀，所述第二出水口上设有第二阀，所述清洗槽上设有用于开关所述排水口的封闭机构；

[0010] 承载台承重时，第一阀导通，第二阀不导通，封闭机构将排水口打开；[0011] 承载台复位时，第一阀不导通，第二阀导通，封闭机构将排水口关闭。[0012] 进一步的，所述封闭机构包括支撑弹簧、连接杆、设于清洗槽底部的盒体、活动套设于推拉杆外侧的套环和固设于推拉杆外侧的推动环；

[0013] 所述盒体上设有通孔，所述排水口通过通孔与所述三通管的进水口相连通，所述盒体内活动连接有用于将所述通孔隔断的封闭滑板，所述支撑弹簧设于封闭滑板与盒体内

壁之间，所述连接杆的一端与套环铰接，另一端与封闭滑板铰接，所述推动环设于清洗槽与

套环之间。

[0014] 进一步的，所述盒体内设有与所述通孔连通的腔体，所述封闭滑板滑动连接于腔体内，所述腔体远离通孔的一侧设有限位通槽，所述封闭滑板的一端通过限位通槽伸出至

盒体外侧与所述连接杆铰接。

[0015] 进一步的，所述清洗槽底部设有与承载台相匹配的容置槽，所述复位组件包括设于容置槽内的导向杆和套设于导向杆上的复位弹簧，所述承载台上设有与导向杆相匹配的

导向孔，所述复位弹簧支撑于承载台和容置槽之间。

[0016] 进一步的，所述喷淋机构包括设于清洗槽内侧的空心板，所述空心板上设有若干个喷嘴，所述三通管的第一出水口通过循环输送机构与所述空心板相连通。

[0017] 进一步的，所述快速换装组件包括箱体和贯穿箱体的换装板，所述换装板上设有两个过滤通槽，所述过滤通槽内安装有过滤管和限位过滤管的凸环，所述滤芯设于过滤管

内。

[0018] 进一步的，所述换装板的两端设有定位弧板，所述箱体的外壁两侧设有与定位弧板相对应的弧形凹槽。

[0019] 进一步的，所述箱体内于换装板上下两侧设有定位组件，所述定位组件包括定位环、压紧弹簧和用于驱动定位环运动的驱动件；

[0020] 所述定位环靠近换装板的一侧设有限位凸台，所述换装板上设有与限位凸台相匹配的限位凹槽，所述压紧弹簧支撑于定位环与箱体之间。

[0021] 进一步的，所述定位环远离换装板的一侧设有定位凹槽，所述箱体内设有与定位凹槽相对应的导向管，所述压紧弹簧活动套设于导向管外侧。

[0022] 进一步的，所述驱动件包括拉环和若干个驱动杆，若干个所述驱动杆的一端分别与定位环远离换装板的一侧固定连接，另一端分别与位于所述箱体外侧的拉环固定连接；

若干个所述驱动杆分别贯穿所述箱体并与所述箱体滑动连接。

[0023] 与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：[0024] 1、该槽式全自动清洗机用循环清洗装置，通过使承载台在料箱重力的作用下克服复位组件的张力下降，从而带动推拉杆运动，进而使活塞于缸体中进行相对运动，使得装置

在每次对料箱进行循环清洗过后，都可利用循环输送机构中的水的重力作用以及负压对滤

芯进行反向冲洗，使得积攒的碎屑清除，并使携带有碎屑的少量清洗液分离排出；从而达到

了无需操作人员频繁拆装更换滤芯的效果，其提高了工作效率，省时省力，便于使用。

[0025] 2、该槽式全自动清洗机用循环清洗装置，通过推拉杆带动推动环运动，使其推动套环，再利用套环借助连接杆拉动封闭滑板，使封闭滑板对排水口进行开闭，使得装置在恰

当的时候自动完成对排水口的开启与关闭，而不需要额外进行控制，提高了装置的自动化

效果。

[0026] 3、该槽式全自动清洗机用循环清洗装置，具有快速换装组件，通过推动换装板，使推动侧的定位弧板与弧形凹槽相合，进而使限位凹槽移动至箱体中心处，即让新的过滤管

被推入至箱体中，以此可快速的完成对滤芯的更换，使得在无需停运设备的状态下即可完

成换装，操作方便，更换效率高，应用价值大。

附图说明[0027] 附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

[0028] 图1是本发明实施例提供的一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置的结构示意图；

[0029] 图2是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置中A处的放大示意图；[0030] 图3是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置中B处的放大示意图；[0031] 图4是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置的清洗槽的俯视示意图；[0032] 图5是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置的快速换装组件的侧视示意图；[0033] 图6是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置的换装板的结构示意图；[0034] 图7是图1所示槽式全自动清洗机用循环清洗装置在承重状态下的结构示意图；[0035] 图中：1、清洗槽；2、三通管；3、缸体；4、承载台；5、推拉杆；6、活塞；7、排水口；8、滤芯；9、水泵；10、排污管；11、第一阀；12、第二阀；13、盒体；14、套环；15、推动环；16、支撑弹簧；17、连接杆；18、通孔；19、封闭滑板；20、腔体；21、限位通槽；22、容置槽；23、导向杆；24、复位弹簧；25、导向孔；26、空心板；27、喷嘴；28、箱体；29、换装板；30、过滤通槽；31、过滤管；32、凸环；33、定位弧板；34、弧形凹槽；35、定位环；36、压紧弹簧；37、限位凸台；38、限位凹槽；39、定位凹槽；40、导向管；41、驱动杆；42、拉环。

具体实施方式[0036] 下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

[0037] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为

对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多

个”的含义是两个或两个以上。

[0038] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语

在本发明中的具体含义。

[0039] 实施例一：[0040] 本发明实施例提供了一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，如图1所示，包括清洗槽1，清洗槽1的两侧内壁设有喷淋机构，内底部设有承载机构；承载机构包括可相对于清

洗槽1上下移动的承载台4和复位组件，承载台4上设有推拉杆5，推拉杆5的一端贯穿清洗槽

1底部后设有活塞6，活塞6滑动连接于缸体3内，清洗槽1的底部设有排水口7，排水口7通过

管道与三通管2的进水口相连通，使三通管2的第一出水口通过循环输送机构与喷淋机构相

连通，三通管2的第二出水口与缸体3远离推拉杆5的一端相连通，其中循环输送机构包括用

于过滤碎屑并通过快速换装组件安装的滤芯8和驱动水循环的水泵9；缸体3远离推拉杆5的

一端还设有排污管10，排污管10上设有第一阀11，第二出水口上设有第二阀12，清洗槽1上

设有用于开关排水口7的封闭机构；承载台4承重时，第一阀11导通，第二阀12不导通，封闭

机构将排水口7打开；承载台4复位时，第一阀11不导通，第二阀12导通，封闭机构将排水口7

关闭。

[0041] 需要说明的是，循环输送机构与喷淋机构可设有多组，均匀分布于清洗槽1的四周，具体布置数量以及位置可根据实际使用情况进行相应调整。在本实施例中第一阀11和

第二阀12采用单向阀，其开合通过水压进行控制，但不仅限于此，也可以是电磁阀或其它阀

体，通过开关或传感器进行控制，只需具有同等效果即可。

[0042] 具体的，使用时将装有晶圆的料箱放置在承载台4上，承载台4在料箱重力的作用下克服复位组件的张力逐渐下降，承载台4带动推拉杆5一同运动，推拉杆5推动活塞6于缸

体3中进行相对运动，由于此时在水压的作用下第一阀11导通，第二阀12不导通，于是活塞6

将缸体3中积存的含有少量的碎屑的清洗液通过排污管10排出；当承载台4下降至行程尽头

时，如图7所示，活塞6恰好将连通第二阀12的管口堵塞，此时封闭机构将排水口7打开。随后

启动循环输送机构，循环输送机构的水泵9驱动清洗液依次沿着排水口7、三通管2、滤芯8和

喷淋机构进行循环流动，完成循环喷淋，其中，由于第二阀12被活塞6堵塞，使清洗液不会经

由缸体3从排污管10排出，于是滤芯8对循环输送中的碎屑进行过滤，并使其附着积留在滤

芯8与三通管2的第一出水口之间。当晶圆清洗完成时，关闭水泵9，取走料箱，于是承载台4

在复位组件的作用下逐渐上升，此时封闭机构将排水口7关闭，承载台4通过推拉杆5拉动活

塞6上升，活塞6松开对连通第二阀12的管口的堵塞；随后，在负压的作用下，第一阀11不导

通，第二阀12导通，又由于排水口7关闭，进而使循环输送机构以及三通管2中残留的清洗液

通过三通管2的第二出水口进入缸体3的无杆腔中积存，于是在负压及重力的作用下，循环

输送机构中的水反向流动，从而滤芯8被反向冲洗，并将积攒的碎屑转移至缸体3中进行存

储，此时一个周期结束。待下一个料箱放置时，重复上述操作，使碎屑排出，本发明通过设置

以上结构起到了在料箱每次清洗过后，都可对滤芯8进行反向冲洗的作用，将积攒的碎屑清

除，并使携带有碎屑的少量清洗液分离排出；从而达到了无需操作人员频繁拆装更换滤芯8

的效果，提高了工作效率，省时省力，便于使用。

[0043] 在本实施例中，如图1?2所示，封闭机构包括支撑弹簧16、连接杆17、设于清洗槽1底部的盒体13、活动套设于推拉杆5外侧的套环14和固设于推拉杆5外侧的推动环15；盒体

13上设有通孔18，排水口7通过通孔18与三通管2的进水口相连通，盒体13内活动连接有用

于将通孔18隔断的封闭滑板19，支撑弹簧16设于封闭滑板19与盒体13内壁之间，连接杆17

的一端与套环14铰接，另一端与封闭滑板19铰接，推动环15设于清洗槽1与套环14之间，盒

体13内设有与通孔18连通的腔体20，封闭滑板19滑动连接于腔体20内，腔体20远离通孔18

的一侧设有限位通槽21，封闭滑板19的一端通过限位通槽21伸出至盒体13外侧与连接杆17

铰接。

[0044] 具体的，承载台4承重时，通过推拉杆5带动推动环15一同向下运动，随后推动环15推动套环14运动，套环14通过连接杆17拉动封闭滑板19运动，封闭滑板19沿着限位通槽21

进行滑动，于是封闭滑板19克服支撑弹簧16的张力回缩至腔体20中，当承载台4下降至行程

尽头时，封闭滑板19不在对通孔18进行阻隔，此时排水口7通过通孔18与三通管2的进水口

相连通，即封闭机构将排水口7打开，而当承载台4复位时，支撑弹簧16不再推动套环14，于

是封闭滑板19在支撑弹簧16张力作用下将通孔18阻隔，即封闭机构将排水口7关闭。通过设

置以上结构可使得装置自动在恰当的时候完成对排水口7的开启与关闭，而不需要额外进

行控制，其提高了装置的自动化效果。

[0045] 在本实施例中，如图1所示，清洗槽1底部设有与承载台4相匹配的容置槽22，复位组件包括设于容置槽22内的导向杆23和套设于导向杆23上的复位弹簧24，承载台4上设有

与导向杆23相匹配的导向孔25，复位弹簧24支撑于承载台4和容置槽22之间。承载台4承重

时，将逐渐下降至容置槽22中，而当料箱取走后，承载台4在复位弹簧24张力作用下从容置

槽22中升起，为了避免复位弹簧24在使用过程中发生弯曲，设置有导向杆23，承载台4通过

导向孔25沿着导向杆23进行上下运动。通过设置以上结构提高了承载台4上下运动时的稳

定性，且避免了复位组件直接暴露在清洗槽1内，延长了部件的使用寿命。

[0046] 在本实施例中，如图4所示，喷淋机构包括设于清洗槽1内侧的空心板26，空心板26上设有若干个喷嘴27，喷嘴27均匀排列于空心板26靠近承载台4的一侧，并且对准于斜下

方，三通管2的第一出水口通过循环输送机构与空心板26相连通，在进行循环喷淋时，清洗

液通过循环输送机构进入至空心板26，空心板26将清洗液分流至各个喷嘴27，喷嘴27对料

箱进行喷淋，需要说明的是，喷嘴27高于清洗槽1进行清洗时的液面。通过设置以上结构可

使料箱得到充分的喷淋。有助于提高晶圆的清洗效果。

[0047] 实施例二：[0048] 如图1和5所示，本实施例提供了一种槽式全自动清洗机用循环清洗装置，其与实施例一的不同之处在于，对快速换装组件做出了具体的说明。

[0049] 快速换装组件包括箱体28和贯穿箱体28的换装板29，换装板29上设有两个过滤通槽30，过滤通槽30内安装有过滤管31和限位过滤管31的凸环32，滤芯8设于过滤管31内，换

装板29的两端设有定位弧板33，箱体28的外壁两侧设有与定位弧板33相对应的弧形凹槽

34。

[0050] 具体的，当需要换装时，在位于箱体28外侧的过滤通槽30内放置装有滤芯8的过滤管31，过滤管31由于凸环32的限位可安装于过滤通槽30内侧，随后推动换装板29，使推动侧

的定位弧板33与弧形凹槽34相合，此时限位凹槽38恰好移动至箱体28中心处，于是新的过

滤管31就被推入至箱体28中，而旧的过滤管31则随着换装板29从箱体28另一侧被推出，此

时将其取下，即完成了对滤芯8的换装。

[0051] 作为本发明的一种实施例，为了避免过滤管31以及换装板29在使用过程随意移动，箱体28内于换装板29上下两侧还设有定位组件。定位组件包括定位环35、压紧弹簧36和

用于驱动定位环35运动的驱动件；定位环35靠近换装板29的一侧设有限位凸台37，换装板

29上设有与限位凸台37相匹配的限位凹槽38，压紧弹簧36支撑于定位环35与箱体28之间。

[0052] 具体的，当限位凹槽38移动至滤芯8中心处后，松开驱动件，此时推拉杆5在压紧弹簧36张力作用下与换装板29保持贴合，同时使限位凸台37与限位凹槽38保持卡合，于是上

方的限位凸台37与过滤管31顶部相贴合，使其被限位；进而，换装板29也将无法再移动。而

需要再次进行换装时，通过驱动件使限位凸台37与限位凹槽38分离，即可进行。

[0053] 如图3和5所示，为实现驱动定位环35运动的功能，本发明实施例提供的驱动件，具体的可以包含有拉环42和若干个驱动杆41，若干个所述驱动杆41的一端分别与定位环35远

离换装板29的一侧固定连接，另一端分别与位于所述箱体28外侧的拉环42固定连接；若干

个所述驱动杆41分别贯穿所述箱体28并与所述箱体28滑动连接。使用时，拉动箱体28上下

两侧的拉环42，拉环42即可通过驱动杆41带动定位环35运动，其操作方便，便于使用。

[0054] 为进一步提高定位环35运动的稳定性，定位环35远离换装板29的一侧设有定位凹槽39，箱体28内设有与定位凹槽39相对应的导向管40，压紧弹簧36活动套设于导向管40外

侧；使用时，定位环35可沿着导向管40滑动。

[0055] 与现有技术相比，本发明提供的循环输送机构包括有快速换装组件，快速换装组件可快速的完成对滤芯8的更换，使得在无需停运设备的状态下即可完成换装，其操作方

便，更换效率高，应用价值高。

[0056] 以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应

视为本发明的保护范围。