晶粒自动分拣机

219 编辑：中冶有色技术网来源：深圳市芯探科技有限公司

2023-12-08 14:58:21

权利要求书： 1.一种晶粒自动分拣机，其特征在于：包括控制台、上层面板和下层面板，所述上层面板包括Tray盘、抓取机构和可拆卸的检测机构，所述抓取机构包括滑轨和设置于滑轨上的吸嘴结构，所述检测机构包括并排固定设置的若干测站，所述下层面板的结构与上层面板的结构相同，且设置于上层面板的下方。

2.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分拣机，其特征在于：所述滑轨包括X轴滑轨和Y轴滑轨，并分别对应设有X轴伺服马达和Y轴伺服马达，所述吸嘴结构在滑轨上滑动连接，通过X轴滑轨和Y轴滑轨之间的相对滑动在平面内作定点运动。

3.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分拣机，其特征在于：所述测站包括吹气机构和真空调整机构，还包括推料气缸和光栅保护机构。

4.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分拣机，其特征在于：所述控制台包括显示屏、控制键盘、鼠标、旋钮、轮盘、急停按钮。

说明书：一种晶粒自动分拣机技术领域[0001] 本实用新型涉及晶粒筛分技术领域，具体涉及一种晶粒自动分拣机。背景技术[0002] 随着科技的进步，现今电子产品的种类与款式也越来越多。在电子产品中常用到不同种类的晶粒，这些晶粒都是先从晶圆切割并分拣出来的。然而，在每一块晶圆上都能切

割出不同品质的晶粒。在工业应用上，需要晶圆上不同品质的晶粒分拣出来并进行检测、归

类。

[0003] 然而，现有设备只能用来检测晶粒是否有裂痕等品质问题，不能同时对其工作性能进行检测。此外，检测后的瑕疵品通常需要人工分拣，浪费人力成本，效率比较低。

实用新型内容

[0004] 本实用新型的目的是克服现有技术的不足和缺陷，提供一种晶粒自动分拣机。[0005] 本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：[0006] 一种晶粒自动分拣机，包括控制台、上层面板和下层面板，所述上层面板包括Tray盘、抓取机构和可拆卸的检测机构，所述抓取机构包括滑轨和设置于滑轨上的吸嘴结构，所

述检测机构包括并排固定设置的若干测站，所述下层面板的结构与上层面板的结构相同，

且设置于上层面板的下方。

[0007] 具体的，所述滑轨包括X轴滑轨和Y轴滑轨，并分别对应设有X轴伺服马达和Y轴伺服马达，所述吸嘴结构在滑轨上滑动连接，通过X轴滑轨和Y轴滑轨之间的相对滑动在平面

内作定点运动。

[0008] 具体的，所述测站包括吹气机构和真空调整机构，还包括推料气缸和光栅保护机构。

[0009] 具体的，所述控制台包括显示屏、控制键盘、鼠标、旋钮、轮盘、急停按钮。[0010] 本实用新型相比现有技术包括以下优点及有益效果：本实用新型用于测试晶粒的DIE和BIN，整合了Tray盘和检测机构，并结合能够在平面上定点移动的抓取机构实现晶粒

的自动检测和分拣动作。本实用新型结构设计合理，能有效提高晶粒的检测准确率和分拣

效率，节约生产成本。

附图说明[0011] 图1为本实用新型的整体结构示意图。[0012] 图2为本实用新型的主视图。[0013] 图3为本实用新型的俯视图。具体实施方式[0014] 下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

[0015] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设有”、“连接”等，应做广义理解，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理

解上述术语在本实用新型中的具体含义。

[0016] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便

于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方

位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

[0017] 如附图所示，一种晶粒自动分拣机，包括控制台10、上层面板20和下层面板30，上层面板20包括Tray盘21、抓取机构22和可拆卸的检测机构23。其中控制台10分别与其他机

构之间电连接，通过控制台10操作控制整个分拣机运作。上层面板20和下层面板30的结构

和功能完全相同，上下双层的设计能够增加分拣机单次工作处理量，提高工作效率。可拆卸

的检测机构23互相独立工作且可拆卸方便维修，不影响设备整体的工作效率。

[0018] 控制台10包括显示屏、控制键盘、鼠标、旋钮、轮盘、急停按钮。控制台10是整个设备的运转控制中心，与所控制的各个部件之间分别连接进行指令传输。

[0019] Tray盘21泛指为一种工装，用来承载工件在生产线上运转的，又称为料盘。在本方案中，优选为每层矩形阵列排布，自由度较高，行数和列数可以根据实际需要自由定义。

[0020] 抓取机构22包括滑轨和设置于滑轨上的吸嘴结构，滑轨包括X轴滑轨221和Y轴滑轨222，并分别对应设有X轴伺服马达和Y轴伺服马达。Y轴滑轨222相对设备固定后，X轴滑轨

221相对Y轴滑轨222前后滑动连接，同时吸嘴结构设置在X轴上左右滑动，可以到达平面内

任意一点。

[0021] 吸嘴结构包括可上下移动的真空吸嘴、以及带动真空吸嘴的气缸组成。气缸的输出端与真空吸嘴连接，使真空吸嘴能做上下往复运动，下落时吸住晶粒并保持，提起后随滑

轨运动到指定位置后放开，完成晶粒的搬运工作。

[0022] 检测机构23包括并排固定设置的若干测站，测站包括吹气机构和真空调整机构，还包括推料气缸和光栅保护机构。测站用于测试进入设备内的晶粒DIE并进行识别筛选，吹

气机构能根据识别指令进行吹气。真空调整机构也称为真空电磁阀，调整真空的流量以及

压力进而控制电磁阀的开启或关闭。

[0023] 测试站之间相互独立设置，可以自行调配测站工作状态，根据需要开启对应的测站工作。同时对产生故障的测站可以单独拆卸进行设备维护，不影响其他测站的工作状态。

推料气缸辅助晶粒进入设备内。光栅保护机构控制设备急停，当有人体停留在指定范围内

时，启动设备急停动作，避免意外发生。

[0024] 本实用新型的具体实施过程如下：[0025] 待检测的晶粒进入设备之后先经过检测机构23，检测机构23的测站工作检测晶粒DIE。经过DIE检测的晶粒进入上层面板20或者下层面板30进行BIN分级，抓取机构22将晶粒

吸取并移送至对应BIN别对应的Tray盘21中，待Tray盘21中盛满后将其取出，再放入空盘即

可。

[0026] 以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术

人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本

实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。