本发明提供了一种具有高致密度的钛酸钡陶瓷涂层,其由混合粉料经超音速等离子喷涂在基体表面制得,所述混合粉料包括BaTiO
3和ZnO;所述钛酸钡陶瓷涂层具有
钙钛矿型晶体结构且掺杂有Zn原子,所述Zn原子在BaTiO
3晶体结构内部的Ti位掺杂。在本发明中,ZnO的添加一方面提高了BaTiO
3复合粉末的熔融特性,使喷涂时未熔或半熔融的颗粒比例降低,从而避免了涂层缺陷的产生。另一方面,添加ZnO并采用超音速等离子喷涂技术,实现了Zn元素原位掺杂钛酸钡涂层,Zn原子扩散进入BaTiO
3晶格中,此种掺杂方式能有效提高纯钛酸钡涂层的介电性能。因此,本申请提供的BaTiO
3涂层结构致密,介电性能优异。
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