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浙江杭州有色金属无损检测技术理论与应用

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基于内嵌式分布电极的复合材料损伤监测方法

本发明公开了一种基于内嵌式分布电极的复合材料损伤监测方法,包括以下步骤:1)使用航空泡沫作为复合材料夹层结构的芯材,在航空泡沫上规律的贴上固定尺寸的铜箔来作为电极;2)利用柔性基材来制成具有定制图形的印刷电路板,使用粘合剂将印刷电路板贴附到航空泡沫上,使得电极延伸出来;3)使用径向编织机在经过粘连后的航空泡沫上进行编织,使得碳纤维包裹在航空泡沫外部,再经过树脂填充作为基体形成碳纤维复合材料;4)采用蛇形激励模式确定电流注入模式以及电压测量模式,基于测得的电压值使用电阻抗层析成像对真实电阻分布情况进行重建,进而得到判断损伤情况和损伤位置,实现碳纤维复合材料构件的无损评估和结构健康监测。

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无损检测
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用SKPFM观测材料中局部组织氢扩散过程的装置

本发明涉及氢能利用领域,旨在提供一种利用SKPFM观测材料中局部组织氢扩散过程的装置。该装置包括:电化学充氢模块、微区氢渗透模块、原子力显微镜观测模块和计算机控制系统。本发明根据氢侵入材料引起材料局部接触电势差变化的原理,利用扫描开尔文探针力显微镜模块观测,通过该观测行为为测算材料中局部组织氢扩散系数创造条件。本发明的装置能够通过观测到微米甚至纳米范围的氢渗透情况,可以通过原位观测电化学氢渗透的过程,获得SKPFM观测的图像数据。该图像数据可以进一步被用于计算出材料中的氢扩散系数,进而实现在不同温度范围氢扩散系数的测量。与传统方法相比,本发明属于无损测试,具有测试准确度高、操作简便等优点。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于裂隙监测的压阻传感器及其制备方法

本发明公开了一种用于裂隙监测的压阻传感器及其制备方法,所述压阻传感器包括压敏单元、弹簧单元及将整个器件进行封装的封装层,所述的压敏单元由压敏材料层及设于压敏材料层两侧的电极层构成的三明治结构,所述弹簧单元为由若干弹簧构成的弹簧阵列,弹簧阵列的一端与压敏单元接触,另一端与封装层接触;所述的压敏材料层由导电水凝胶制得,且表面具有微结构。本发明的压阻传感器,利用弹簧阵列结合压敏单元不仅保证监测的灵敏度且实现了在不同裂隙尺寸上的监测范围能力,不仅质轻、可灵活组装、无损安装并可以同时进行同步实现动态监测,为文物缝隙的健康监测提供一种新的解决思路,具有重大的历史意义和应用前景。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
污泥中不同形态水分的快速测定方法

本发明公开了一种污泥中不同形态水分的快速测定方法。它包括以下步骤:1)对污泥进行低场核磁共振测量,获得污泥中不同形态水分的横向弛豫时间T2谱;2)将活性污泥静置沉降后,取等质量间隔的上层液体制备标准样品,并建立标准曲线;3)根据得到的标准曲线,对污泥的低场核磁共振横向弛豫时间进行换算得到污泥中自由水质量、间隙水质量和表面结合水质量3种不同形态水分;4)将待测污泥烘干至衡重后,将初始质量与终了质量做差,计算得到污泥中第4种形态水分,即内部结合水质量。相比于传统方法,核磁共振技术测量污泥中不同形态水分含量具有实验时间短、对实验样品无损害、测量精确等优势。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于计算机视觉的地铁列车轮轨力监测方法

本发明公开了一种基于计算机视觉的地铁列车轮轨力监测方法,该方法选取相邻两轨枕之间的一段地铁轨道作为监测目标,通过工业相机获取地铁列车运行通过时的轨道图像,并采用计算机视觉的方法分析图像得到轨道竖向位移。当车轮压过钢轨时,两轨枕的支撑使钢轨形成简支梁结构,通过弹性力学中荷载与位移的关系得到作用在轨道结构上的荷载,即轮轨力。本发明的主要优点是:(1)该方法为无损轮轨力测量方法,监测的过程中不对轨道本身或地铁正常运营造成影响;(2)该方法为非接触式监测方法,解决了钢轨下方空间狭窄而难以安装传感器的问题,监测准确率受环境因素影响小,能实现长期连续化的位移监测。

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无损检测
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于LSTM-cGAN的含裂纹结构剩余承载力及裂纹扩展路径的预测方法

本发明公开了一种基于LSTM‑cGAN的含裂纹结构剩余承载力及裂纹扩展路径的预测方法,在训练阶段,首先通过有限元计算或现场实测得到含不同程度裂纹结构的强度及其在加载情况下的裂纹扩展路径,并基于条件生产对抗网络模型和长短时记忆法,同时训练四个深度神经网络包括生成网络G和判断网络D,处理时间序列的LSTM网络以及判断裂纹结构强度的卷积神经网络CNN。训练完成之后,以现场测得的结构裂纹扩展历史输入生成网络G和LSTM网络,得到对应的结构强度及裂纹扩展路径的预测。本发明可以高效地预测含裂纹结构的强度及裂纹扩展路径,将有效实现含裂纹结构的原位无损监测问题。

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无损检测
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于可见/近红外多光谱成像的水稻养分信息测量方法

本发明公开了一种基于可见/近红外多光谱成像的水稻营养信息测量方法。可见/近红外多光谱成像仪采集被测水稻植株的冠层图像和反射率动态标定板图像,通过图像采集卡输入计算机,图像分析处理软件分析水稻冠层图像红色、绿色及近红外三个通道图像的信息,通过反射率动态标定板将该三个通道图像信息的灰度值转换成反射率值。将传输到计算机的图像经过图像处理,消除噪声,去除背景,把待测水稻冠层的多光谱反射率值输入校正模型,得到该水稻的氮、磷、钾及蛋白质含量的测量。所以本发明只要在有代表性的水稻样本的基础上建立校正模型就可以实现对待测水稻的氮、磷、钾及蛋白质含量进行快速、无损、实时、在线的测定。

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无损检测
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
六方轴动态扭矩测试传感器

本发明公开了一种用于六方转轴动态扭矩测试传感器,它包括内六方套筒、螺栓、轴承盖、套杯、轮毂、回转体、轴承定位套、测力轴套、内六方轴套、传力销、无线扭矩节点、电阻应变片、滚动轴承。在测量六方转轴的扭矩时,不需要把六方转轴截断,并通过扭矩传感器把两根截断轴连接起来测量回转体的扭矩;测量转矩时,对六方转轴无损伤,安装空间小,制作成本低,测量精度高。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于扫频微波穿透法的谷物含水率测量装置

本发明公开了一种基于扫频微波穿透法的谷物含水率测量装置,包括微波发射端、微波接收端、天线升降平台和控制单元;微波发射端和微波接收端分别滑动设置在天线升降平台的下半空间和上半空间;控制单元根据激光对准传感器的信号和微波信号的衰减偏差移动微波天线完成微波天线的自动对准;综合考虑天线远场条件、含水率测量结果代表性和减小微波空间传输损耗三个条件确定并调整至最佳的测量距离和天线间距离;利用优化的微波扫频信号代替单一频率的信号作为含水率测量装置的测量信号,在抑制多重反射影响的同时更加全面的获得谷物水分信息,利用机器学习算法训练出的模型对谷物的含水率进行快速无损的高精度测量。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
活立木树干杨氏模量测量装置

本实用新型涉及一种活立木测量装置,具体是可对活立木树干杨氏模量进行无损测量的活立木树干杨氏模量测量装置,该装置应具有测量精度高、测量效率高,并且测试方便、成本较低的特点。本实用新型的主要技术方案为:包括控制器、脉冲锤,所述控制器输入端通过数据线缆连接有起始传感器,控制器输出端通过数据线缆连接有结束传感器,所述的起始传感器和结束传感器上均固定有螺钉。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
晶圆膜厚测量误差补偿方法

本发明公开了一种晶圆膜厚测量误差补偿方法。本发明以线性拟合结果作为初始猜想,采用多变量优化拟合总光程差曲线,从而得到更接近真实情况的WLRS。白光反射动态测量是广泛使用的非接触方法之一,白光反射率谱对薄膜厚度进行测量。这种方法具有无损伤,响应快,以及测量结果准确度高等优点。一束白光由点A近垂直入射待测薄膜,在S1和S2表面经过数次折射及反射后,其相位发生变化,进而形成其相应的WLRS并在信号采集区显示。WLRS与待测薄膜的厚度之间存在着一一对应关系。由此,可根据上述原理对基层表面的薄膜厚度进行非接触式的测量。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
车轮六方轴扭矩测试传感器

本实用新型公开了一种车轮六方轴扭矩测试传感器,该装置中,内六方套筒套在六方转轴上,在内六方套筒的外圆柱面上设置一对滚动轴承,在一对滚动轴承的中间设置有轴承定位套;在滚动轴承的外圈上安装套杯;轮毂安装在套杯的外表面上;轴承盖、套杯、轮毂和测力轴套固定连接;内六方轴套安装在六方转轴上,与测力轴套焊接;测力轴套与内六方套筒间隙配合;在测力轴套的圆柱面上对称粘贴两片电阻应变片,两片电阻应变片接成全桥电路,并和无线扭矩节点连接;在测量六方转轴的扭矩时,不需要把六方转轴截断,并通过扭矩传感器把两根截断轴连接起来测量回转体的扭矩;测量转矩时,对六方转轴无损伤,安装空间小,制作成本低,测量精度高。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
流固耦合作用下岩石损伤程度测试方法

本发明提供一种流固耦合作用下岩石损伤程度测试方法,所述方法基于流固耦合作用下岩石损伤程度测试装置,所述装置包括围压油缸,所述围压油缸内形成压力室,所述压力室中设有套筒,所述套筒内填充岩石样本,所述岩石样本的至少周侧处于压力室内;所述套筒的顶面和底面分别设有顶面容腔和底面容腔,所述顶面容腔和底面容腔内分别设有P波传感器和S波传感器。本发明能够实现对岩石在流固耦合作用下损伤程度的定量评价,并且能够实现在有围压条件下的测量,在测试加压过程中对传感器没有影响,并且通过充分发挥声波本身特性测试岩石的损伤程度,实现了对岩石加载损伤的无损、定量、全过程测试。

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无损检测
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
微波技术测量木材湿度的电路设计

一种微波测量木材湿度电路的设计实现了一种快速、非接触、无损伤且精度较高的微波测量木材湿度的电路,属于电子科学技术领域。通过xx原理。该电路包括微波信号产生电路部分、传感器测量电路部分、调制微波信号电路部分以及窄带滤波放大电路部分。本发明的优点是:微波能够穿透木料,其测量结果反映了木材内部的水分,同时不受木材颜色、结构等因素的影响。而且其电路最终的测量值是电磁波的衰减信号和传感器测量信号通过窄带滤波放大得到驻波比和相位移求得的,这使得测量过程迅速且能根据实际情况调整精度和测量范围。这些优点使得这种电路非常适合用于木料湿度的实时、快速在线测量。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于柔性可穿戴应变传感器的植物器官生长监测系统及其应用

本发明提供一种基于柔性可穿戴应变传感器的植物器官生长监测系统,包括长度测量传感器、数据收发终端和监测终端,长度测量传感器是柔性可穿戴应变传感器,柔性可穿戴应变传感器为条带状,柔性可穿戴应变传感器的中部用于缠绕并固定在待监测植物器官上,数据收发终端包括微处理器,微处理器分别电路连接柔性可穿戴应变传感器的两端用于获取长度测量传感器的采样值,微处理器信号连接监测终端用于将采样值发送至监测终端。还提供了相关应用。本发明的基于柔性可穿戴应变传感器的植物器官生长监测系统不影响或极少影响植物生长,实现植物茎和果实生长的无损实时监测,测量省时省力,设计巧妙,结构简洁,制造简便,成本低,适于大规模推广应用。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
回转体动态扭矩测试传感器

本发明公开了一种回转体动态扭矩测试传感器,它包括转轴、轴端螺钉、垫片、键、无线扭矩节点、电阻应变片、测力轴套、法兰螺钉、回转体、回转体轴向定位阻挡销、无线网关等;在测量回转体传递的扭矩时,不需要把回转体转轴截断,并通过扭矩传感器把两根截断轴连接起来测量回转体的扭矩,测量转矩时,对回转体轴无损伤,安装空间小,制作成本低,测量精度高。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
无接触式小微电机扭矩测试设备

本实用新型涉及电机测试设备技术领域,具体公开了一种无接触式小微电机扭矩测试设备,包括支架、功率输出盘、磁盘、S型拉力传感器和控制系统,支架的上方设有固定座,固定座的上方设有运动平台,运动平台与固定座之间通过线性传动机构连接,运动平台上设有待测电机保护罩,待测电机保护罩内安装待测电机,功率输出盘安装在待测电机上,磁盘与功率输出盘相对设置,磁盘通过磁盘安装座安装,磁盘安装座上设有挂架,S型拉力传感器固定在挂架的顶端且位于磁盘的上方,控制系统分别控制S型拉力传感器和线性传动机构。本实用新型通过磁涡流损耗的原理来吸收功率,测试出电机扭矩,测试过程中无需接触且测试精度高、损耗小、待测电机无损耗。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用SKPFM测试材料中局部组织氢扩散系数的方法

本发明涉及氢能利用领域,旨在提供一种利用SKPFM测试材料中局部组织氢扩散系数的方法。该方法包括:将金属材料制成的片状试样作为电化学充氢槽的工作电极,使其下表面浸泡在电化学充氢溶液中;在保持试样水平和氮气环境的条件下,以原子力显微镜观测试样的上表面;启动充氢槽使试样的下表面发生充氢反应,根据接触电势差变化量的情况记录变化时间,进而计算试样所用材料的氢扩散系数。本发明能够观测到微米甚至纳米范围的氢渗透情况,在原位观测电化学氢渗透的过程中,利用SKPFM观测的图像数据计算出材料中的氢扩散系数,并能够实现在不同温度范围氢扩散系数的测量。与传统方法相比,本发明具有测试准确度高、操作简便、无损测试等优点。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多光谱肉类新鲜度人工智能测量方法及系统

本发明公开了一种多光谱肉类新鲜度人工智能测量方法及系统。可调节参数光源发射特定光束照射于肉类放置平台上,3CCD多光谱摄像机接收肉品反射光,信号传输给图像采集卡,通过采集卡传输到计算机处理系统进行处理。通过计算机内肉类数据库的选择,选取不同的肉类品种,进行各种预处理。然后提取各种特征波段,选取象素集作为图像进一步研究对象,通过人工智能判断方法,在已有的模型下进行新鲜肉、次鲜肉、腐败肉三种不同模式的识别,最后输出识别结果,显示于电脑上。本发明采用机器视觉、图像处理与人工智能等技术的结合,快速、无损、准确地评定肉类的新鲜度。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
流体辅助注射成型中制品参数超声在线测量方法

本发明公开了一种流体辅助注射成型中制品参数超声在线测量方法,包括:(1)采集该超声波同一次反射回波LB和反射回波LG:反射回波LB为该超声波在模塑界面发生反射回波;反射回波LG为该超声波在塑辅界面发生的反射回波;(2)计算接收反射回波LB与反射回波LG之间的时间间隔△t,得到塑料熔体的壁厚h;(3)根据塑料熔体的壁厚计算得到空心层长度。与现有技术相比,本发明具有以下优点:制品残余壁厚和空心层长度的测量不需要破坏制品,具有无损测量的优点,通过超声波信号得到残余壁厚和空心层长度,不需要等制品制成后离线操作,可以进行实时在线的无损测量,操作简单,精度高。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于反射光谱的大棚作物生长状况自动监测系统

本发明公开的基于反射光谱的大棚作物生长状况自动监测系统,包括X、Y、Z方向安装的第一、第二和第三丝杆,三个丝杆上分别套有带螺纹孔的滑块,由步进电机驱动可实现在三维空间任意点的移动。其中在一个丝杆上设置摄像头和反射探头,另有一个丝杆上设置近红外光源、光谱仪、工控机和继电器。该监测系统结合反射光谱与图像信息,在远程计算机控制下自动调节反射探头的空间位置,基于作物冠层可见光/近红外反射光谱,计算叶面积指数、水分含量、叶绿素含量等多种指标,从而分析作物的生长状况,为作物生长管理提供参考。整个系统结构简单、成本低廉、自动化水平高,实现了快速、无损、全方位、多指标、动态监测作物生长状况的目的。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
流体辅助共注成型中制品参数超声在线测量方法

本发明公开了一种流体辅助共注成型中制品参数超声在线测量方法,包括:(1)在垂直于塑料熔体流动方向上,向成型过程中的制品发射超声波,采集该超声波在第i层内外界面的同一次外界面反射回波和内界面反射回波:(2)计算接收外界面反射回波LB与内界面反射回波之间的时间间隔;(3)根据第1~i层壁厚数值得到塑料制品中间层、空心层长度。本发明塑料制品表层或其他各层壁厚和中间层、空心层长度的测量不需要破坏制品,具有无损测量的优点,通过超声波信号得到表层或其他各层壁厚和空心层长度,不需要等制品制成后离线操作,可以进行实时在线的无损测量,操作简单,精度高。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于背向补偿的透明基底薄膜厚度测量系统

本发明公开了一种基于背向补偿的透明基底薄膜厚度测量系统,包括:光源、光谱仪、反射率光纤探头、测量平台和PC机,反射率光纤探头设于测量平台上方,分别与光源、光谱仪连接,光谱仪与PC机连接;光源发出的光经过反射率光纤探头照射到放置在测量平台上的待测具有透明基底的薄膜上,基底以及薄膜的反射光同时又进入反射率光纤探头后被光谱仪接收,接受的数据经过PC机的补偿处理计算,得到薄膜各层的实际厚度。本发明系统无须在样片背面涂覆消光物质来消除背向反射,无需破坏薄膜基底。本发明系统具有简单灵活,自动适应各种不同材料不同厚度的透明基底,整个系统具有结构简单,成本较低,小型化,无损探测等优点。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
测定华蟾素醇沉液中吲哚类生物碱含量的方法

本发明提供一种测定华蟾素醇沉液中吲哚类生物碱含量的方法。醇沉法是华蟾素注射液生产的关键单元操作,针对醇沉过程建立一种快速有效的含量分析方法尤为重要。该方法先收集具有代表性的醇沉液样本作为校正集,采用紫外可见分光光度法测定吲哚类生物碱含量,同时扫描其近红外原始光谱图,选择合适的光谱预处理方法、建模谱段和主因子数,利用化学计量学方法,构建醇沉液样本吲哚类生物碱的近红外定量校正模型,对未知含量的华蟾素醇沉液样本进行快速的含量测定。本发明具有快速、无损、准确的优点,可有效解决醇沉过程中缺乏质量监控和批次差异的问题,为中药过程质量控制提供一种新的思路和手段。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
测量视网膜血管直径和血管壁厚度的方法

一种测量视网膜血管直径和血管壁厚度的方法,其特征在于:采用频域光学相关断层成像SD-OCT扫描系统进行测量,通过SD-OCT扫描系统选择距离视盘边缘0.5-1.0倍视盘直径的区域内的全部视网膜血管作为测量对象;使扫描线垂直于定位血管的走行方向,获得视网膜血管的横切面图;放大扫描后的血管横切面图像;移动标尺,测量血管的内径和外径,血管壁的厚度=(外径-内径)/2;计算视网膜中央动脉当量Wt;Wt=(0.87Wa2+1.01Wb2-0.22WaWb-10.73)1/2,视网膜中央动脉当量Wt作为诊断依据。本发明具有具有无损伤,非侵入性,免散瞳,测量精确度高的优点。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
共注成型中制品参数超声在线测量方法

本发明公开了一种共注成型中制品参数超声在线测量方法,包括:(1)在垂直于塑料熔体流动方向上,向成型过程中的制品发射超声波,采集该超声波同一次反射回波LB和反射回波LS:反射回波LB为该超声波在模塑界面发生反射回波;反射回波LS为该超声波在塑塑界面发生的反射回波;(2)计算接收反射回波LB与反射回波LS之间的时间间隔Δt,得到塑料制品的表层壁厚h:(3)根据表层壁厚h计算得到塑料制品芯层长度。本发明具有以下优点:塑料制品各层壁厚和长度的测量不需要破坏制品,具有无损测量的优点,通过超声波信号得到各层壁厚和长度,不需要等制品制成后离线操作,可以进行实时在线的无损测量,操作简单,精度高。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用眼动监测提高视频POI低损编码效率的方法

本发明公开了一种利用眼动监测提高视频POI低损编码效率的方法。现有方法总存储量过大,使用具有很大局限性。本发明方法通过眼动仪检测人眼观看视频采集关联视频图像的POI;通过人眼POI关联的视频区域进行无损或低损编码压缩,对非POI区域进行高损编码压缩;通过多人观看视频的眼动POI进行融合形成动态POI;通过前端摄像机的双码流编码能力,前端输出原始码流的同时,输出基于人眼捕捉高价值区域的POI的分区编码压缩码流;通过后端的POI二次视频流编码,或通过反馈POI给前端的准实时POI视频流编码。本发明方法大幅降低了视频容量,从而大幅压缩编码率。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于回音壁谐振模式测量光阱捕获微粒半径的方法及装置

本发明公开了一种基于回音壁谐振模式测量光阱捕获微粒半径的方法及装置。所述的方法,1)利用光阱捕获并悬浮真空腔中的微粒;2)将锥形光纤的束腰部分靠近该微粒,利用倏逝场将入射光耦合进入捕获的微粒,调整入射光的波长,使微粒达到回音壁谐振模式;3)根据光学回音壁谐振模式的形成条件公式,计算得到谐振腔的半径r;4)根据透射光谱的模式劈裂,计算出微粒的偏心率Ɛ。所述的装置真空光镊装置的基础上,增加了可调谐激光器和锥形光纤,可以在不改变原有悬浮微粒的状态下形成回音壁谐振模式,实现了真空光阱悬浮颗粒半径的原位检测。本发明原位、无损、非接触式、高精度,简化了步骤,结果准确可靠。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
弹性波测量用低应变定点定能锤击激振装置及激振方法

本发明涉及低应变无损检测领域。一种弹性波测量用低应变定点定能锤击激振装置,包括底座、锤柄和拉索,所述锤柄的一端通过铰轴铰接在所述底座上、另一端连接有锤头,所述底座设有锤击点瞄准框和释放器,所述锤击点瞄准框和锤头位于同一以所述转轴为中心线的圆柱面上,所述锤柄还通过驱动锤头朝向所述锤击点瞄准框摆动的拉伸弹簧同所述底座连接在一起,所述拉索一端同所述锤柄固定在一起、另一端设有同所述释放器配合的阻块。本发明提供了一种能够进行精确锤击的弹性波测量用低应变定点定能锤击激振装置,解决了采用的锤击装置不能够进行精确锤击的问题。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置

本发明公开了一种基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置。该装置主要由白光光源、光谱仪、准直器、光纤传输单元、PC组成。基于白光干涉法,可以实现对晶圆膜厚的无损测量,时间快、设备小巧、操作简单、精度高,适合实验室检测。

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浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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