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广东广州有色金属分析检测技术理论与应用

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基于物联网的网格化环境数据实时监测装置

本实用新型属于环境监测技术领域,公开了一种基于物联网的网格化环境数据实时监测装置。本实用新型包括监控服务器、后台监测终端及前端采集设备;前端采集设备为多个,多个前端采集设备构成网格状的环境数据监测网络;每个前端采集设备均包括外壳及PCB板;每个PCB板上均电连接电源模块、处理芯片及定位芯片;每个前端采集设备均还包括电化学气体传感器及超声波气象传感器。本实用新型实现了任一特定区域环境数据的精细化实时准确监测及预警,实现了全方位的当前区域环境数据监测,具有优异的环境适宜性能,在结构方面具有最大程度的通用性,适于推广使用。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
转录组测序文库快速构建方法及其应用

本发明提供了一种转录组测序文库快速构建方法及其应用。相比于现有报道,本发明是专门针对100~300bp中小长度的RNA的高效文库构建方法,合成cDNA前无需任何酶反应和化学反应处理,不会导致处理过程中RNA的降解和损耗;实验过程快速、简单,整个过程没有对RNA和中间产物的复杂处理,特别适用于起始样本量少的情况,实现高效的连接,最终得到浓度足够高的转录组文库,完成上机测序和后续的转录组测序相关的应用,有效实现单细胞、外泌体或珍贵临床样本的转录组测序在基础研究、临床诊断和药物研发等邻域的广泛应用。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电池原位测试装置
电池原位测试装置 920     
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本实用新型涉及电池测试技术领域,尤其涉及一种电池原位测试装置。本实用新型公开了一种电池原位测试装置,包括:电池壳、控温模块、充放电模块和光源探测器。该装置集功能性、开放性和用户友好为一体,可同时在施加温度场和电化学场条件下对电池进行谱学原位结构表征,操作简单,功能全面。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用酸碱指示剂法测定壳寡糖脱乙酰度的方法

本发明属于化学领域,具体涉及一种利用酸碱指示剂法测定壳寡糖脱乙酰度的方法。本发明测定壳寡糖脱乙酰度的方法包括如下步骤:S1、测定壳寡糖样品中的水分含量作为壳寡糖样品干燥失重项下减失重量;S2、取壳寡糖样品,用蒸馏水溶解后,调节pH值至8.0,加入稀盐酸滴定液,同时滴加1%溴甲酚绿指示剂1‑2滴,混匀后用氢氧化钠滴定液滴定至溶液变为绿色即为滴定终点;S3、计算壳寡糖样品的脱乙酰度。本发明提供的方法是一种准确、快速测定壳寡糖脱乙酰度的方法,同时,本发明提供的方法使用仪器简单,操作简单易行,样品无需特殊的前处理,滴定终点判断明显,测量误差小,适用于壳寡糖制备过程中的质量控制。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
美白原料功效评价机理及测试方法

本发明所提供的一种美白原料的作用机理研究,机理包括:线粒体裂变导致活性氧(ROS)的产生增加,从而激活ROS‑ERK信号通路,进一步诱导小眼相关转录因子(MITF)的磷酸化。MITF的磷酸化导致其泛素化和蛋白酶体降解,随后下调黑色素生成。所述的评价机制的测试方法包括化学层面测试、细胞层面测试以及人体临床测试。本发明首次针对美白原料的作用机理构建出一个功效测试的方案,解决了目前原料单一功效评价方法的问题。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
适用于固体燃料热解焦炭反应性通用预测方法及系统

本发明公开了一种适用于固体燃料热解焦炭反应性通用预测方法及系统,涉及固体燃料热化学转化领域,主要包括步骤获取固体燃料样品特性参数和反应工况,依据固体燃料样品的不同组分对焦炭孔隙的贡献,将组分划分为不同的微结构,根据固体燃料样品特性参数,获得焦炭孔隙特征参数和结构因子,并根据焦炭孔隙特征参数和反应工况获得非催化状态下焦炭的初始反应性,根据内部催化元素含量获得催化因子;根据非催化状态下焦炭的初始反应性和催化因子获得固体燃料样品热解焦炭的初始反应性,并结合随机孔模型对焦炭反应性的全转化过程进行预测。本发明利用反应动力学的气固碰撞理论和焦炭孔隙结构的分形特征,实现焦炭反应速率的全过程预测。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
测量发泡剂发气量与发气速率的装置及方法

本发明提供一种测量发泡剂发气量与发气速率的装置及方法。主要解决现有技术中缺乏在常压以上压力对化学发泡剂发气量和发气速率连续准确测量的问题。所述装置包括发气系统、发泡气体存储系统、压力调节系统、气体量测系统、显示终端及温控台。发泡剂分解产生气体期间,发气系统内部空腔压强变大,气体推动压力调节系统上行,气体量测系统监测压力调节系统上行过程,可以得到位移‑时间图像及速度‑时间图像,进而转换为发气量‑时间和发气速率‑时间图像。这种装置结构简单,操作安全便利,能够在给定温度、常压及常压以上的高压下连续准确的测量发泡剂的发气量和发气速率,实用价值很大。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
适用于多环境真空测试的设备

本发明提供一种适用于多环境真空测试的设备,包括:带有多个法兰接口的腔体;用于为腔体内提供多种测试环境的环境功能单元;用于测量实验数据的测量单元,所述环境功能单元和测量单元通过法兰接口连接腔体;设置于所述腔体内底部的样品放置底座,所述样品放置底座上设置有多个螺纹通孔;设置于样品放置底座上的第一样品夹持单元;所述腔体一面设置有开口,所述开口处设置有活动连接的与腔体构成封闭结构的封闭盖,本发明高度集成了测试所必要的各个条件,结构紧凑,能够实现原位拉伸/弯曲、温度改变、紫外激发及化学环境的控制,同时进行相应的物理特性测试。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
炭基地质催化材料固定镉协同甲烷减排预测方法、装置及介质

本发明公开了一种炭基生物地质催化材料固定镉协同减排甲烷效果的预测方法、计算机装置及存储介质,炭基生物地质催化材料固定镉协同减排甲烷效果的预测方法包括获取训练数据集和验证数据集,搭建基于软参数共享机制的多任务神经网络,将训练数据集输入至多任务神经网络进行训练,将验证数据集输入至多任务神经网络进行结果预测,获取多任务神经网络输出的镉钝化率和甲烷减排率协同预测结果等步骤。本发明可以同时预测炭基生物地质催化材料钝化镉和减排甲烷的效率,无计算化学基础的研究人员也可方便使用,大大减少了人力物力的浪费,对炭基生物地质催化材料修复重金属污染土壤并减少温室气体排放具有重要意义。本发明广泛应用于机器学习技术领域。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
水化过程中胶凝材料填充孔隙能力的测试方法

本发明公开了一种水化过程中胶凝材料填充孔隙能力的测试方法,包括以下步骤:(1)测试胶凝材料的密度ρc;(2)测试单位体积胶凝材料水化过程中的化学收缩Vc;(3)分别测试胶凝材料的在60℃真空干燥后水化样品的质量m60、在1050℃真空干燥后水化样品的质量m1050;(4)计算水化过程中胶凝材料填充孔隙能力VF,操作简单,可直接测得水化过程中胶凝材料填充孔隙能力。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
尿素水解制氨反应条件的预测方法及装置

本发明公开了一种尿素水解制氨反应条件的预测方法及装置,其方法包括:响应于条件预测指令,确定预置的机组稳态阶段需氨量预测模型中的目标自变量;获取目标自变量的实时值,并将所有实时值输入至机组稳态阶段需氨量预测模型,得到目标需氨量;根据尿素水解化学反应式,结合以及反应动力学方程及阿伦乌尼斯理论,确定尿素水解制氨反应速率方程;获取反应体积,并基于尿素水解制氨反应速率方程,计算得到氨生产量动力学模型;将目标需氨量输入氨生产量动力学模型,输出尿素水解制氨反应条件。从而解决火电机组快速变负荷阶段,尿素水解制氨反应慢、延迟大、供氨响应差的问题。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
二价铕离子激活的磷酸盐的制备方法及其高灵敏、快响应的光学测温应用

本发明公开了一种二价铕离子激活的磷酸盐的制备方法及其高灵敏、快响应的光学测温应用。化学组成表达式为:Ca6‑xBaEuxP4O17,式中x为掺杂离子Eu2+取代基质中Ca2+离子的量,取值范围:06BaP4O17,发光中心为二价稀土铕离子Eu2+。采用高温固相法合成,制备工艺简单,操作安全,条件容易控制。在300和400 nm波长紫外光激发下,在不同温度下的辐射发光颜色的变化区间分别为白色‑黄色和绿黄色‑橙黄色两种模式。该类材料辐射发光寿命短,只有微秒数量级(0.4‑1.2微秒)。有望作为新型光学测温材料在快速响应的温度探测,控制与传感等方面的潜在应用。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
土壤重金属环境风险预测模型的构建方法和装置

本发明公开了一种土壤重金属环境风险预测模型的构建方法和装置,其中该方法包括以下步骤:获取分布在研究区域内的若干个测量点的土壤重金属浓度的数据以及所述若干个测量点的设定影响因子的数据;建立土壤重金属环境风险预测模型,以设定影响因子作为解释变量,以土壤重金属浓度作为因变量,对土壤重金属环境风险预测模型进行逻辑斯蒂回归,得到解释变量的权重系数;将权重系数低于第一设定阈值的解释变量剔除,得到优化后的土壤重金属风险预测模型。本发明囊括自然地理因子、土壤地球化学因子和社会经济因子等多个维度的解释变量,所构建的模型更加全面准确。本发明可以广泛应用于环境建模领域。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于RFID和无线传感网络的水质监测预警系统

本实用新型公开了基于RFID和无线传感网络的水质监测预警系统,包括监测节点、汇聚节点电源系统和中心控制系统;所述监测节点包括传感器组、射频标签/识别系统、核心处理器和无线收发器,所述RFID读写器与一个RFID电子标签网络相连,RFID标签存储了监测节点的编号和位置信息;所述传感器组包括pH传感器、温度传感器、DO传感器、重金属电化学传感器、水位传感器,用于相应水质数据的采集;所述的中心控制系统包括数据库和监控软件,监控软件又包含短信模块、显示模块、数据库管理模块、控制模块、数据采集模块。本实用新型具有方便、快捷、高效和自动监测水质数据向管理者发送预警信息等优点。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于多步新奇度的时态序列迭代预测算法、介质和设备

本发明公开了一种基于多步新奇度的时态序列迭代预测算法、介质和设备,算法包括先基于时态序列数据建立内、外部模型,初始化多维经验矩阵;外部模型抽样训练;外部模型在每一次交互中,从时态序列数据获取当前状态和奖励,并输出当前状态、行为和预测的执行行为后的状态;内部模型对外部模型预测的状态进行多步预测,预测信息存储到多维经验矩阵中,不断迭代更新内部模型;定义新奇度,在外部模型的每一次迭代,从多维经验矩阵中抽出对应元素,并比较每个元素和外部模型预测的状态来计算新奇度;基于新奇度不断迭代更新内、外部模型,多维经验矩阵也根据时间节点不断更新。本发明解决强化学习中稀疏奖励的训练障碍,可达到模型更快收敛的效果。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
Mg掺杂增强过渡金属硫化物基可见光探测器及其制备方法

本发明属于可见光探测器的技术领域,公开了一种Mg掺杂增强过渡金属硫化物基可见光探测器及其制备方法。所述可见光探测器包括从下至上依次设置的Si衬底层、InGaN层、Mg掺杂的过渡金属硫化物层和电极层。Mg掺杂的过渡金属硫化物层部分覆盖InGaN层。本发明还公开了可见光探测器的制备方法。本发明在InGaN表面部分沉积Mg金属层,利用化学气相沉积制备Mg掺杂TMDs层,引入大量的受主能级,实现了TMDs的p型掺杂,调控了载流子浓度。调控后的载流子优化了材料与电极间势垒高度,降低了暗电流,增强了整流比,提升了器件的响应速度,对于实现高性能、高灵敏的可见光通信用光电探测器具有重要意义。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
深井囊贮液式地震或海啸预测装置

深井囊贮液式地震或海啸预测装置首创软囊贮液压贴传感器于深处测地层或海水动态来预报地震或海啸,空前有效免除刚性联接的建造难度及固态干扰地置传感器尽量接近震波源头去高效监测且极价廉易设造少故障又不怕自然或人误灾难,极宜广布地球各处长期可靠预警。电子显示衡器厂就易产设每套自具定性测震波来向甚至定量测震度的形式,多套联网效果更大增。中国花四亿美元设二万套即很好实施陆震预警。首创爆扩深坑置软囊贮液方法尤益母亲水窖工程免混凝土窖漏失及水污,润解西北旱贫;也宜作贮油气或化学品,革除耸罐崩泻难收拾之危,或免松花江污染再现。驶船布它于印度洋可免海啸慌延数月,作为有计划超前预警更佳;还易监测无声潜艇。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
测定腐殖质抗氧化能力的系统和方法

本发明提供一种测定腐殖质抗氧化能力的系统和方法,所述测定腐殖质抗氧化能力的系统包括:阳极室,所述阳极室设有阳极电解液和阳极室电极;阴极室,所述阴极室设有阴极电解液和阴极室电极;将所述阳极室和阴极室隔开的质子交换膜;将所述阳极室电极和阴极室电极外接的负载电阻;与所述负载电阻并联的电压表;所述阳极电解液包括含有氯化钾的磷酸缓冲液;所述阴极电解液为酸性高锰酸钾溶液。与现有技术相比,本发明提供的测定腐殖质抗氧化能力的系统在保证准确性的基础上,简化电化学法的配套仪器,能够满足室外测样,从而实现对腐殖质抗氧化能力的快速、实时测定,且准确度高、成本低、能耗小。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
应力腐蚀裂纹萌生寿命预测方法

本发明公开了一种应力腐蚀裂纹萌生寿命预测方法,包括以下步骤:1)将不锈钢试样制成U型形状;2)采用隔离层对不锈钢试样的非工作面进行包覆,将不锈钢试样浸泡在NaCl溶液中;3)采用三电极体系测量不锈钢试样的电化学反应过程中的电位与电流;4)测量不同残余应力表面的钝化区及稳态点蚀电位;获得不同残余应力条件下的孕育期t1;5)采用恒载荷或者恒应变方法测量不锈钢的应力腐蚀门槛值;6)确定蚀坑生长到rm的极化时间t2。本发明基于点蚀与应力腐蚀裂纹的关系,通过微纳尺度的亚稳点蚀来预测应力腐蚀裂纹萌生的临界蚀坑深度,准确地得到不锈钢试样发生应力腐蚀裂纹萌生的寿命,方法简单、方便,预测准确性高和成本低。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
可用于腐蚀磨损的测试方法

本发明公开了一种可用于腐蚀磨损的测试方法,步骤如下:采用测定惰性电极的局部阴极反应极化曲线和腐蚀电极的自腐蚀电位Ecorr相结合的方法求得金属腐蚀电流ik;求取金属腐蚀电流密度icorr;根据法拉第定律换算出腐蚀失重率Wcorr。本发明针对存在磨损、腐蚀工况的动态腐蚀磨损寿命测试,当切削犁沟和冲击腐蚀磨损环境导致的表面脆性剥落是有腐蚀介质的耐磨件失效的主要原因时,提出了一种模拟腐蚀磨损服役工况的试验方法,解决并测定了金属材料在腐蚀介质中腐蚀磨损总失重中的测量,该方法可用于动态腐蚀磨损中电化学腐蚀磨损的测量,有效说明磨损过程中的腐蚀定量研究。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
海域天然气水合物海底甲烷监测系统及方法

本发明公开了一种海域天然气水合物海底甲烷监测系统及方法以开采井位为中心等距离设置试采井位,以开采井位为中心设置第一监测圈和第二监测圈;在第一监测圈和第二监测圈上设置多组海底潜标用于监测海底甲烷浓度,组成海底甲烷数据矩阵。优点在于:利用坐底式海底潜标可以很好地弥补现有技术的不足,它通过水下控制技术将可测量多个参量的物理和化学传感器集成在一起。对海底天然气水合物成藏区海底边界的海底环境进行长周期原位观测,避免了现有方法可能造成的测量误差。并可通过水声通信技术将海底环境参数传输回海面监测平台,为水合物开采提供实时的海底甲烷泄漏监测,具有重要意义。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于空气质量网格化实时监测的装置

本实用新型属于空气监测技术领域,公开了一种用于空气质量网格化实时监测的装置。本实用新型包括数据采集终端、监测终端及后台服务器;数据采集终端为多个,多个数据采集终端构成网格状的空气质量监测网络;每个数据采集终端均包括外壳及设置于外壳内的PCB板;PCB板上电连接有电源模块、处理芯片及定位芯片;每个数据采集终端均还包括分别与处理芯片及电源模块电连接的电化学气体传感器。本实用新型实现了任一特定区域空气质量数据的精细化实时准确监测及预警,多个数据采集终端布设于任一区域网格监测网络的每个交点,实现了全方位的当前区域空气质量监测,适于推广使用。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
手术室环境监测处理方法及系统

本申请提供一种手术室环境监测处理方法及系统,通过包含循环监测节点的单元联系网络确定手术室环境监测设备在环境化学监测数据、环境物理监测数据、环境生物监测数据和环境污染源监测数据上的重点监测度量值,依据重点监测度量值和前置监测度量值综合确定手术室监测任务的手术室环境监测数据的环境监测跟踪强度,从而便于后续进行环境监测跟踪的前置数据过滤,减少数据处理量,提高数据处理效率。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
适用于原位X射线衍射测试的电解池装置

本发明公开了一种适用于原位X射线衍射测试的电解池装置,双孔电极座中设有反应池;反应池分成测试区和工作区;测试窗口膜覆盖在测试窗口上;反应池内设有用于支撑和固定工作电极的工作电极支柱和工作台;工作电极的引出端设置有连接导线的夹片;工作电极盖扣合在双孔电极座的工作区之上;双孔电极座上设有上表面与工作区两侧壁上表面相齐平的校准台;双孔电极座设有连通反应池的两个电极过孔;用于拧入带有电极穿孔的螺纹帽,将参比电极或对电极固定在双孔电极座中;避免了X射线信号弱的缺陷,测量结果准确性高,且组件少、结构紧凑、体积小、组装便捷、成本低、通用性好,可重复使用,能够实时有效表征不同电化学条件下催化材料的动态变化。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
测定木质素磺酸盐磺化度的方法

本发明属于化学测试方法技术领域,公开了一种测定木质素磺酸盐磺化度的方法,具体为利用十六烷基三甲基溴化铵共沉淀法测定木质素磺酸盐磺化度的方法。本发明方法通过利用十六烷基三甲基溴化铵与木质素磺酸盐共沉淀,采用紫外分光光度计测定上清液木质素磺酸盐的吸光度,通过CTAB的用量计算得到磺化度。本发明方法通过调节体系pH为5.5,使木质素的磺酸基完全电离,而其他官能团不电离,再利用CTAB中的铵离子与磺酸基发生电荷中和作用,形成聚集体沉淀下来,通过测定最小吸光度及对应CTAB的用量计算得到磺化度。该方法与传统方法结果吻合度较好,仅需紫外或可见分光光度计,为磺化度的准确测定带来了便利,具有简单快捷的优点。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于Q-learning的负荷综合预测方法和相关设备

本申请实施例公开了一种基于Q‑learning的负荷综合预测方法和相关设备,方法包括:获取影响负荷的若干组基础预测参数集,并对其进行标幺化处理和离散化处理,作为环境状态;获取若干种负荷预测方法,并对其权重进行离散化处理,作为动作空间;将负荷预测值和负荷实际值的平方根偏差作为回报函数;根据环境状态、动作空间和回报函数构建预测智能体;基于Q‑learning对预测智能体进行训练;将进行标幺化处理和离散化处理后基础参数集的输入到已训练收敛的预测智能体中,进行负荷预测。通过将Q强化学习应用于负荷综合预测中,设计了环境状态、动作空间和回报函数,使得所选择预测方法和权重值均可以随基础预测参数而改变,解决了现有的单个预测方法适应性差问题。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
海洋天然气水合物开发环境监测系统及方法

本发明公开了一种海洋天然气水合物开发环境监测系统及方法,在海底以开采点为圆心从内向外设置三个同心圆第一监测圈、第二监测圈和第三监测圈并分别布置原位监测仪、海底潜标监测仪、锚系潜标监测仪。在开发环境中同时监测大气、海底、海水、井下的四维数据,涉及井下沉积物温压/土力学监测、开采区的海底形变监测、海底潜标/锚系潜标的监测、基于ROV的实时观测和监测、开采产物及环境影响监测等。监测手段涵盖海洋地质、工程地质、物理海洋、海洋化学及海洋生物等多学科。形成集“海底沉积物‑海底沉降‑海底边界层位多参数‑海水纵向剖面特征‑表层海水、大气‑产出气、水、砂”于一体的综合环境影响评价技术方案。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
智能预习评测及双向反馈系统

本发明公开了一种智能预习评测及双向反馈系统,包括中央处理器,所述中央处理器连接有评测子系统和交互反馈系统,所述评测子系统包括用户登录模块、数据存储模块、数据反馈模块、数据接收模块、评测操作模块和预习模块,所述交互反馈系统包括评测数据整合模块和数据共享单元,所述评测操作模块包括评测答题单元、评测意见交流单元、评测结果整合单元,所述预习模块包括学习资源选择单元、学习结果评估单元和预习测评单元。该种智能预习评测及双向反馈系统,通过设置评测子系统和交互反馈系统的网络互联,能够准确、快速建立针对学习者学习现状的计算机个性化学习和评测产品,提高了学习者的学习效率,减轻了教育者的工作压力,且降低了人工成本。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于生产数据挖掘的燃煤电厂发电成本测算方法

本发明公开了一种基于生产数据挖掘的燃煤电厂发电成本测算方法,包括:获取供电成本使用的计算数据对应时间段的电厂固定成本值,生产过程中的化学制剂总成本、环保总成本和用水总成本,燃料价格数据以及电厂SIS点表数据;建立供电煤耗模型,通过电厂SIS点表数据代入供电煤耗模型计算得到供电煤耗值;建立燃料成本计算模型,通过燃料价格数据和供电煤耗值代入模型计算得到燃料成本值;将燃料成本值,以及生产过程中的化学制剂总成本、环保总成本和用水总成本进行相加求和,得到变动成本值;将变动成本值和电厂固定成本值进行求和得到总成本值,通过最小二乘法计算得到不同温度簇类的总供电成本曲线,并将总供电成本曲线进行求导得到边际成本曲线。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法

本发明提供CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法,S1建立反应器几何模型和划分网格;添加材料属性;S2建立多物理场模型,建立流体传热和层流模型,计算温度场和流场;S3建立化学和多组分物质传递模型,将先驱体气体反应输入模型,计算化学反应和浓度场分布;S4计算沉积表面浓度,与上一次总迭代计算的结果进行对比,满足收敛要求,流程结束;否则将表面浓度结果输入KMC模型进行下一次迭代;S5构建原子结构,确定表面反应;S6计算吸附、扩散速度,确定一步的原子结构与反应时间;S7若原子结构满足要求厚度,则返回S2;否则返回S5继续迭代计算。在本发明的基础上进行沉积工艺参数的优化,得到沉积产物织构可控,质量好的CVD产品。

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化学分析
广东 - 广州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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